样本的结构照明制造技术

本申请涉及样本的结构照明。一种系统包括：光源；第一光栅和第二光栅；以及至少一个反射组件，其在第一位置形成源自光源并延伸至第一光栅且随后延伸至系统中的后续组件的第一光路，并且其在第二位置形成源自光源并延伸至第二光栅且随后延伸至后续组件的第二光路。第二光栅且随后延伸至后续组件的第二光路。第二光栅且随后延伸至后续组件的第二光路。

【技术实现步骤摘要】
样本的结构照明
[0001]本申请是申请日为2019年9月18日，申请号为201910882910.X，专利技术名称为“样本的结构照明”的申请的分案申请。
[0002]相关申请的交叉引用
[0003]本申请要求于2018年9月19日提交的美国临时申请62/733,330以及于2018年12月21日提交的荷兰申请序列号N2022286的优先权；这些申请的内容通过引用并入本文。


[0004]本申请涉及但不限于样本的结构照明。

技术介绍

[0005]结构照明显微术(SIM)已经被用来提高从样本获得的图像的分辨率。SIM利用具有不同条纹图样(fringe pattern)的样本的若干图像，使得样本上的不同位置暴露于一定范围的照明强度。在一些情况下，可以通过围绕光轴以单独的角度旋转图样(pattern)取向来重复该过程。所捕获的图像可以被组合成具有扩展空间频率带宽的单个图像，该单个图像可以被再转换到真实空间中，以生成具有比由传统显微镜捕获的图像更高分辨率的图像。现有的SIM方法可能具有增加系统的复杂性、尺寸、制造成本和/或操作成本的一个或更多个特性。

技术实现思路

[0006]在第一方面，一种系统包括：光源；第一光栅和第二光栅；以及第一反射组件，其在第一位置形成源自光源并延伸至第一光栅且随后延伸至系统中的后续组件的第一光路，并且其在第二位置形成源自光源并延伸至第二光栅且随后延伸至后续组件的第二光路。
[0007]实现方式可以包括下列特征中的任何特征或全部。第一反射组件包括呈现(assume)第一位置或第二位置的可旋转反射镜。可旋转反射镜是双侧的，并且包括细长构件，并且其中，轴基本上在细长构件的中心处耦合到细长构件。轴偏离并基本上平行于由第一和第二光路限定的平面。当可旋转反射镜呈现第一位置时，细长构件的第一端阻断源自光源并延伸至第二光栅的第一路径，并将源自光源的第一光朝向第一光栅反射。当可旋转反射镜呈现第一位置时，细长构件的第二端不阻断从第一光栅到后续组件的第二路径。当可旋转反射镜呈现第二位置时，细长构件的第二端阻断来自第二光栅的第二路径，并将来自第二光栅的第二光朝向后续组件反射。当可旋转反射镜呈现第二位置时，细长构件的第一端不阻断源自光源并延伸至第二光栅的第一路径。第一光栅和第二光栅被定向成使得其各自的法线基本上彼此反向平行，并且其中，轴基本上与法线对齐。可旋转反射镜在第一和第二位置之间往复运动。第一反射组件包括第一可平移反射镜，第一可平移反射镜经历到第一位置的第一平移。第一反射组件还包括第二可平移反射镜，第二可平移反射镜经历到第二位置的第二平移。第一和第二平移基本上垂直于由第一和第二光路限定的平面。第一平移基本上平行于由第一和第二光路限定的平面。第一可平移反射镜经历到第二位置的第
二平移，并且其中，第二平移基本上平行于由第一和第二光路限定的平面。第一反射组件包括呈现第一位置或第二位置的可旋转棱镜。第一光栅和第二光栅彼此相邻定位，其中，处于第一位置的可旋转棱镜沿着第一光路朝向第一光栅反射第一光，并且其中，处于第二位置的可旋转棱镜沿着第二光路朝向第二光栅反射第二光。第一光栅和第二光栅面向后续组件。第一光栅和第二光栅相对于光源处于固定的位置。后续组件是相位选择器。该系统还包括位于光源和第一反射组件之间的相位选择器。相位选择器相对于光源处于固定的位置。该系统还包括在第一光路和第二光路的每一个中位于第一光栅和第二光栅之前的第二反射组件。第一光路和第二光路中的每一个都具有源自光源并延伸至第二反射组件的第一光路部分，其中，第一光路和第二光路中的每一个都具有源自后续组件的第二光路部分，并且其中，第一光路部分和第二光路部分基本上彼此平行。
[0008]在第二方面，一种系统包括：光源；第一光栅和第二光栅；以及至少一个反射镜，反射镜具有第一位置，第一位置阻断源自光源并延伸至第二光栅的第一路径，并且将第一光导向第一光栅，而不阻断从第一光栅到系统中后续组件的第二路径，并且反射镜具有第二位置，第二位置阻断来自第二光栅的第三路径，并将来自第二光栅的第二光导向后续组件，而不阻断第一路径。
[0009]实现方式可以包括下列特征中的任何特征或全部。第一光栅和第二光栅的各自光栅取向基本上彼此垂直。第一光栅和第二光栅面向彼此。后续组件是相位选择器。该系统还包括位于光源和至少一个反射镜之间的相位选择器。
[0010]在第三方面，一种方法包括：定位至少一个反射组件以限定第一光路，该第一光路源自光源并延伸至第一光栅且随后延伸至后续组件；将来自第一光路的第一相位选择光引导到样本上；定位至少一个反射组件以限定第二光路，该第二光路源自光源并延伸至第二光栅且随后延伸至后续组件；以及将来自第二光路的第二相位选择光引导到样本上。
[0011]实现方式可以包括下列特征中的任何特征或全部。定位至少一个反射组件以限定第一光路包括阻断源自光源并延伸至第二光栅的第一路径，并将第一光导向第一光栅，而不阻断从第一光栅到后续组件的第二路径。定位至少一个反射组件以限定第二光路包括阻断来自第二光栅的第三路径，并将来自第二光栅的第二光导向后续组件，而不阻断第一路径。
[0012]应当认识到，前面的概念和下面更详细讨论的另外的概念的所有组合(假设这些概念不相互矛盾)都被设想为本文公开的专利技术主题的一部分。特别是，出现在本公开结尾处的要求保护的主题的所有组合都被设想为本文公开的专利技术主题的一部分。
附图说明
[0013]图1是可促进结构照明显微术(SIM)并且其中相位选择器被放置在反射组件之后的示例系统的示意图。
[0014]图2示出了可以被实现为图1的系统的一部分的具有可旋转反射镜的旋转直列(inline)光栅系统(RIGS)的示例。
[0015]图3A是图2的系统的俯视图，示出了处于第一位置的可旋转反射镜。
[0016]图3B是图3A中所示的处于第一位置的可旋转反射镜的透视细节图。
[0017]图4A是图2的系统的俯视图，示出了处于第二位置的可旋转反射镜。
[0018]图4B是图4A中所示的处于第二位置的可旋转反射镜的透视细节图。
[0019]图5是可以被实现为图1的系统的一部分以促进SIM的具有一个或更多个反射镜的系统的示意图。
[0020]图6是可以被实现为图1的系统的一部分的具有可平移反射镜的示例系统的示意图。
[0021]图7A
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图7B示意性地示出了可以被实现为图6中系统的一部分的垂直平移反射镜的示例。
[0022]图8A
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图8B示意性地示出了可以被实现为图6中系统的一部分的水平平移反射镜的示例。
[0023]图9是可以被实现为图1的系统的一部分的具有可旋转棱镜的系统的示意图。
[0024]图10示出了可用于定位一个或更多个反射组件以执行SIM的方法的示例。
[0025]图11是可促进SIM并且其中相位选择器被放置在反射组件之前的示例系统的示意图。
[0026]图12是可用于生物和/本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种系统，包括：光源；第一光栅；第二光栅；可旋转反射组件，所述可旋转反射组件能够围绕垂直轴在第一位置和第二位置之间旋转；其中，当所述可旋转反射组件处于所述第一位置时，所述可旋转反射组件形成包括所述光源和所述第一光栅的第一光路，并且其中，当所述可旋转反射组件处于所述第二位置时，所述可旋转反射组件形成包括所述光源和所述第二光栅的第二光路；以及其中，所述第一光栅和所述第二光栅相对于所述光源处于固定的位置。2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一光栅包括具有第一周期性结构的第一衬底，并且其中，所述第二光栅包括具有第二周期性结构的第二衬底。3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述第一周期性结构具有第一光栅取向以及所述第二周期性结构具有第二光栅取向，其中所述第一光栅取向基本上垂直于所述第二光栅取向。4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一光栅包括第一棱镜，并且其中，所述第二光栅包括第二棱镜。5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一光栅被定位成基本上垂直于所述第二光栅。6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述可旋转反射组件包括可旋转棱镜。7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述光源包括光纤电缆。8.根据权利要求1所述的系统，其中，来自所述光源的光包括一个或更多个波长的激光束。9.根据权利要求1所述的系统，还包括投影透镜。10.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：斯坦利，
申请(专利权)人：伊鲁米那股份有限公司，
类型：发明
国别省市：