一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具及其成型方法技术

本发明专利技术公开了一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具，包括：底座组件，用于支撑和转运的载体；内模组件，设置在底座组件上，用于支撑和形成钟形汽室内腔结构的组件；其中，内模组件内部设置有压力腔，压力腔上设置有的介质进口和介质出口，在介质进口和介质出口上分别设置有介质单向阀；外模组件，设置在底座组件上并且与内模组件密封连接，其用于支撑和形成钟形汽室外部结构；外模组件和内模组件密封连接形成等压受力钟形汽室成型腔。还公开了利用该模具成型的方法。该成型模具，在内模组件和外模组件之间形成一等压受力钟形汽室成型腔，并通过冷静压加压容器进行冷等静压成型，实现了大型钟形汽室的低成本制备，变形误差小，气孔率和气密性好。气密性好。气密性好。

【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具及其成型方法


[0001]本专利技术涉及陶瓷产品成型
，具体地涉及一种高纯氧化铝陶瓷钟形汽室冷静压成型模具及其成型方法。

技术介绍

[0002]对于半导体行业来说，半导体设备的优劣直接决定了产品的好坏。在半导体制备过程中会涉及到刻蚀与沉积工序，分别对应有刻蚀和沉积的设备。由于刻蚀和沉积过程中都会有高腐蚀性气体参与，因此对于设备内腔、与气体直接接触的部位需要具有抗腐蚀性。尤其是设备的顶部是气体在设备中最终汇集处，该处抗腐蚀性尤为重要。该处即称为钟形汽室（简称为DOME）。大尺寸钟形汽室产品的特点主要有两点：产品尺寸大和产品存在一个很大的圆顶（钟型）。
[0003]目前国内普遍的钟形汽室DOME做法是成型成桶状材料，对桶状材料进行机械加工，陶瓷材料作为特种陶瓷，它的维氏硬度达到18GPa，刀具只能通过磨削的方式去加工，想要达到使用的尺寸形状，制备的难度非常大，需要使用高精密设备及治具，且加工时间很长，需要几百个小时以上。
[0004]现有的技术很难实现大尺寸钟形汽室的低成本制备，而且在制造过程中易本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具，其特征在于包括：底座组件（2），用于支撑和转运的载体；内模组件（3），设置在底座组件（2）上，用于支撑和形成钟形汽室内腔结构的组件；其中，所述的内模组件（3）内部设置有压力腔（34），所述的压力腔（34）上设置有介质进口（35）和介质出口（36），在介质进口（35）和介质出口（36）上分别设置有介质单向阀（37）；外模组件（4），设置在底座组件（2）上并且与内模组件（3）密封连接，其用于支撑和形成钟形汽室外部结构；所述的外模组件（4）和内模组件（3）密封连接形成等压受力钟形汽室成型腔（5）。2.根据权利要求1所述的一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具，其特征在于：所述的内模组件（3）包括金属芯棒（31）和罩设在金属芯棒（31）外部的内模主体（32），所述的内模主体（32）为橡胶材料，所述的内模主体（32）的外形与待成型钟形汽室的汽室腔体配合设置；所述的金属芯棒（31）的外形与内模主体（32）的内腔配合设置，所述的金属芯棒（31）的内部设置有空腔结构（33）。3.根据权利要求2所述的一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具，其特征在于：进口处的介质单向阀由外向内单向开通，出口处的介质单向阀由压力腔向外单向开通；介质单向阀（37）开启的压力大于填充到压力腔内部的介质压力且小于冷静压容器内部的成型压力。4.根据权利要求1所述的一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具，其特征在于：所述的外模组件（4）包括模具下盖（41）、外模主体（42）和模具上盖（43），所述的外模主体（42）上设置有填料口（47），所述的外模主体（42）的下部与模具下盖（41）密封连接，所述的模具上盖（42）密封盖设在外模主体的填料口（47）上。5.根据权利要求4所述的一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具，其特征在于：所述的外模主体（42）为橡胶材料，所述的外模主体（42）的内腔形状与待成型钟形汽室的弧形室顶外壁形状配合设置，所述的外模主体（42）的下部设置有上模扣合结构（45）。6.根据权利要求4所述的一种陶瓷钟形汽室冷静压成型模具，其特征在于：所述的模具下盖（41）为一环状盖体，所述的模具下盖（41）的中心设置有内模组件密封套接孔（48），所述的模具下盖（41）的上环面与待成型钟形汽室的环状汽室的下环面相一致；所述的模具下盖（41）的外环壁上一体向上设置有下模扣合结构（44），所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王轶军，马玉琦，
申请(专利权)人：杭州大和江东新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：