一种晶棒喷砂加工除尘装置制造方法及图纸

本申请涉及除尘装置的技术领域，尤其是公开了一种晶棒喷砂加工除尘装置，包括过滤仓、过滤塔、连通于所述过滤仓和过滤塔之间的转接管，所述过滤仓上连通有进气管，所述过滤塔上连通有排气管，所述过滤仓内设有位于所述进气管和所述转接管之间的多个过滤网，所述过滤塔内设有喷淋组件和过滤部，所述过滤部位于所述喷淋组件下方。本申请将排风系统排出的气体和粉尘通过进气管传输至过滤仓，过滤网阻隔部分粉尘，初步过滤粉尘。部分粉尘跟随气体通过转接管进入过滤塔，喷淋组件从外界接入水源喷淋，气体中残留的粉尘经过喷淋融入水中，实现了对粉尘的再过滤，经过二次过滤的气体最后通过排气管排出，减少了对环境的污染。减少了对环境的污染。减少了对环境的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒喷砂加工除尘装置


[0001]本申请涉及除尘装置的
，尤其涉及一种晶棒喷砂加工除尘装置。

技术介绍

[0002]喷砂是半导体晶片加工环节中一道必不可少的工序，整个工作过程中高压空气带动金刚砂粉尘形成粉尘流体，粉尘流体通过管口喷出并作用于晶棒表面。由于金刚砂具有较高的硬度，在喷砂的过程中晶棒表面的污染物和氧化层逐渐被去除。
[0003]喷砂设备上一般外接有排风系统，喷砂过程中容易产生的粉尘经由排风系统排出，然而，直接排出粉尘会造成环境污染，同时，损害工作人员的身体健康。

技术实现思路

[0004]为了能够解决上述技术问题，本申请的技术方案提供了一种晶棒喷砂加工除尘装置。技术方案如下：
[0005]本申请提供了一种晶棒喷砂加工除尘装置，包括过滤仓、过滤塔、连通于所述过滤仓和所述过滤塔之间的转接管，所述过滤仓上连通有进气管，所述过滤塔上连通有排气管，所述过滤仓内设有位于所述进气管和所述转接管之间的多个过滤网，所述过滤塔内设有喷淋组件和过滤部，所述过滤部位于所述喷淋组件下方。
[0006]通过上述技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，包括过滤仓、过滤塔、连通于所述过滤仓和所述过滤塔之间的转接管，所述过滤仓上连通有进气管，所述过滤塔上连通有排气管，所述过滤仓内设有位于所述进气管和所述转接管之间的多个过滤网，所述过滤塔内设有喷淋组件和过滤部，所述过滤部位于所述喷淋组件下方。2.根据权利要求1所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，所述喷淋组件包括连接于所述过滤塔内的安装套、插设于所述安装套内的喷淋主管、连通于所述喷淋主管的喷淋分管，所述喷淋分管上设有多个喷淋头。3.根据权利要求2所述的一种晶棒喷砂加工除尘装置，其特征在于，还包括水箱，所述水箱与所述安装套之间连通有进水管，所述水箱和所述过滤塔的底部之间连通有出水管，所述进水管和所述出水管上均设有水泵。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：陈元瑞，程波，
申请(专利权)人：无锡晶名光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：