一种晶圆键合设备制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆键合技术领域，且公开了一种晶圆键合设备，包括键合室，键合室的内表面顶部固定设有气缸，气缸的活塞杆末端固定设有吸盘，键合室的内表面底部固定设有支撑架，支撑架的两侧均包裹设置有弧形板，弧形板的顶部固定设有定位块，弧形板与键合室的内表面之间固定设有伸缩杆，两个定位块的内部均开设有通孔，通孔和键合室的内表面顶部之间设有抽气机构，键合室的内表面底部两端均转动设有竖杆，竖杆与定位块之间设有传动抽吸机构。本实用新型专利技术能够对键合连接处的空气进行快速的抽出，尽量避免晶圆键合时键合处存在气泡。尽量避免晶圆键合时键合处存在气泡。尽量避免晶圆键合时键合处存在气泡。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆键合设备


[0001]本技术涉及晶圆键合
，尤其涉及一种晶圆键合设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，而晶圆的键合则是将两片晶圆通过加压抽真空等方式进行贴合连接并成型。
[0003]在实现本申请的过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题，目前的晶圆键合过程中，晶圆接触过程中存在一定间隙，不能对间隙内部存在的气体进行充分抽吸，使得抽真空压合后容易在连接位置产生气泡，降低键合质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中晶圆连接过程中不能对连接间隙中存在的气体进行充分的抽吸的问题，而提出的一种晶圆键合设备。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种晶圆键合设备，包括键合室，所述键合室的内表面顶部固定设有气缸，所述气缸的活塞杆末端固定设有吸盘，所述键合室的内表面底部固定设有支撑架，所述支撑架的两侧均包裹设置有弧形板，所述弧形板的顶部固定设有定位块，所述弧形板与键合室的内表面之间固定设有伸缩杆，两个所述定位块的内部均开设有通孔，所述通孔和键合室的内表面顶部之间设有抽气机构，所述键合室的内表面底部两端均转动设有竖杆，所述竖杆与定位块之间设有传动抽吸机构。
[0007]优选的，所述伸缩杆的套杆端套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与所述伸缩杆的两端套管端相靠近一侧固定连接。
[0008]优选的，所述抽气机构包括气筒，所述气筒与键合室的内表面顶部固定连接，且内表面接触连接有活塞，所述活塞的底部固定设有拉杆，所述通孔的内表面固定连接有气嘴，所述气筒和气嘴之间连通设有吸气管，所述气筒的顶部连通设有出气管，所述出气管的上端延伸至外部。
[0009]优选的，所述传动抽吸机构包括齿条和齿轮，所述齿条和定位块的侧壁固定连接，并与齿轮啮合设置，所述齿轮固定套设于所述竖杆的外侧，所述竖杆的顶部固定设有往复丝杆，所述往复丝杆的杆壁螺纹套设有滑板，所述滑板与拉杆固定连接。
[0010]优选的，所述吸气管和出气管的外侧壁均固定套设有气体单向阀。
[0011]优选的，两个所述定位块相靠近一侧上端均呈斜面设置。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种晶圆键合设备，具备以下有益效果：
[0013]1、该晶圆键合设备，通过设有的气缸、吸盘、定位块和支撑架，能够完成两个晶圆之间的快速连接键合。
[0014]2、该晶圆键合设备，通过设有的定位块、伸缩杆、弹簧、抽吸机构和传动抽吸机构以及气体单向阀，能够在两个晶圆靠近过程中，通过两个定位块之间的分离，配合活塞筒和
活塞以及连杆之间的拉动，能够对两个晶圆之间的空气进行抽吸，尽量避免晶圆键合时内部存在气泡。
[0015]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本技术操作方便，能够在两个晶圆连接过程中，对连接处的空气进行快速的抽出，尽量避免晶圆键合时键合处存在气泡，提高了晶圆键合的质量。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种晶圆键合设备的结构示意图；
[0017]图2为图1中局部A部分的结构放大图。
[0018]图中：1键合室、2气缸、3吸盘、4支撑架、5弧形板、6定位块、7伸缩杆、8竖杆、9弹簧、10气筒、11活塞、12拉杆、13气嘴、14吸气管、15出气管、16齿条、17齿轮、18往复丝杆、19滑板、20气体单向阀。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0021]参照图1
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2，一种晶圆键合设备，包括键合室1，键合室1的内表面顶部固定设有气缸2，气缸2的活塞杆末端固定设有吸盘3，键合室1的内表面底部固定设有支撑架4，支撑架4的两侧均包裹设置有弧形板5，弧形板5的顶部固定设有定位块6，弧形板5与键合室 1的内表面之间固定设有伸缩杆7，两个定位块6的内部均开设有通孔，通孔和键合室1的内表面顶部之间设有抽气机构，键合室1的内表面底部两端均转动设有竖杆8，竖杆8与定位块6之间设有传动抽吸机构。
[0022]伸缩杆7的套杆端套设有弹簧9，弹簧9的两端分别与伸缩杆7 的两端套管端相靠近一侧固定连接，通过弹簧9的设置，能够在吸盘 3远离定位块6时使得两个定位块6回弹至初始位置并相互靠近。
[0023]抽气机构包括气筒10，气筒10与键合室1的内表面顶部固定连接，且内表面接触连接有活塞11，活塞11的底部固定设有拉杆12，通孔的内表面固定连接有气嘴13，气筒10和气嘴13之间连通设有吸气管14，气筒10的顶部连通设有出气管15，出气管15的上端延伸至外部，通过气嘴13可对气流进行抽吸，而通过活塞11和气筒 10的配合，能够使得气筒10完成气流的吸入和送出。
[0024]传动抽吸机构包括齿条16和齿轮17，齿条16和定位块6的侧壁固定连接，并与齿轮17啮合设置，齿轮17固定套设于竖杆8的外侧，竖杆8的顶部固定设有往复丝杆18，往复丝杆18的杆壁螺纹套设有滑板19，滑板19与拉杆12固定连接，通过活塞11和拉杆12 的设置，对滑板19的纵向滑动进行限位。
[0025]吸气管14和出气管15的外侧壁均固定套设有气体单向阀20，通过气体单向阀20的设置，能够保证吸气管14和出气管15内部气流的单向流动。
[0026]两个定位块6相靠近一侧上端均呈斜面设置，采用斜面设置，则能够在吸盘3下移时对两个定位块6进行横向推动并相互远离。
[0027]本技术中，在晶圆键合前，通过吸盘3对一个晶圆进行吸附，并将另一个晶圆放置于支撑架4上，并通过定位块6进行定位，随后气缸2推动吸盘3，使得两个晶圆靠近，当吸盘3与定位块6内壁斜面接触时，使得两个定位块6相互远离，并对伸缩杆7进行压缩，当定位块6带动齿条16横向移动时，通过齿条16和齿轮17的啮合，使得竖杆8带动往复丝杆18转动，从而往复丝杆18杆壁滑板19带动拉杆12和活塞11在气筒10内进行往复抽吸，而气筒10进行抽吸工作时，通过吸气管14和气体单向阀20以及气嘴13将晶圆靠近时中间的气体抽吸至气筒10内，并通过出气管15和气体单向阀20将气体输送至外部，从而尽量避免了晶圆键合时内部存在气泡，提高了晶圆键合的质量。
[0028]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆键合设备，包括键合室(1)，其特征在于，所述键合室(1)的内表面顶部固定设有气缸(2)，所述气缸(2)的活塞杆末端固定设有吸盘(3)，所述键合室(1)的内表面底部固定设有支撑架(4)，所述支撑架(4)的两侧均包裹设置有弧形板(5)，所述弧形板(5)的顶部固定设有定位块(6)，所述弧形板(5)与键合室(1)的内表面之间固定设有伸缩杆(7)，两个所述定位块(6)的内部均开设有通孔，所述通孔和键合室(1)的内表面顶部之间设有抽气机构，所述键合室(1)的内表面底部两端均转动设有竖杆(8)，所述竖杆(8)与定位块(6)之间设有传动抽吸机构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆键合设备，其特征在于，所述伸缩杆(7)的套杆端套设有弹簧(9)，所述弹簧(9)的两端分别与所述伸缩杆(7)的两端套管端相靠近一侧固定连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆键合设备，其特征在于，所述抽气机构包括气筒(10)，所述气筒(10)与键合室(1)的内表面顶部固定连接，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡剑，
申请(专利权)人：浙江蓝特光学股份有限公司，
类型：新型
国别省市：