【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测量距离的方法和装置
[0001]本公开涉及用于测量距离的装置，例如，干涉测量装置。本公开还涉及用于测量距离的方法，包括使用本文公开的装置的方法。
技术介绍
[0002]用于绝对距离测量的光学技术已在科学和工程的许多分支中得到发展。基于可调谐激光源的技术在从亚毫米(以扫频源光学相干断层扫描(OCT)形式)到数十米或更多的频率扫描干涉测量(FSI)(通常也称为频率调制连续波(FMCW)激光雷达)的长度尺度上得到应用。
[0003]这些技术涉及将从目标反射或散射的光(可称为对象光束)与本地参考波(可称为参考光束)进行组合。可以检测对象光束和参考光束之间的干涉。对象光束和参考光束从激光源的初始光束中分离出来。对象光束和参考光束的行进距离之间存在光程差异。
[0004]一个问题是将频率扫描干涉测量应用于长距离(约10米)、高速(超过每秒105个坐标)的绝对距离测量当前在合理成本下是不切实际的，因为调制频率极高(通常100GHz或以上)。
技术实现思路
[0005]第一方面提供了一种干涉测量装置，包...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种干涉测量装置，包括：激光源，能够操作以发射第一光束；分束器，被布置为将所述第一光束分成对象光束和参考光束，所述对象光束沿对象光束臂传递，所述参考光束沿参考光束臂传递；自适应延迟线，位于沿所述参考光束臂的一距离处，所述自适应延迟线被配置为在使用时提供一个或多个长度调整的参考光束；分束器，被布置为重新组合来自所述对象光束臂的所述对象光束和来自所述参考光束臂的所述一个或多个长度调整的参考光束；以及光电探测器，能够操作以检测所述对象光束和所述一个或多个长度调整的参考光束之间的干涉。2.根据权利要求1所述的干涉测量装置，其中，所述自适应延迟线包括一系列N个开关，其中N≥1，以允许选择2
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个间隔的光路长度之一，并且包括组合器，由此所述自适应延迟线在使用时进行操作以提供长度调整的参考光束。3.根据权利要求2所述的干涉测量装置，其中，能够通过所述自适应延迟线内的一个或多个开关的操作而选择的一个或多个光路长度的长度是可调节的。4.根据权利要求2或3所述的干涉测量装置，其中，能够通过所述自适应延迟线内的每个开关的操作而选择的所述光路长度是唯一的。5.根据权利要求2、3或4所述的干涉测量装置，其中，所述自适应延迟线被配置为使得所述参考光束或所述对象光束通过一系列N个可切换延迟线，所述N个可切换延迟线具有指数增长的延迟。6.根据前述权利要求中任一项所述的干涉测量装置，其中，所述自适应延迟线包括一系列N个分路器以同时提供具有间隔的光路长度的2
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个参考光束，其中N≥1，并且包括组合器，由此所述自适应延迟线在使用时进行操作以提供多个长度调整的参考光束。7.根据权利要求2至6中任一项所述的干涉测量装置，其中，所述2
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个间隔的光路长度是等间隔的或不等间隔的。8.根据前述权利要求中任一项所述的干涉测量装置，其中，所述自适应延迟线包括一个或多个标准具，由此所述自适应延迟线在使用时进行操作以提供多个长度调整的参考光束。9.一种干涉测量装置，包括：激光源，能够操作以发射第一光束；分束器，被布置为将所述第一光束分成对象光束和参考光束，所述对象光束沿对象光束臂传递，所述参考光束沿参考光束臂传递；自适应延迟线，位于沿所述对象光束臂的一距离处，所述自适应延迟线被配置为在使用时提供一个或多个长度调整的对象光束；分束器，被布置为重新组合来自所述对象光束臂的所述一个或多个长度调整的对象光束和来自所述参考光束臂的所述参考光束；以及光电探测器，能够操作以检测所述一个或多个长度调整的对象光束和所述参考光束之间的干涉。10.根据权利要求9所述的干涉测量装置，其中，所述自适应延迟线包括一系列N个开
关，其中N≥1，以允许选择2
N
个间隔的光路长度之一，并且包括组合器，由此所述自适应延迟线在使用时进行操作以提供长度调整的对象光束。11.根据权利要求10所述的干涉测量装置，其中，能够通过所述自适应延迟线内的一个或多个开关的操作而选择的一个或多个光路长度的长度是可调节的。12.根据权利要求10或11所述的干涉测量装置，其中，能够通过所述自适应延迟线内的每个开关的操作而选择的所述光路长度是唯一的。13.根据权利要求10、11或12所述的干涉测量装置，其中，所述自适应延迟线被配置为使得所述参考光束或所述对象光束通过一系列N个可切换延迟线，所述N个可切换延迟线具有指数增长的延迟。14.根据权利要求9至13中任一项所述的干涉测量装置，其中，所述自适应延迟线包括一...
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