用于含银金属膜的蚀刻液组合物制造技术

本发明专利技术提供一种用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物，其包含特定的金属盐化合物。根据本发明专利技术的蚀刻液组合物可以抑制鼠咬现象的发生且防止透明导电膜的蚀刻速率由于外部污染源而降低。源而降低。

【技术实现步骤摘要】
用于含银金属膜的蚀刻液组合物


[0001]本专利技术涉及一种用于含银金属膜的蚀刻液组合物，更具体地，涉及一种能够抑制鼠咬(mouse bite)现象的发生且防止透明导电膜的蚀刻速率由于外部污染源而降低的用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物。

技术介绍

[0002]由于OLED本身发光，并且可以在低电压下驱动，因此已广泛应用于便携式设备等小型显示器以及大型电视。
[0003]此外，氧化铟锡(ITO)和氧化铟锌(IZO)等导电金属具有比较优异的透光率和导电性，因此被广泛用作平板显示装置中使用的滤色器的电极。
[0004]此外，在反射板的情况下，过去主要在产品中使用铝(Al)反射板，但是为了通过提高亮度来实现低功耗，正在寻求将材料更改为具有更高反射率的金属。
[0005]因此，提出了将与应用于平板显示装置的金属相比电阻率低、亮度高的银(Ag：比电阻约1.59μΩ
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cm)或银合金用作滤色器的电极、LCD或OLED布线的布线以及反射板的材料的方法，并且需要开发用于应用银或银合金的蚀刻液。r/>[0006]然本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物，其包括硝酸、有机酸和金属盐化合物，并且所述金属盐化合物包含选自由铌(Nb)、钴(Co)、锆(Zr)、铪(Hf)、铋(Bi)、钯(Pd)和铀(U)组成的组中的至少一种金属。2.根据权利要求1所述的用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物，其中，所述含银(Ag)金属膜是由银(Ag)或银合金制成的单层膜、或者是由所述单层膜和透明导电膜构成的多层膜。3.根据权利要求2所述的用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物，其中，所述透明导电膜是包含氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铟锡(ITZO)和氧化镓锌(IGZO)中的至少一种的膜。4.根据权利要求1所述的用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物，其中，所述有机酸包括碳原子数为1至3的烷基磺酸以及除烷基磺酸以外的有机酸。5.根据权利要求4所述的用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物，其中，所述碳原子数为1至3的烷基磺酸包括：选自由甲磺酸、乙磺酸及丙磺酸组成的组中的至少一种。6.根据权利要求4所述的用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物，其中，所述除烷基磺酸以外的有机酸包括：选自由乙酸、柠檬酸、乙醇酸、丙二酸、乳酸及酒石酸组成的组中的至少一种。7.根据权利要求1所述的用于含银(Ag)金属膜的蚀刻液组合物，其中，所述金属盐化合物包括：选自由锆(Zr)及铋(Bi)组成的组中的至少...

【专利技术属性】
技术研发人员：南基龙，闵庚灿，朴镛云，张晌勋，李昔准，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：