一种蒸镀治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种蒸镀治具，包括固定盘；三组爪板以环形阵列的形式固设于固定盘上，爪板弯折设置；三组镀锅的中心处通过滚轮连接在爪板的端部，通过弯折设置的爪板，以使连接在爪板端部上相邻的镀锅之间的距离得以调节；多层安装孔以环形阵列的形式设置在镀锅上，每一层安装孔的数量以镀锅的圆心为中心向外递增；载盘固设于安装孔上。本实用新型专利技术中的蒸镀治具通过将爪板以预设的角度进行弯折，从而使得连接在爪板一端的镀锅之间的间隙能够增大，进而能够扩大镀锅的面积，而在载盘上以环形阵列的方式设置有多层安装孔，使得镀锅上的安装孔的数量能够有效的增多，从而能够有效的提升镀锅上的载盘数量。的提升镀锅上的载盘数量。的提升镀锅上的载盘数量。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀治具


[0001]本技术涉及加工治具
，特别涉及一种蒸镀治具。

技术介绍

[0002]随着我国半导体行业的飞速发展，我国于2003年正式实施“国家半导体照明工程”，并在“十五”、“十一五”重点攻关课题和“863”计划中，将MOCVD设备国产化列入重点支持方向。
[0003]蒸镀，属于一种物理沉积，是通过某种方式将蒸镀材料升华使其变成气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在真空环境中运动附着在待蒸镀物表面，从而在待蒸镀物表面形成薄膜的过程。
[0004]现有技术当中，蒸镀治具采用了小角度的三爪和大尺寸的滚轮，三爪行星式99片镀锅，三爪的弯曲角度为34
°
，每个镀锅承载33片4寸晶圆的载盘，由于三爪的弯曲角度为34
°
，使得镀锅之间的间距更为紧密，因此使得镀锅上的载盘数量较少。

技术实现思路

[0005]基于此，本技术的目的是提供一种蒸镀治具，其目的在于以至少解决现有技术中的不足。
[0006]本技术提供以下技术方案，一种蒸镀治具，包括：
[0007]固定盘；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀治具，其特征在于，包括：固定盘；三组爪板，以环形阵列的形式固设于所述固定盘上，所述爪板弯折设置；三组镀锅，三组所述镀锅的中心处通过滚轮连接在所述爪板的端部，通过弯折设置的所述爪板，以使连接在所述爪板端部上相邻的所述镀锅之间的距离得以调节；多层安装孔，以环形阵列的形式设置在所述镀锅上，每一层所述安装孔的数量以所述镀锅的圆心为中心向外递增；载盘，固设于所述安装孔上。2.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，所述爪板与所述固定盘连接的一端上对称设置有第一连接孔，所述爪板与所述镀锅的中心处连接的一端上设置有第二连接孔。3.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，三组所述镀锅的中心处设置有环形导轨，所述滚轮设置在所述环形导轨上。4.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，所述爪板弯折处的两侧设有第三连接孔，在所述爪板的底部连...

【专利技术属性】
技术研发人员：章焱，林赟，朱帅，董国庆，文国昇，金丛龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：