一种真空镀膜机加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机加热装置，包括定位板，定位板的内腔设置有驱动机构，驱动机构右侧的顶部和底部均固定连接有箱体，箱体内腔的顶部通过轴承转动连接有螺纹杆，螺纹杆的底部贯穿箱体且固定连接有转柄，螺纹杆外表面的顶部和底部均螺纹连接有螺纹套，螺纹套的右侧固定连接有限位杆，箱体的右侧固定连接有定位筒，定位筒的内腔活动连接有加热管，加热管顶部和底部的左侧均开设有限位孔。本实用新型专利技术通过设置转柄、螺纹杆、螺纹套、限位杆、限位孔和定位筒，可以方便对加热管进行固定，同时也方便在加热管损坏时对其进行拆卸更换，通过设置以上结构，具备方便对损坏的加热装置进行拆卸更换的优点。进行拆卸更换的优点。进行拆卸更换的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机加热装置


[0001]本技术涉及镀膜机
，具体为一种真空镀膜机加热装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，现有的真空镀膜机加热装置大多为一体式构造，不便于拆卸，当加热装置出现损坏时，工作人员无法对受损的部件进行更换，使用存在一定的缺陷，为此我们提出一种真空镀膜机加热装置，解决以上提出的问题。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种真空镀膜机加热装置，具备方便对损坏的加热装置进行拆卸更换的优点，解决了现有的真空镀膜机加热装置大多为一体式构造，不便于拆卸，当加热装置出现损坏时，工作人员无法对受损的部件进行更换，使用存在一定的缺陷的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜机加热装置，包括定位板，所述定位板的内腔设置有驱动机构，所述驱动机构右侧的顶部和底部均固定连接有箱体，所述箱体内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机加热装置，包括定位板(1)，其特征在于：所述定位板(1)的内腔设置有驱动机构(2)，所述驱动机构(2)右侧的顶部和底部均固定连接有箱体(3)，所述箱体(3)内腔的顶部通过轴承转动连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的底部贯穿箱体(3)且固定连接有转柄(5)，所述螺纹杆(4)外表面的顶部和底部均螺纹连接有螺纹套(6)，所述螺纹套(6)的右侧固定连接有限位杆(7)，所述箱体(3)的右侧固定连接有定位筒(8)，所述定位筒(8)的内腔活动连接有加热管(9)，所述加热管(9)顶部和底部的左侧均开设有限位孔(10)，所述限位杆(7)远离螺纹套(6)的一端与限位孔(10)的内表面插接，所述加热管(9)的内腔设置有加热电阻丝(11)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机加热装置，其特征在于：所述驱动机构(2)包括旋转电机(201)，所述旋转电机(201)与定位板(1)内腔的左侧固定连接，所述旋转电机(201)的输出端固定连接有转轴(202)，所述转轴(202)的右侧贯穿定位板(1)且固定连接有转盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：王相义，芦淑华，刘国喜，王亚博，孙琪，
申请(专利权)人：天朗国铭三河科技有限公司，
类型：新型
国别省市：