一种坩埚结构制造技术

实用新型专利技术提供了一种坩埚结构，包括从外向内依次套设的炉体、发热体、坩埚体和导气管，坩埚体的外壁为石墨套筒，坩埚体中心设置导气管，坩埚体加热过程中产生的杂质通过导气管排出；杂质通过坩埚盖与中间导气管之间的间隙出来而被带走，使得坩埚体中心受热较低的区域通气，有效降低热量耗散，同时坩埚体外壁的石墨套筒能够充分导热，提高立式炉加热效率，这样可将直径800mm立式炉的效率提高20％，立式炉体积越小，效率提高的比例越大。效率提高的比例越大。效率提高的比例越大。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚结构


[0001]本技术属于坩埚设备
，具体涉及一种坩埚结构。

技术介绍

[0002]坩埚的烧结或结晶会析出一定量的杂质，杂质通过坩埚盖与坩埚体之间的间隙出来被惰性气体带走，为不影响发热体，通常在坩埚与发热体之间有一个石墨套筒，防止气体外漏，如图2所示，其中套筒与坩埚本体之间具有通气线路，坩埚本体内的杂质气体通过该通气线路排出，但带来的问题是坩埚的有效空间小，立式炉的烧结效率低，如何避免坩埚有效空间降低，提高立式炉烧结效率是需要解决的难题。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，根据一些实施例，本技术采用如下技术方案：一种坩埚结构，包括从外向内依次套设的炉体、发热体、坩埚体和导气管，坩埚体的外壁为石墨套筒，坩埚体中心设置导气管，坩埚体加热过程中产生的杂质通过导气管排出。
[0004]进一步的，所述导气管为石墨管。
[0005]进一步的，所述坩埚体中心设有上下贯通的通孔，通孔内安装导气管。
[0006]进一步的，所述炉体的顶部设有炉盖，炉盖内设有炉盖保温层。
[0007]进一步的，所述炉盖的中心设有进气口，进气口内通入惰性气体，进气口与坩埚盖中心的通孔连通。
[0008]进一步的，坩埚盖与导气管具有设定间隙。
[0009]进一步的，所述炉体为顶部开口的筒状结构，开口处安装炉盖。
[0010]进一步的，所述炉体的底部中心设有出气口，出气口与坩埚底部的通孔连通。
[0011]进一步的，所述发热体与石墨套筒之间具有导热层。
>[0012]进一步的，所述炉体内设有保温层。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0014]本技术提出了一种坩埚结构，将石墨套筒作为坩埚体的外壁，石墨套筒作用是防止析出气体到发热体上，以防止腐蚀或是漏电，将石墨套筒变成了套筒的外壁，不会造成析出气体到发热体上，坩埚体中心设置导气管，使得坩埚体的中间设置通气线路，杂质通过坩埚盖与中间导气管之间的间隙出来而被带走，使得坩埚体中心受热较低的区域通气，有效降低热量耗散，同时坩埚体外壁的石墨套筒能够充分导热，提高立式炉加热效率，这样可将直径800mm立式炉的效率提高20％，立式炉体积越小，效率提高的比例越大。
[0015]本技术附加方面的优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
[0016]为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0017]构成本技术的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。
[0018]图1为实施例一的新型坩埚的结构示意图；
[0019]图2为实施例一的坩埚体的主视图；
[0020]图3为实施例一的坩埚体的俯视图；
[0021]图4为实施例一的坩埚盖的主视图；
[0022]图5为现有的坩埚的结构示意图；
[0023]其中：1、炉盖保温层；2、坩埚盖；3、坩埚体；4、发热体；5、导气管；6、进气口；7、出气口；8、炉体；101、炉顶保温层；102、盖体；103、坩埚本体；104、发热元气件；105、套筒；106、炉体保温层；107、进气孔；108、出气孔。
具体实施方式
[0024]下面结合附图与实施例对本技术作进一步说明。
[0025]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本技术提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本技术所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0026]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0027]实施例一：
[0028]如图1所示，本实施例提供了一种坩埚结构，包括从外向内依次套设的炉体8、保温层、发热体4、石墨套筒、坩埚体3和导气管5，石墨套筒作为坩埚体3的外壁，石墨套筒作用是防止析出气体到发热体4上，以防止腐蚀或是漏电，将石墨套筒变成了坩埚体3的外壁，不会造成析出气体到发热体4上，坩埚体3中心设置导气管5，坩埚体3加热过程中产生的杂质通过导气管5排出。
[0029]作为一种实施方式，导气管5为石墨管，导气管5采用石墨材料构成，坩埚体3中心设有上下贯通的通孔，通孔内安装导气管5，导气管5用于带走石墨坩埚体3析出的杂质气体。
[0030]作为一种实施方式，坩埚体3的顶部安装有坩埚盖2，坩埚盖2中心设有通孔，坩埚盖2与导气管5具有设定间隙，使得杂质气体可通过间隙处从坩埚体3内排入到导气管5中。
[0031]作为一种实施方式，发热体4与石墨套筒之间具有导热层，导热层可为空气层，以避免发热体4直接与石墨套筒接触损伤石墨套筒外壁。
[0032]作为一种实施方式，发热体4采用自发热石墨管，石墨管的两端连接电滑环，并通过受电电极棒通电加热。
[0033]作为一种实施方式，坩埚的顶部设有炉盖，炉盖内设有炉盖保温层1，所述保温层采用熟粉煤灰陶粒保温层。
[0034]作为一种实施方式，炉盖的中心设有进气口6，进气口6内通入惰性气体，进气口6与坩埚盖2中心的通孔连通，进而将惰性气体输送至导气孔内。
[0035]作为一种实施方式，炉体8的底部中心设有出气口7，出气口7与坩埚底部的通孔连通，进而将导气孔内的惰性气体排出。
[0036]作为一种实施方式，炉体8为顶部开口的筒状结构，开口处安装炉盖。
[0037]工作时，发热体4通过受电电极棒通电加热，通过导热层将热量传递至坩埚体3外壁，由于石墨套筒作为坩埚体3外壁，可以直接对坩埚内的烧结材料进行加热，坩埚体3加热过程中产生的杂质通过中间设置的导气管5排出；这种方式将坩埚体3的外壁作为套筒，而坩埚体3的中间通气，杂质通过坩埚盖2与中间通气导管之间的间隙出来而被带走，使得坩埚体3中心受热较低的区域通气，有效降低热量耗散，同时坩埚体3外壁的石墨套筒能够充分导热，提高立式炉加热效率，可将直径800mm炉子的效率提高20％，炉子越小，提高的比例越大。
[0038]上述虽然结合附图对本技术的具体实施方式进行了描述，但并非对本技术保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本技术的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本技术的保护范围以内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚结构，其特征在于，包括从外向内依次套设的炉体、发热体、坩埚体和导气管，坩埚体的外壁为石墨套筒，坩埚体中心设置导气管，坩埚体加热过程中产生的杂质通过导气管排出。2.如权利要求1所述的坩埚结构，其特征在于，所述导气管为石墨管。3.如权利要求1所述的坩埚结构，其特征在于，所述坩埚体中心设有上下贯通的通孔，通孔内安装导气管。4.如权利要求1所述的坩埚结构，其特征在于，所述炉体的顶部设有炉盖，炉盖内设有炉盖保温层。5.如权利要求4所述的坩埚结构，其特征在于，所述炉盖的中心设有进气口，进气口...

【专利技术属性】
技术研发人员：张铸锋，翟世博，
申请(专利权)人：中硅山东硅铝新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：