【技术实现步骤摘要】
一种高压压电致动器制备工艺
[0001]本专利技术涉及高压压电致动器制备工艺领域,尤其涉及一种高压压电致动器制备工艺。
技术介绍
[0002]目前高压压电陶瓷叠层型致动器的制备方法主要有以下两种:
[0003]陶瓷片之间印刷银浆,多片陶瓷片相互叠加组装,然后通过烧银工艺使多层陶瓷片紧密叠加固定,本方法优点是工艺简单,成本较低,缺点是银浆层太薄,中间容易产生空隙,一影响致动器能量转换效果、二影响使用寿命;
[0004]单个陶瓷片先通过印银、烘银和烧银工艺制成压电陶瓷片,两个压电陶瓷片之间插入一薄金属片(铜片或不锈钢片或镍合金片,压电陶瓷片与金属片之间采用高温环氧胶粘剂粘贴固定,多层压电陶瓷片和多层薄金属片相互间隔叠加组装,通过高温固化胶水完成紧密叠加固定。本方法优点是致动器能量转换效果好,产品牢固可靠,缺点是工艺复杂,增加金属片导致产品成本较高,并且薄金属片会增加致动器总高度,影响伸缩比;
[0005]综上所述,为了解决上述两种主流高压压电陶瓷叠层型致动器的工艺缺点,我们提出了一种高压压电致动器制备工艺。
技术实现思路
[0006]本专利技术提出的一种高压压电致动器制备工艺,解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:
[0008]一种高压压电致动器制备工艺,包括以下操作:
[0009]S1、将压电陶瓷粉料与粘接剂、润滑剂、去离子水混合均匀,得到混合均匀的料块;
[0010]S2、将S1中的料块,放入 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高压压电致动器制备工艺,其特征在于,包括以下操作:S1、将压电陶瓷粉料与粘接剂、润滑剂、去离子水混合均匀,得到混合均匀的料块;S2、将S1中的料块,放入80℃~150℃的挤膜机制备相应厚度压电陶瓷膜带;S3、将S2得到的膜带进行冲片,得到单片生胚片;S4、将S3得到的生胚片进行排胶烧结,得到单片陶瓷片(6);S5、将S4得到的单片陶瓷片(6)进行清洗和外观检查;S6、将S5得到的陶瓷片(6)进行规整,送入流水线进行单面的面电极银浆印刷并烘干;S7、将S6得到的陶瓷片(6)两端印刷端电极并烘干;S8、将S7得到的陶瓷片(6)另一面进行面电极印刷并烘干;S9、对印刷好的陶瓷片(6)进行烧银,完成后检测压电片端电极与面电极是否导通并做耐压测试;S10、将S9得到的压电片端电极镀上薄薄一层焊锡;S11、将S10得到的压电片进行粘接剂印刷并叠堆;S12、将S11得到的瓷柱表面的粘接剂清理干净;S13、将S12得到的瓷柱进行粘接固化;S14、使用镀锡的导线分别与瓷柱两极焊接;S15、对S14中得到的产品进行塑封;S16、对S15得到的最终产品进行极化测试。2.根据权利要求1所述的一种高压压电致动器制备工艺,其特征在于,S1中粘接剂为羧甲基纤维素、润滑剂为甘油,且粉体、羧甲基纤维素、甘油和去离子的质量数比例为=1.0:0.02~0.04:0.02~0.04:0.08~0.10;S2中挤膜膜带厚度:0.15mm~0.35mm;S3中冲片尺寸为:19.2mmx19.2mm;S4中排胶温度为600℃,烧结温度为1230℃~1280℃;S5中清洗瓷片表面隔离粉,检查瓷片是否完整,厚薄是否均匀,有无异色点等;S6和S8中印刷面电极材料为45%~53%固含量银浆,电极印刷厚薄适中;S7中印刷端电极材料采用60%固含量银浆;S9中烧银温度为800℃,检测时用万用表短路档进行检测;S10中用烙铁进行上锡,烙铁头粘少量锡,往端面电极上轻轻涂抹;S11中粘接剂为环氧树脂,电容器结构进行叠堆,用平口钳压紧;S12中清洗剂为无水乙醇,用棉花沾上无水乙醇进行清洗瓷柱表面环氧树脂;S13中将瓷柱连同平口钳放入烘箱中进行环氧树脂固化,固化温度60℃~130℃;S14中烙铁头沾少量焊锡,使用细导线焊接端电极,把整个端面连接成一个整体;S15中用环氧树胶进行表面塑封;S16中用耐压测试仪对瓷柱进行极化,极化电压为使用电压的1.5倍,进行试致动器电位移、最大出力等性能。3.一种高压压电致动器端电极印刷设备,其特征在于,应用于上述根据权利要求1
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2任一项所述的高压压电致动器制备工艺,包括端电极印刷设备,所述端电极印刷设备由机械手(3)、蘸料机构(4)和机架(5)构成,所述机械手(3)设备的上游设置有进料输送机(1),且
所述机械手(3)设备的下游...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱惠祥,戴开彬,张独异,
申请(专利权)人:广州凯立达电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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