探针卡制造技术

探针卡(10)包括柔性基板(114)及刚性基板(120)。柔性基板(114)与检查对象物接触。刚性基板(120)与柔性基板(114)电连接。在刚性基板(120)的垂线方向上，柔性基板(114)与刚性基板(120)相比位于检查对象物所在一侧。(120)相比位于检查对象物所在一侧。(120)相比位于检查对象物所在一侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】探针卡


[0001]本专利技术涉及探针卡。

技术介绍

[0002]为了对检查对象物、例如集成电路(IC)等电子装置的电特性进行检查，存在使用能够安装于检查装置的探针卡的情况。例如，如专利文献1所记载，探针卡具备连接器，该连接器具有设有与检查对象物接触的触点部的柔性基板。柔性基板与刚性基板电连接。在刚性基板的垂线方向上，柔性基板的大半与刚性基板相比位于检查对象物所在一侧。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2019
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109101号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]在专利文献1的探针卡中，在刚性基板的垂线方向上，柔性基板的一部分相对于刚性基板位于检查对象物所在一侧的相反侧。因此，为了对具有柔性基板的连接器进行更换，必须将包含刚性基板的探针卡整体从检查装置拆下。但是，将探针卡整体从检查装置拆下的作业可能变得复杂。
[0008]本专利技术的目的的一例在于容易进行具有柔性基板的连接器的更换。本专利技术的其他目的可根据本说明书的记载变得清楚。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]本专利技术的一个方案是一种探针卡，其包括：
[0011]柔性基板，其与检查对象物接触；以及
[0012]刚性基板，其与所述柔性基板电连接，
[0013]在所述刚性基板的垂线方向上，所述柔性基板与所述刚性基板相比位于所述检查对象物所在一侧。
[0014]专利技术效果
[0015]根据本专利技术的上述方案，能够容易地进行具有柔性基板的连接器的更换。
附图说明
[0016]图1是实施方式的探针卡的立体图。
[0017]图2是示出沿铅直方向通过图1的A
‑
A
′
线的截面的图。
[0018]图3是图2的连接器及其周边的放大图。
[0019]图4是用于说明连接器的更换方法的一例的图。
[0020]图5是用于说明连接器的更换方法的一例的图。
[0021]图6是用于说明连接器的更换方法的一例的图。
具体实施方式
[0022]以下，使用附图说明本专利技术的实施方式。需要说明的是，在全部附图中，对相同的构成要素标注相同的附图标记，并省略适当说明。
[0023]在本说明书中，只要没有特别说明，“第1”、“第2”、“第3”等序数词被标注用于简单区分标注相同名称的构成，并非代表顺序、重要度等结构的特定特征。
[0024]图1是实施方式的探针卡10的立体图。图2是示出沿铅直方向Z通过图1的A
‑
A
′
线的截面的图。图3是图2的连接器110及其周边的放大图。在图1～图3中，铅直方向Z成为后述的刚性基板120的垂线方向。另外，铅直方向Z与刚性基板120的厚度方向平行。由表示铅直方向Z的箭头示出的方向、即铅直方向Z的正方向表示铅直方向Z的向上方向。特别是在本实施方式中，铅直方向Z的正方向是从刚性基板120所在一侧朝向后述的柔性基板114的触点部所在一侧的方向。另外，由表示铅直方向Z的箭头示出的方向的相反方向即铅直方向Z的负方向表示铅直方向Z的向下方向。特别是在本实施方式中，铅直方向Z的负方向是从柔性基板114的触点部所在一侧朝向刚性基板120所在一侧的方向。铅直方向Z在后述的图4～图6中也相同。
[0025]使用图1～图3说明探针卡10的构造。
[0026]探针卡10安装于检查装置20。探针卡10具备连接器110、刚性基板120、压接块130、保持器140及螺母板150。
[0027]连接器110具有基座块112及柔性基板114。详细见后述，在连接器110中，位于柔性基板114上端的未图示的触点部与检查装置20的检查对象物、例如IC等电子装置接触。基座块112例如为金属块或树脂块。基座块112的上表面的至少一部分与刚性基板120的上表面相比位于铅直方向Z的上方。柔性基板114例如为FPC(Flexible Printed Circuit：柔性印刷基板)。柔性基板114与基座块112相比位于铅直方向Z的上方。在后述的刚性基板120的第1开口122内及压接块130的第2开口132内，柔性基板114沿着基座块112的上表面弯曲。
[0028]刚性基板120例如是印刷电路板(PCB)。如图2及图3所示，刚性基板120划分形成在铅直方向Z上贯通刚性基板120的第1开口122。基座块112及柔性基板114的一部分位于第1开口122内。刚性基板120与柔性基板114电连接。
[0029]压接块130例如为金属块或树脂块。压接块130利用第1固定件162固定于刚性基板120。具体来说，压接块130与刚性基板120相比位于铅直方向Z的上方。第1固定件162向铅直方向Z的负方向贯通压接块130。另外，第1固定件162的前端、即第1固定件162的铅直方向Z的下端安装于刚性基板120。在本实施方式中，第1固定件162是螺丝。但是，第1固定件162也可以是螺丝以外的固定件、例如螺栓。压接块130划分形成在铅直方向Z上贯通压接块130的第2开口132。基座块112及柔性基板114的一部分位于第2开口132内。
[0030]压接块130向铅直方向Z的负方向将柔性基板114朝向刚性基板120压接。由此，柔性基板114由于压接块130而未远离刚性基板120。详细来说，如图2及图3所示，在压接块130的下表面形成有供压接弹性件134进入的凹部。压接弹性件134例如为硅橡胶等橡胶。压接弹性件134向铅直方向Z的负方向将柔性基板114朝向刚性基板120压接。需要说明的是，也可以是，无需使用压接弹性件134，通过使压接块130的至少一部分自身与柔性基板114接触，压接块130也对柔性基板114进行压接。
[0031]如图3所示，在从铅直方向Z的正方向观察时，柔性基板114的至少一部分与压接块
130的压接部、即压接弹性件134重叠。因此，柔性基板114能够由压接弹性件134朝向刚性基板120压接。另外，柔性基板114具有在从铅直方向Z的正方向观察时位于与压接弹性件134重叠的位置的连接区域114a。柔性基板114在压接块130对柔性基板114进行压接的位置经由连接区域114a与刚性基板120电连接。
[0032]连接区域114a在铅直方向Z上划分形成有至少1个通孔。埋入该通孔中的金属等导电材料能够作为用于将柔性基板114与刚性基板120电连接的连接部件发挥功能。另外，埋入该通孔中的导电材料也可以作为止动部件发挥功能，用于避免柔性基板114中的由压接弹性件134等压接块130压接的部分(在本实施方式中为连接区域114a)被压接弹性件134等压接块130压溃。即使在与压接块130压接柔性基板114的位置不同的位置设有连接部件，也为了避免柔性基板114中的由压接块130压接的部分被压溃，优选设有止动部件。另一方面，在设有该止动部件且在与压接块130压接柔性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种探针卡，其特征在于，包括：柔性基板，其与检查对象物接触；以及刚性基板，其与所述柔性基板电连接，在所述刚性基板的垂线方向上，所述柔性基板与所述刚性基板相比位于所述检查对象物所在一侧。2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还具备压接块，其在从所述检查对象物所在一侧朝向所述刚性基板所在一侧的方向上，将所述柔...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下弘贵，
申请(专利权)人：株式会社友华，
类型：发明
国别省市：