喷头、水膜喷淋组件及刻蚀系统技术方案

本申请提供一种喷头、水膜喷淋组件及刻蚀系统，涉及太阳电池制造领域。喷头包括第一管部、第二管部以及阀门。第一管部具有第一流道；第二管部具有沿其轴向相对的第一端以及第二端，以及贯穿第一端和第二端的第二流道，第一端与第一管部连接且使第一流道和第二流道连通，第二流道的内径自第一端向第二端逐渐变大；阀门设置于第一管部，阀门用于控制第一流道的通断以及调节经第一流道流出的流体的流量。利用喷头结构的改进，可改善易堵塞的问题，当其引入水膜喷淋组件中并应用于太阳电池的刻蚀工序时，其不仅能够提高产品良率，而且能够适应多种尺寸的硅片加工，有效降低生产成本以及提高太阳电池的发电效率。以及提高太阳电池的发电效率。以及提高太阳电池的发电效率。

【技术实现步骤摘要】
喷头、水膜喷淋组件及刻蚀系统


[0001]本申请涉及太阳电池制造领域，具体而言，涉及一种喷头、水膜喷淋组件及刻蚀系统。

技术介绍

[0002]在太阳电池的生产过程中，刻蚀工序在将硅片背表面和周边的PN结去掉的同时需要保证电池片正面的PN结不被破坏。其中的一种办法就是在硅片上表面喷淋一层水膜，隔绝刻蚀工艺过程对硅片正面PN结的破坏，但水膜在喷淋到硅片正面时，若水膜覆盖不全会引起未被覆盖地方的PN结被破坏，从而导致电池片外观问题和电性能不合格问题。而水膜过多过厚又会导致多余的水进入工艺槽引起工艺不合格，从而引起刻蚀效果不好，电池片漏电大，电池转换效率低等情况。
[0003]因此为了避免出现水膜覆盖不全和/或水膜过多过厚等问题，每当生产线上更换不同尺寸的硅片时，位于生产线上方的水膜喷淋组件需要重新更换，增加改造成本，并且传统水膜喷淋组件的喷淋孔为柱孔设计，容易堵塞，且水膜覆盖面积小，容易产生过刻异常，也不能满足小流量水膜喷淋需求。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种喷头、水膜喷淋组件及刻蚀系统，其能够改善因水膜喷淋组件无法适应多种尺寸的硅片加工导致的改造成本高，以及喷头易堵塞、水膜覆盖面积小的技术问题。
[0005]第一方面，本申请实施例提供一种喷头，其包括第一管部、第二管部以及阀门。
[0006]第一管部具有第一流道；第二管部具有沿其轴向相对的第一端以及第二端，以及贯穿第一端和第二端的第二流道，第一端与第一管部连接且使第一流道和第二流道连通，第二流道的内径自第一端向第二端逐渐变大；阀门设置于第一管部，阀门用于控制第一流道的通断以及调节经第一流道流出的流体的流量。
[0007]在上述实现过程中，当喷头引入水膜喷淋组件中并应用于太阳电池的刻蚀工序时，由于阀门控制第一流道的通断以及调节经第一流道流出的流体的流量，因此本领域技术人员不仅根据实际的需求对水膜喷淋组件中喷头的通断数量和每个喷头的流量进行随意调整，从而使其适应不同尺寸的硅片，降低改造成本，而且也有利于对不同喷淋位置进行优化，便于对喷头形成不同流量的喷淋来节约水膜总用水量，从而减少溢流量，降低补充的化学品的量，降低生产成本，并且可根据实际需求调整局部水膜量，提高刻蚀面抛光均匀性，使钝化层更均匀，提高太阳电池的发电效率；利用第一管部远离第二管部的一端与储液件连接，第二端作为出口，此时水膜喷淋组件利用第二流道的内径自第一端向第二端逐渐变大的设计，不仅能够避免第二流道堵塞，提高喷头的使用寿命以及降低其维修成本，而且能够增大水膜覆盖面积，增加水膜覆盖率，减少过刻，提高产品良率。
[0008]在一种可能的实施方案中，阀门包括阀体以及与阀体连接的拨动杆，阀体可旋转
地安装于第一流道内，阀体可选择性的密封第一管部，第一管部设置有侧向开口，拨动杆可转动地穿过侧向开口以伸出第一管部，拨动杆与侧向开口密封连接。
[0009]在上述实现过程中，上述设置操作简单，利用拨动杆可转动地穿过侧向开口以伸出第一管部，便于工作人员转动拨动杆以带动阀体在第一流道内旋转，调节第一流道流出的流体的流量以及第一流道的通断，并且拨动杆与侧向开口密封连接可避免二者连接处漏液，影响喷淋效果。
[0010]在一种可能的实施方案中，阀体呈扁平状。
[0011]在上述实现过程中，扁平状的阀体设置简单，便于控制第一流道的通断以及便于调节第一流道流出的流体的流量。
[0012]在一种可能的实施方案中，拨动杆的延伸方向与第一管部的轴向互相垂直。
[0013]在上述实现过程中，可降低阀门与第一管道的装配难度。
[0014]第二方面，本申请实施例提供一种水膜喷淋组件，其包括储液件以及多个本申请第一方面提供的喷头。
[0015]其中，储液件具有储液腔、与储液腔连通的进液口以及多个出液口；喷头与出液口一一对应，第一管部远离第二管部的一端与储液件连接，第一流道与出液口连通。
[0016]在上述实现过程中，由于水膜喷淋组件具有本申请第一方面提供的喷头，因此，将其应用于太阳电池的刻蚀工序时，本领域技术人员可根据实际的需求对水膜喷淋组件中喷头的通断数量和每个喷头的流量进行随意调整，从而使其适应不同尺寸的硅片，降低改造成本，而且也有利于对不同喷淋位置进行优化，便于对喷头形成不同流量的喷淋来节约水膜总用水量，从而减少溢流量，降低补充的化学品的量，降低生产成本，并且可根据实际需求调整局部水膜量，提高刻蚀面抛光均匀性，使钝化层更均匀，提高太阳电池的发电效率；利用第一管部远离第二管部的一端与储液件连接，第二端作为出口，此时水膜喷淋组件利用第二流道的内径自第一端向第二端逐渐变大的设计，不仅能够避免第二流道堵塞，提高喷头的使用寿命以及降低其维修成本，而且能够增大水膜覆盖面积，增加水膜覆盖率，减少过刻，提高产品良率。
[0017]在一种可能的实施方案中，储液件为呈长条形，多个喷头沿储液件的长度方向间隔布置于储液件。
[0018]在上述实现过程中，上述设置便于在使用过程中使水膜喷淋组件与硅片配合使用，提高各喷头的利用率。
[0019]在一种可能的实施方案中，第二端与储液件之间的距离可调。
[0020]在上述实现过程中，在水膜喷淋组件应用于太阳电池的刻蚀工序时，利用第二端与储液件之间的距离可调，以调节第二端相对于硅片的高度，从而调节水膜在硅片上的覆盖速度，进而控制水膜对硅片冲击产生的振动，降低硅片碎片率，提高制程稳定性。
[0021]在一种可能的实施方案中，水膜喷淋组件还包括连接管，连接管的一端与储液件可拆卸连接，另一端与第一管部连接。
[0022]在上述实现过程中，利用连接管与储液件可拆卸连接的方式，可根据实际的需求更换不同长度的连接管，实现第二端与储液件之间的距离可调，并且在对应的喷头损坏后便于更换。
[0023]在一种可能的实施方案中，连接管与喷头螺纹连接。
[0024]在上述实现过程中，无需进行连接管的更换，利用连接管与喷头螺纹连接即可实现第二端与储液件之间的距离可调，并且在调节至预设长度后，在去除外力的作用下使连接管与喷头保持锁止状态，保持水膜稳定性。
[0025]第三方面，本申请实施例提供一种刻蚀系统，其包括刻蚀机构以及本申请第二方面提供的水膜喷淋组件，刻蚀机构具有用于承载硅片的承载面，水膜喷淋组件位于刻蚀机构的上方，第二端朝向传送面。
[0026]在上述实现过程中，利用水膜喷淋组件和刻蚀机构的配合，可使喷淋的水膜溶液在硅片的表面上形成水膜保护层，隔绝刻蚀工艺过程对硅片正面PN结的破坏，并且上述水膜喷淋组件可通过阀门调节第一流道的通断以及调节经第一流道流出的流体的流量，使其适应不同尺寸的硅片，降低改造成本，不仅可减少溢流量以降低生产成本，而且可增加水膜覆盖率，减少过刻，提高产品良率以及提高刻蚀面抛光均匀性，提高太阳电池的发电效率。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷头，其特征在于，包括：第一管部，具有第一流道；第二管部，具有沿其轴向相对的第一端以及第二端，以及贯穿所述第一端和所述第二端的第二流道，所述第一端与所述第一管部连接且使所述第一流道和所述第二流道连通，所述第二流道的内径自所述第一端向所述第二端逐渐变大；以及阀门，设置于所述第一管部，所述阀门用于控制所述第一流道的通断以及调节经所述第一流道流出的流体的流量。2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述阀门包括阀体以及与所述阀体连接的拨动杆，所述阀体可旋转地安装于所述第一流道内，所述阀体可选择性的密封所述第一管部，所述第一管部设置有侧向开口，所述拨动杆可转动地穿过所述侧向开口以伸出所述第一管部，所述拨动杆与所述侧向开口密封连接。3.根据权利要求2所述的喷头，其特征在于，所述阀体呈扁平状。4.根据权利要求2所述的喷头，其特征在于，所述拨动杆的延伸方向与所述第一管部的轴向互相垂直。5.一种水膜喷淋组件，其特征在于，包括：储液件，具有储液腔、与所述储液...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜博，吴胜勇，张玉前，王士贵，姚俊，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：