一种半导体材料制备用粉尘处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种半导体材料制备用粉尘处理装置，涉及半导体加工技术领域，包括回收箱，一侧安装有输送管，所述输送管的内部安装有震动输送带；回收连接箱，至少一组回收连接箱通过单向传输管与输送管相连接；所述回收连接箱包括：倾斜传输带，底端位于单向传输管的上侧；第一鼓风机构，朝向单向传输管鼓送空气；刮擦件，至少一端通过鼓送的空气与倾斜传输带的下表面相抵接。本申请中粉尘处理装置采用分布收集、集中回收的工作模式，各个回收连接箱可根据设备的分布位置进行组装，从而适用于不同的生产规模，并且安装方便，适用简单，并且在使用时，通过刮擦件，可以将倾斜传输带下侧的粉尘进行刮擦，进而避免粉尘吸附在倾斜传输带的上侧。的上侧。的上侧。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体材料制备用粉尘处理装置


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，更具体地说，它涉及一种半导体材料制备用粉尘处理装置。

技术介绍

[0002]半导体在加工时，在其多个工序中需要对材料进行处理，例如中国专利(公开号：CN114664687A)公开的一种带有粉尘处理功能的半导体晶圆减薄装置、中国专利(公开号：CN114012526A)公开的一种晶圆半导体打磨装置及其使用方法和中国专利(公开号：CN100553876C)公开的一种用于半导体晶圆的材料去除加工的方法等，在加工时，会产生大量的粉尘，若不对粉尘进行处理，则粉尘会对加工环境和工作人员造成影响。
[0003]经检索，中国专利(公开号：CN103832833B)公开了一种粉尘物料回收装置，该专利包括物料收集罐、分离器、除尘器和真空泵，所述分离器的排风口和排料口均设置在物料收集罐内，所述除尘器的进风口设置在物料收集罐内，所述除尘器的出风口与真空泵连接，所述分离器的进料口上连接有吸料管，所述分离器的排风口与除尘器的进风口间设置有折流板。
[0004]在多台设备同时工作时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体材料制备用粉尘处理装置，其特征在于，包括：回收箱(1)，所述回收箱(1)的一侧安装有输送管(2)，所述输送管(2)的内部安装有震动输送带(5)；回收连接箱(3)，至少一组回收连接箱(3)通过单向传输管(4)与输送管(2)相连接；所述回收连接箱(3)包括：倾斜传输带(32)，所述倾斜传输带(32)的底端位于单向传输管(4)的上侧；第一鼓风机构(34)，所述第一鼓风机构(34)朝向单向传输管(4)鼓送空气；刮擦件(33)，所述刮擦件(33)至少一端与倾斜传输带(32)的下表面相抵接。2.根据权利要求1所述的一种半导体材料制备用粉尘处理装置，其特征在于，所述回收连接箱(3)包括连接盒(31)，所述连接盒(31)内部靠近倾斜传输带(32)的下侧安装有连接架(35)；所述刮擦件(33)包括与连接架(35)一端转动连接的刮擦板(331)，所述刮擦板(331)的宽度不小于倾斜传输带(32)的宽度；所述刮擦板(331)的下表面安装有迎风板(332)，所述迎风板(332)与刮擦板(331)之间的角度为30
‑
60
°
。3.根据权利要求1所述的一种半导体材料制备用粉尘处理装置，其特征在于，所述单向传输管(4)包括连接管(42)，所述连接管(42)远离回收连接箱(3)的一端安装有连接块(41)，且连接管(42)朝向回收连接箱(3)的一端安装有密封垫(...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂新明，赵波，
申请(专利权)人：苏师大半导体材料与设备研究院邳州有限公司，
类型：发明
国别省市：