基于等离激元的纳米结构平面化倒置光栅生物传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种基于等离激元的纳米结构平面化倒置光栅生物传感器，包括倒置的纳米结构均匀光栅、金属平面传感区、配体层和受体层，所述倒置的同质纳米结构均匀光栅和金属平面传感区构成传感器单元结构，所述金属平面传感区连接在所述倒置的纳米结构均匀光栅的上表面，所述配体层连接在所述金属平面传感区的上表面，所述受体层特异性结合在配体层表面。本发明专利技术提高了等离激元生物传感器的通用性，提高等离激元模式下生物分子检测中的近场利用效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
基于等离激元的纳米结构平面化倒置光栅生物传感器


[0001]本专利技术属于等离激元纳米结构和生物分子传感
，本专利技术尤其涉及一种基于等离激元的纳米结构平面化倒置光栅生物传感器。

技术介绍

[0002]近年来，等离激元应用范围十分广泛，例如对光学透镜、传感、光捕获、集成电路、高分辨率成像、化学分析和光热操纵等应用均随着需求不断增加，关于等离激元应用于疾病检测、环境保护、食品卫生等各个领域的研究也越来越多，尤其是在生物传感器等方面，具有重要的科学意义和实用价值。等离激元纳米阵列的空间近场分布特性与相应的结构几何形状、尺寸密切相关，可通过棱镜耦合、光栅耦合、局域表面等离激元耦合等物理机制增强光学近场。
[0003]但是在这其中，棱镜耦合型等离激元生物传感器需要复杂的光路结构以及体积巨大的棱镜，不利于搭建小型化和集成化检测系统。而当前光栅耦合型的等离激元生物传感器，它们的传感区大多数由诸如周期性纳米孔洞阵列，或者周期性纳米柱阵列组成；这样的传感器，其传感区表面凹凸不平，对于不同的生物标志物，其分子形态和尺寸存在显著差异，如常规的肿瘤标志本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于等离激元的纳米结构平面化倒置光栅生物传感器，其特征在于，包括倒置的纳米结构均匀光栅、金属平面传感区、配体层和受体层，所述倒置的同质纳米结构均匀光栅和金属平面传感区构成传感器单元结构，所述金属平面传感区连接在所述倒置的纳米结构均匀光栅的上表面，所述配体层连接在所述金属平面传感区的上表面，所述受体层特异性结合在配体层表面。2.根据权利要求1所述的一种基于等离激元的纳米结构平面化倒置光栅生物传感器，其特征在于：所述倒置的纳米结构均匀光栅为蓝宝石Al2O3或硅Si或二氧化硅SiO2或氮化硅Si3N4。3.根据权利要求1所述的一种基于等离激元的纳米结构平面化倒置光栅生物传感器，其特征在于，所金属平面传感区为金Au、银Ag、铂Pt、铝Al、铜Cu或氮化钛TiO2中的任一种或多种复合。4.根据权利要求2所述的一种基于等离激元的纳米结构平面化倒置光栅生物传感器，其特征在于，所述SiO2的折射率范...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱锦锋，朱嘉恒，李法君，谢奕浓，刘雪莹，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：