一种5维超高真空样品架制造技术

本实用新型专利技术涉及样品架技术领域，且公开了一种5维超高真空样品架，包括安装板，所述安装板的顶部设置有轴体，所述安装板的底部设置有伸缩波纹管，所述伸缩波纹管的底部设置有XYZ位移台，所述XYZ位移台的底部设置有连杆，且连杆的一端固定连接有样品架，所述连杆上设置有防尘机构，所述安装板的一侧固定连接有固定板。通过设置驱动电机能带动主动轮转动，从而通过皮带带动从动轮转动，实现轴体的转动，从而带动样品架进行转动，通过设置直线电机能带动移动板进行直线移动，从而拉伸或收缩伸缩波纹管，从而带动样品架进行直线移动，通过设置XYZ位移台能带动样品架进行XYZ轴向运动，从而实现对样品架的五维调节。实现对样品架的五维调节。实现对样品架的五维调节。

【技术实现步骤摘要】
一种5维超高真空样品架


[0001]本技术涉及样品架
，具体为一种5维超高真空样品架。

技术介绍

[0002]超高真空系统是指在人造的超高真空的环境下，对不同类型的样品进行生长、表征和物性测量的系统。当前，超高真空系统已应用在半导体、物理、化学、材料和生物科学等各个研究领域。样品操纵台是超高真空系统的重要组成部分，通常在MBE生长室和样品分析室中接收样品和调整样品的位置。
[0003]但是一般的超高真空样品架只能进行单一方向或XYZ轴方向的调节，调节范围较小，导致超高真空样品架实用性较低，因此，本申请提供一种5维超高真空样品架。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供了一种5维超高真空样品架，达到解决上述背景中提到的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种5维超高真空样品架，包括安装板，所述安装板的顶部设置有轴体，所述安装板的底部设置有伸缩波纹管，所述伸缩波纹管的底部设置有XYZ位移台，所述XYZ位移台的底部设置有连杆，且连杆的一端固定连接有样品架，所述连杆上设置有防尘机构，所述安装板的一侧固定连接有固定板，所述固定板的底部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的联轴器固定连接有连接杆，所述连接杆的顶部贯穿固定板，且连接杆的顶部固定套设有主动轮，所述轴体的外壁固定套设有从动轮，所述主动轮和从动轮的外壁套设有皮带，所述XYZ位移台的一侧固定安装有直线电机，所述直线电机的输出端固定连接有移动板，且移动板与伸缩波纹管固定连接。
[0006]在本技术实施例中，所述防尘机构包括：底板、插槽、防尘罩、连接板、转杆、插杆、拉块、限位板，所述底板固定套设在连杆上，所述插槽开设在底板的顶部，所述防尘罩设置在底板的底部，所述连接板固定连接在防尘罩的一侧，所述转杆通过轴承与连接板的顶部转动连接，所述插杆贯穿转杆的顶部并与转杆滑动连接，所述拉块固定连接在插杆的顶部，所述限位板固定连接在插杆的底部并与插槽的内壁滑动连接，通过设置防尘机构，是为了在样品架不使用时对样品架进行保护。
[0007]在本技术实施例中，所述轴体上设置有液氮输入口和液氮排出口，通过设置液氮输入口和液氮排出口，是为了便于对样品架进行制冷。
[0008]在本技术实施例中，所述安装板和轴体、轴体和伸缩波纹管、伸缩波纹管和XYZ位移台、XYZ位移台和连杆均通过法兰连接，通过法兰连接，是为了便于组装或拆卸。
[0009]在本技术实施例中，所述轴体的背面连通设置有散热孔，通过设置散热孔，是为了提高轴体的使用寿命。
[0010]在本技术实施例中，所述轴体的顶部固定连接有转动杆，通过设置转动杆，是为了便于调节样品架的初始位置。
[0011]本技术提供了一种5维超高真空样品架。具备以下有益效果：
[0012](1)、本技术通过设置驱动电机能带动主动轮转动，从而通过皮带带动从动轮转动，实现轴体的转动，从而带动样品架进行转动，通过设置直线电机能带动移动板进行直线移动，从而拉伸或收缩伸缩波纹管，从而带动样品架进行直线移动，通过设置XYZ位移台能带动样品架进行XYZ轴向运动，从而实现对样品架的五维调节。
[0013](2)、本技术通过设置防尘罩能在样品架不使用时对样品架进行防尘保护，从而提高样品架的使用寿命，当样品架使用时，拉动拉块，将限位板与插槽分离，再转动转杆使转杆的顶部不在底板的正上方即可取下防尘罩，当需要安装防尘罩使反向上述操作即可。
附图说明
[0014]图1为本技术正视图；
[0015]图2为本技术侧视图；
[0016]图3为本技术俯视图；
[0017]图4为本技术防尘机构剖视图。
[0018]图中：1、安装板；2、轴体；3、伸缩波纹管；4、XYZ位移台；5、样品架；6、防尘机构；601、底板；602、插槽；603、防尘罩；604、连接板；605、转杆；606、插杆；607、拉块；608、限位板；7、固定板；8、驱动电机；9、主动轮；10、从动轮；11、皮带；12、直线电机；13、移动板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0021]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]如图1
‑
4所示，本技术提供技术方案：一种5维超高真空样品架，包括安装板1，安装板1的顶部设置有轴体2，轴体2上设置有液氮输入口和液氮排出口，通过设置液氮输入
口和液氮排出口，是为了便于对样品架5进行制冷，轴体2的背面连通设置有散热孔，通过设置散热孔，是为了提高轴体2的使用寿命，轴体2的顶部固定连接有转动杆，通过设置转动杆，是为了便于调节样品架5的初始位置，安装板1的底部设置有伸缩波纹管3，伸缩波纹管3的底部设置有XYZ位移台4，XYZ位移台4的底部设置有连杆，且连杆的一端固定连接有样品架5，安装板1和轴体2、轴体2和伸缩波纹管3、伸缩波纹管3和XYZ位移台4、XYZ位移台4和连杆均通过法兰连接，通过法兰连接，是为了便于组装或拆卸，连杆上设置有防尘机构6，防尘机构6包括：底板601、插槽602、防尘罩603、连接板604、转杆605、插杆606、拉块607、限位板608，底板601固定套设在连杆上，插槽602开设在底板601的顶部，防尘罩603设置在底板601的底部，连接板604固定连接在防尘罩603的一侧，转杆605通过轴承与连接板604的顶部转动连接，插杆606贯穿转杆605的顶部并与转杆605滑动连接，拉块607固定连接在插杆606的顶部，限位板608固定连接在插杆606的底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种5维超高真空样品架，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)的顶部设置有轴体(2)，所述安装板(1)的底部设置有伸缩波纹管(3)，所述伸缩波纹管(3)的底部设置有XYZ位移台(4)，所述XYZ位移台(4)的底部设置有连杆，且连杆的一端固定连接有样品架(5)，所述连杆上设置有防尘机构(6)，所述安装板(1)的一侧固定连接有固定板(7)，所述固定板(7)的底部固定安装有驱动电机(8)，所述驱动电机(8)的联轴器固定连接有连接杆，所述连接杆的顶部贯穿固定板(7)，且连接杆的顶部固定套设有主动轮(9)，所述轴体(2)的外壁固定套设有从动轮(10)，所述主动轮(9)和从动轮(10)的外壁套设有皮带(11)，所述XYZ位移台(4)的一侧固定安装有直线电机(12)，所述直线电机(12)的输出端固定连接有移动板(13)，且移动板(13)与伸缩波纹管(3)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种5维超高真空样品架，其特征在于：所述防尘机构(6)包括：底板(601)、插槽(602)、防尘罩(603)、连接板(604)、转杆(605)、插杆(606)、拉块(607)、限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤忠喜，刘杰，
申请(专利权)人：探普南京工业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：