一种电磁仿真电感感值修正方法、装置及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电磁仿真电感感值修正方法、装置及存储介质，方法包括：基于电感结构进行3D建模，生成电感仿真模型；对电感仿真模型输入激励电流，基于生成的感应磁场获得仿真电感值；获取与所述电感结构完全相同的实际电感器件的实测电感值；将所述仿真电感值与实测电感值进行比较，当仿真电感值与实测电感值的误差超过第一预设误差范围时，调节电感仿真模型中介质材料的磁导率以对仿真电感值进行修正。本发明专利技术通过调节电感仿真模型中介质材料的磁导率来修正电磁仿真中电感的感值，并且不影响其他器件的拟合。其他器件的拟合。其他器件的拟合。

【技术实现步骤摘要】
一种电磁仿真电感感值修正方法、装置及存储介质


[0001]本专利技术涉及电磁仿真
，特别是涉及一种电磁仿真电感感值修正方法、装置及存储介质。

技术介绍

[0002]电磁仿真通过数值计算对电子元器件的电磁性能进行模拟，可以在时域和频域对电路参数、电磁场强分布、微波传输、空间辐射、噪声等多种性能进行仿真模拟，并能够对仿真结果进行性能分析与优化，以代替昂贵的实物实验验证，从而大大提高了复杂电路的设计效率。但半导体工艺的波动通常使器件结构尺寸、电磁参数偏离理论值或设计值，因此在仿真时需要对器件的仿真测量值进行修正来保证与器件实际测量值保持一致。
[0003]无源器件(电阻、电容和电感)电磁仿真的准确度主要依赖电磁模型的精细化程度，如常见的平行板电容器的仿真，通过修正两个电极板的边缘效应、填充介质的层厚及介电常数(Er)，可以对电磁仿真的结果进行准确性修正。但对于电感器件(圆形、矩形、八角等)，由于模型结构复杂，在电磁仿真的过程中无法像平板电容器件那样直观地修正模型结构尺寸(电感电磁感应的解析表达比电阻和电容要复杂)；而导线间距、介质层厚度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电磁仿真电感感值修正方法，其特征在于，包括：基于电感结构进行3D建模，生成电感仿真模型；对电感仿真模型输入激励电流，基于生成的感应磁场获得仿真电感值；获取与所述电感结构完全相同的实际电感器件的实测电感值；将所述仿真电感值与实测电感值进行比较，当仿真电感值与实测电感值的误差超过第一预设误差范围时，调节电感仿真模型中介质材料的磁导率以对仿真电感值进行修正。2.根据权利要求1所述的电磁仿真电感感值修正方法，其特征在于，所述当仿真电感值与实测电感值的误差超过第一预设误差范围时，调节电感仿真模型中介质材料的磁导率以对仿真电感值进行修正，具体包括：当仿真电感值大于实测电感值时，打开磁导率设置文件，减小介质材料的磁导率；当仿真电感值小于实测电感值时，打开磁导率设置文件，增大介质材料的磁导率。3.根据权利要求1所述的电磁仿真电感感值修正方法，其特征在于，所述电感仿真模型包括基底堆叠结构；所述基底堆叠结构包括金属层和衬底，金属层生长在衬底上；当金属层包括两层及以上时，金属层之间设置有介质材料。4.根据权利要求3所述的电磁仿真电感感值修正方法，其特征在于，所述电感仿真模型包括的介质材料为一种；所述当仿真电感值与实测电感值的误差超过第一预设误差范围时，调节电感仿真模型中介质材料的磁导率以对仿真电感值进行修正，具体包括：当仿真电感值与实测电感值的误差超过第一预设误差范围但未超过第二预设误差范围时，按第一幅度调节介质材料的磁导率；当仿真电感值与实测电感值的误差超过第二预设误差范围时，按第二幅度调节介质材料的磁导率；所述第一幅度小于第二幅度。5.根据权利要求3所述的电磁仿真电感感值修正方法，其特征在于，所述电感仿真模型包括的介质材料超过一种；所述当仿真电感值与实测电感值的误差超过第一预设误差范围时，调节电感仿真模型中介质材料的磁导...

【专利技术属性】
技术研发人员：林宏帆，万亮，张丽玉，王文平，
申请(专利权)人：厦门市三安集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：