【技术实现步骤摘要】
一种模板拼接方法和模板拼接装置
[0001]本申请涉及模板加工
,特别涉及一种模板拼接方法和模板拼接装置。
技术介绍
[0002]软模板上的光栅图案通过纳米压印的方式转移到涂有压印胶的玻璃上去,然后将带有光栅图案的玻璃切成眼镜的轮廓,进行封装后,就变形成了波导镜片。波导镜片作为显示器件,可用在增强现实和混合现实眼镜上。
[0003]目前的方法是将带有一组光栅图案的软模板直接压在与其大小相当的玻璃晶圆上,玻璃晶圆上也就只有一组光栅图案,进而只能形成一片波导镜片,采用这样的方式,利用率低,制作效率慢。为了提高玻璃晶圆利用率,现有也有在同一个玻璃晶圆上压印形成多组光栅图案方式。但是,现有的是采用光刻、刻蚀工艺先在硅母模板上刻蚀形成多组图案,然后将多组图案压印转移至软模板上,最后通过软模版将多组图案转移至玻璃晶圆上,接着切割形成多片波导镜片。然而采用这种光刻、刻蚀工艺形成多组图案的方式,存在加工周期长(需多次刻蚀)、加工成本高、制作工序复杂等问题。因此,上述方式虽说有提高玻璃晶圆的利用率,但是波导镜片的制作效率仍然比较 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种模板拼接方法,其特征在于,包括以下步骤:制备多块拼接式软模板单元,所述拼接式软模板单元的第一面具有图形结构;获取至少包括两个模穴的硬模板;将多块所述拼接式软模板单元分别粘接于各所述模穴内,且多块所述拼接式软模板单元的图形结构面朝远离所述模穴的底面一侧设置,获得拼接式硬模板;采用压印方式将所述拼接式硬模板上的图形结构转移至软性材料上,获得拼接式软模板。2.根据权利要求1所述的模板拼接方法,其特征在于,所述将多块所述拼接式软模板单元分别粘接于各所述模穴内具体为:于各所述模穴的底面喷涂粘接剂;将多块所述拼接式软模板单元以图形结构面朝上的方式置于喷涂有所述粘接剂的各所述模穴内。3.根据权利要求2所述的模板拼接方法,其特征在于,所述于各所述模穴底面喷涂粘接剂之前,还包括:获取各所述模穴的高度信息;计算各所述模穴与各对应所述拼接式软模板单元的高度差值,获得所述粘接剂的喷涂厚度信息。4.根据权利要求1所述的模板拼接方法,其特征在于,各所述拼接式软模板单元的形状大小完全相同、部分相同或完全不相同。5.根据权利要求4所述的模板拼接方法,其特征在于,所述将多块所述拼接式软模板单元分别粘接于各所述模穴内之前:分别获...
【专利技术属性】
技术研发人员:史瑞城,李晓军,
申请(专利权)人:广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院,
类型:发明
国别省市:
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