生物感测装置制造方法及图纸

一种生物感测装置，包含基板、多个金属传导层、多个工作电极、对电极以及绝缘层。多个金属传导层配置于基板之上，且金属传导层具有第一上表面。多个工作电极以及对电极配置于相对应的金属传导层的第一上表面之上，其中每一工作电极的第一顶面高于金属传导层的第一上表面，且对电极的第二顶面高于第一顶面。绝缘层覆盖金属传导层并围绕工作电极以及对电极，其中绝缘层的第二上表面介于第一顶面与金属传导层的第一上表面之间，使得工作电极以及对电极凸出绝缘层的第二上表面。上述生物感测装置可增加感测灵敏度。可增加感测灵敏度。可增加感测灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
生物感测装置


[0001]本专利技术是有关一种感测装置，特别是一种用于检测生物分子的生物感测装置。

技术介绍

[0002]近年来开发出各种不同的生物分子的检测方法以进行诊断各种疾病、从事生理代谢相关研究或监测环境因子等等。微机电系统(Micro
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electromechanical Systems，MEMS)的发展备受瞩目，其结合半导体工艺技术与精密机械技术，可制作出一半导体组件用于感测光学、化学、生物分子或其他性质的微小芯片。然而，随着半导体产业进展到纳米技术工艺节点以寻求较高装置密度、较高表现及较低成本的关系，来自制造及设计方面的挑战驱使着三维设计的发展。据此，发展出一种具有较高表现及低成本的生物感测芯片为当前亟欲解决的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种生物感测装置，其包含凸出的多个工作电极以及一对电极，其中对电极的第二顶面高于工作电极的第一顶面，以增强工作电极的最大电场数值，进而提升感测的灵敏度。
[0004]本专利技术一实施例的生物感测装置包含一基板、多个金属传导层、多个工作电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生物感测装置，其特征在于，包含：一基板；多个金属传导层，配置于所述基板之上，且每一所述金属传导层具有一第一上表面；多个工作电极，配置于相对应的所述金属传导层的所述第一上表面之上，其中每一所述工作电极包含一第一顶面，且每一所述第一顶面高于所述金属传导层的所述第一上表面；一对电极，配置于相对应的所述金属传导层的所述第一上表面之上且相邻于所述多个工作电极，其中所述对电极包含一第二顶面，且所述第二顶面高于所述第一顶面；以及一绝缘层，覆盖所述金属传导层并围绕所述多个工作电极以及所述对电极，其中所述绝缘层的一第二上表面介于所述多个工作电极的所述多个第一顶面以及所述金属传导层的所述第一上表面之间，使得所述多个工作电极以及所述对电极凸出所述绝缘层的所述第二上表面。2.如权利要求1所述的生物感测装置，其特征在于，每一所述工作电极的所述第一顶面至所述对电极的所述第二顶面的高度差小于0.15微米。3.如权利要求1所述的生物感测装置，其特征在于，每一所述工作电极的所述第一顶面至所述对电极的所述第二顶面的高度差小于0.1微米。4.如权利要求1所述的生物感测装置，其特征在于，每一所述工作电极的所述第一顶面至所述对电极的所述第二顶面的高度差小于0.05微米。5.如权利要求1所述的生物感测装置，其特征在于，每一所述工作电极的高宽比介于0.125至7.5之间。6.如权利要求1所述的生物感测装置，其特征在于，每一所述工作电极的所述第一顶面至所述第一上表面的一第一高度介于0.05微米至...

【专利技术属性】
技术研发人员：连俊龙，
申请(专利权)人：瑞禾生物科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：