一种制氟电解槽电极密封结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种制氟电解槽电极密封结构，包括盖板，所述盖板上焊接有第一金属管，所述第一金属管中穿设有导电杆，所述第一金属管远离盖板的一端上设置有第一法兰密封，所述第一法兰密封上焊接有第二金属管，所述第二金属管远离盖板的一端上设置有第二法兰密封。本实用新型专利技术中第一法兰密封保证盖板开孔密封效果，也可连接导电电缆起电极导电作用，同时，第一法兰密封上下法兰之间进行绝缘处理避免盖板带电，整体密封效果好，可完全避免泄露造成的氟气燃烧和高纯氟气氧氮指标超标。造成的氟气燃烧和高纯氟气氧氮指标超标。造成的氟气燃烧和高纯氟气氧氮指标超标。

【技术实现步骤摘要】
一种制氟电解槽电极密封结构


[0001]本技术涉及氟化工
，具体涉及一种制氟电解槽电极密封结构。

技术介绍

[0002]高纯氟气(F2)是一种性质非常活泼的气体，具有强氧化性，由于其反应特性而在半导体行业作为一种蚀刻气体或清洁气体用于制造光电池和液晶显示器的TFT(薄膜晶体管)。同时，作为准分子激光器的一种气体，氟激光器也广泛应用于半导体行业。同时利用F2作为化学气相沉积(CVD) 反应腔室的清洗剂，与NF3相比，F2具有更强的反应活性且不会造成温室效应。用于此目的的氟气随着国内半导体行业的蓬勃发展，需求量也在大幅增加。为了满足电子、光伏行业的要求，需要纯度达到99.9％以上甚至 99.99％的高纯度氟气。其中，氧气、氮气等杂质的要求很高，99.9％氟气中氧氮含量要求至少低于500ppm，对电解槽电极密封结构提出了较高要求。
[0003]工业上，电解制氟气的方法为：电解KF
·
2HF(氢氧化钾与氟化氢的混合物)，以压实的石墨为阳极，钢制电解槽槽身为阴极(或者阳极采用碳板或镍板，阴极采用碳钢)，以氟化氢钾为电解质，进行无水氢氟酸的电解，再经净化而得。
[0004]现有的阳极密封结构通常是在密封盒内填入四氟盘根或使用聚四氟乙烯粉或者氟化钙粉末填入阳极导电柱和密封盒之间的缝隙，并压实密封。此种密封结构对密封填料操作要求很高，填料如果没有压实密封，可能导致漏气从而导致阳极填料燃烧，无法满足高纯氟气对氧氮杂质指标的要求。

技术实现思路

[0005]本技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种制氟电解槽电极密封结构，该设计结构简单合理，使用方便，密封效果好，可完全避免泄露造成的氟气燃烧和高纯氟气氧氮指标超标，易于推广使用。
[0006]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种制氟电解槽电极密封结构，包括盖板，所述盖板上焊接有第一金属管，所述第一金属管中穿设有导电杆，所述第一金属管远离盖板的一端上设置有第一法兰密封，所述第一法兰密封上焊接有第二金属管，所述第二金属管远离盖板的一端上设置有第二法兰密封。
[0007]所述导电杆包括主杆和副杆，所述副杆与主杆一体成型且所述副杆的直径小于主杆的直径。
[0008]所述主杆上套装有绝缘套。
[0009]所述第一法兰密封包括上平面法兰、下平面法兰和第一紧固结构，所述上平面法兰套装在副杆上，所述下平面法兰套装在主杆上，所述上平面法兰与下平面法兰之间垫设有平面法兰垫片，所述第一紧固结构用以固定上平面法兰和下平面法兰。
[0010]所述第一紧固结构包括第一紧固螺栓和第一紧固螺母，所述第一紧固螺栓有若干个且均匀等距的穿设在上平面法兰和下平面法兰中，所述第一紧固螺母与第一紧固螺栓一
一对应的套装在第一紧固螺栓上，所述副杆上套装有导电杆紧固螺母，所述第一紧固螺栓上套设有螺栓绝缘套管。
[0011]所述第二法兰密封包括槽面法兰、榫面法兰盖和第二紧固结构，所述槽面法兰套装在第二金属管的顶部，所述榫面法兰盖盖设在第二金属管的顶端，所述第二紧固结构用以固定槽面法兰和榫面法兰盖。
[0012]所述第二紧固结构包括第二紧固螺栓和第二紧固螺母，所述第二紧固螺栓有若干个且均匀等距的穿设在槽面法兰和榫面法兰盖中，所述第二紧固螺母与第二紧固螺栓一一对应的套装在第二紧固螺栓上。
[0013]所述槽面法兰上开设有环形槽，所述榫面法兰盖上设置有环形嵌块，所述环形嵌块嵌设在环形槽中，所述环形嵌块与环形槽的内端面之间垫设有榫槽面垫片。
[0014]所述第一紧固螺母与上平面法兰之间、第一紧固螺栓的头部与下平面法兰之间垫设有法兰垫片和绝缘垫片，所述第二紧固螺栓的头部与槽面法兰之间、第二紧固螺母与槽面法兰盖之间垫设有法兰垫片。
[0015]本技术与现有技术相比具有以下优点：
[0016]第一法兰密封保证盖板开孔密封效果，也可连接导电电缆起电极导电作用，同时，第一法兰密封上下法兰之间进行绝缘处理避免盖板带电，整体密封效果好，可完全避免泄露造成的氟气燃烧和高纯氟气氧氮指标超标。
[0017]下面结合附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
附图说明
[0018]图1是整体结构示意图。
[0019]图2是附图1中圆圈A处结构放大图。
[0020]图3是附图1中圆圈B处结构放大图。
[0021]附图标记说明：
[0022]1—盖板；2—第一金属管；3—导电杆；
[0023]4—第二金属管；5—主杆；6—副杆；
[0024]7—绝缘套；8—上平面法兰；9—下平面法兰；
[0025]10—平面法兰垫片；11—第一紧固螺栓；12—第一紧固螺母；
[0026]13—导电杆紧固螺母；14—螺栓绝缘套管；15—槽面法兰；
[0027]16—榫面法兰盖；17—第二紧固螺栓；18—第二紧固螺母；
[0028]19—环形槽；20—环形嵌块；21—榫槽面垫片；
[0029]22—紧固垫片；23—绝缘垫片。
具体实施方式
[0030]如图1、图2、图3所示，本技术提供一种制氟电解槽电极密封结构，包括盖板1，盖板1上焊接有第一金属管2，第一金属管2中穿设有导电杆3，第一金属管2远离盖板1的一端上设置有第一法兰密封，第一法兰密封上焊接有第二金属管4，第二金属管4远离盖板1的一端上设置有第二法兰密封。
[0031]优选的，导电杆3采用铜或镍等金属制成，盖板1、第一金属管2及第二金属管4采用
碳钢或蒙乃尔等耐HF腐蚀材料制成，第一法兰密封、第二法兰密封用以对整个导电杆3以及第二金属管4端部进行密封，可避免阳极填料没有压实所造成的电极气体泄露情况。
[0032]具体的，在本技术中，导电杆3包括主杆5和副杆6，副杆6 与主杆5一体成型且所述副杆6的直径小于主杆5的直径，主杆5上套装有绝缘套7，主杆5和副杆6穿设在第一金属管2及第二金属管4中，主杆5同时穿设在挡板1中，优选的，绝缘套7采用四氟乙烯制成，用以保证导电杆3与第一金属管2之间的绝缘效果。
[0033]具体的，在本技术中，第一法兰密封包括上平面法兰8、下平面法兰9和第一紧固结构，上平面法兰8套装在副杆6上，下平面法兰9套装在主杆5上，上平面法兰8与下平面法兰9之间垫设有平面法兰垫片10，第一紧固结构用以固定上平面法兰8和下平面法兰9。
[0034]优选的，平面法兰垫片10采用聚四氟乙烯或氟橡胶等耐氟气腐蚀的材料制成，起到密封和绝缘效果，同时，上平面法兰8上可连接电缆接头用于连接电缆起电极导电作用。
[0035]具体的，在本技术中，第一紧固结构包括第一紧固螺栓11和第一紧固螺母12，第一紧固螺栓11有若干个且均匀等距的穿设在上平面法兰8和下平面法兰9中，第一紧固螺母12与第一紧固螺栓11一一对应的套装在第一紧固螺栓11上，副杆6上套装有导电杆紧固螺母13，导电杆 3的副杆6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制氟电解槽电极密封结构，其特征在于：包括盖板，所述盖板上焊接有第一金属管，所述第一金属管中穿设有导电杆，所述第一金属管远离盖板的一端上设置有第一法兰密封，所述第一法兰密封上焊接有第二金属管，所述第二金属管远离盖板的一端上设置有第二法兰密封。2.根据权利要求1所述的一种制氟电解槽电极密封结构，其特征在于：所述导电杆包括主杆和副杆，所述副杆与主杆一体成型且所述副杆的直径小于主杆的直径。3.根据权利要求2所述的一种制氟电解槽电极密封结构，其特征在于：所述主杆上套装有绝缘套。4.根据权利要求2所述的一种制氟电解槽电极密封结构，其特征在于：所述第一法兰密封包括上平面法兰、下平面法兰和第一紧固结构，所述上平面法兰套装在副杆上，所述下平面法兰套装在主杆上，所述上平面法兰与下平面法兰之间垫设有平面法兰垫片，所述第一紧固结构用以固定上平面法兰和下平面法兰。5.根据权利要求4所述的一种制氟电解槽电极密封结构，其特征在于：所述第一紧固结构包括第一紧固螺栓和第一紧固螺母，所述第一紧固螺栓有若干个且均匀等距的穿设在上平面法兰和下平面法兰中，所述第一紧固螺母与第一紧固螺栓一一对应的套装在第一紧固螺栓上，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王斌，苑旭明，张乾程，武建鹏，杨少飞，李雷，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：