一种旋摆压紧结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种旋摆压紧结构，包括用于放置物品的承载台和压紧件；所述承载台的下方设置有连杆机构，所述压紧件与所述连杆机构固定连接，并在所述连杆机构的带动下摆动对所述物品压紧或松开。本实用新型专利技术通过采用连杆机构，减少外部控制系统的使用，且通过设置连杆机构能够有效简化对标准晶圆料盒底端的压边进行压紧的动作过程，提高效率，同时结构简单。同时结构简单。同时结构简单。

【技术实现步骤摘要】
一种旋摆压紧结构


[0001]本技术属于晶圆外观检测领域，尤其涉及一种旋摆压紧结构。

技术介绍

[0002]晶圆是制造半导体晶体管或集成电路的衬底，也叫基片，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。在半导体的制造过程中，晶圆需要经过各种不同流程的处理，所以会在多个设备之间进行运送，而为了方便运送及避免外力损伤晶圆，行业内普遍使用晶圆盒对复数晶圆的运送进行保护，以免晶圆受损无法进行后续的处理。
[0003]而在晶圆检查机对晶圆的外观进行检查时，都需要通过送料模组将装有复数晶圆的晶圆盒输送到开盖模组上，以便后续处理。
[0004]然而，传统晶圆检查机的送料模组的大多对晶圆盒的装载进行压紧定位，往往采用两组上下与前后的气缸组合来完成对标准晶圆料盒（Foup）的下沿进行压紧，气缸组合的压紧动作顺序必须严格遵守现上下运动，再左右运动，最后再上下运行，完成这一连贯的过程必须通过额外的软件程序来进行防呆。一旦顺序出错则，不可避免的影响开盖模组和送料模组之间配合的准确性，妨碍晶圆检查机的正常运转，降低晶圆的检查效率，且设备制作成本高。
[0005]因此，需要寻找一种无需利用额外的软件程序控制防呆动作顺序，简化对标准晶圆料盒进行压紧动作，同时实现设备运行稳定可靠、结构简洁的设备。

技术实现思路

[0006]鉴于以上所述现有技术的全部或部分不足，本技术的目的在于：提供一种旋摆压紧结构，通过采用连杆机构，减少外部控制系统的使用，同时，实现动作防呆。
[0007]为实现上述专利技术目的，本技术提供以下技术方案：提供一种旋摆压紧结构，包括用于放置物品的承载台和压紧件；所述承载台的下方设置有连杆机构，所述压紧件与所述连杆机构固定连接，并在所述连杆机构的带动下摆动对所述物品压紧或松开。该技术方案的有益效果在于，通过设置压紧件用于对放置于承载台上的物品进行压紧或松开，并将压紧件与承载台下方的连杆机构连接，连杆机构带动压紧件摆动完成上述压紧或松开动作，减少外部防呆系统的使用，而且简化了原有的按序进行的多个步骤的压紧动作，提高效率。
[0008]所述承载台内嵌有中空的长槽，所述长槽位于所述连杆机构的上方，所述压紧件在所述连杆机构的带动下在所述长槽内旋摆。通过在承载台上内嵌一中空的长槽，为压紧件预留摆动空间，实现本公开的目的。
[0009]所述连杆机构包括运动块、安装座和连杆；所述压紧件与所述运动块固定连接，所述运动块通过至少两个连杆铰接于所述安装座上，所述连杆机构在动力件的驱动下旋摆运动。通过设置所述运动块和所述安装座，且所述运动块通过至少两个连杆铰接于所述安装座，形成连杆机构，在动力件的驱动下进行旋摆，带动倒“L”型滑杆旋摆完成对定位件的压
紧或松开。
[0010]所述压紧件为倒“L”型滑杆，所述倒“L”型滑杆固定连接在所述运动块上。利用倒“L”型滑杆作为压紧件，并将其固定连接在所述运动块上，使倒“L”型滑杆与运动块一起运动。
[0011]所述动力件为气缸，所述气缸的活塞杆与所述运动块铰接，所述气缸的缸体通过连接块与所述安装座铰接；所述气缸的活塞杆固定连接有连接件，所述连接件通过销轴与所述运动块铰接。通过采用气缸为动力件，减低设备成本，且结构简单；将所述气缸的活塞杆通过所述连接件与所述运动块铰接，所述气缸的缸体通过连接块与所述安装座铰接，实现气缸对连杆机构的驱动。
[0012]所述气缸收缩驱动所述运动块向前运动，所述运动块带动所述连杆逆时针旋转，同时带动所述倒“L”型滑杆在长槽中逆时针摆动完成对物品的压紧；所述气缸伸出驱动所述运动块向后运动，所述运动块带动所述连杆顺时针旋转，同时带动所述倒“L”型滑杆在长槽中顺时针摆动实现对物品的松开。所述气缸收缩时，所述气缸的活塞杆带动所述运动块向前运动，带动两个连杆逆时针旋转，同时所述运动块带动与其固定连接的倒“L”型滑杆在所述长槽内逆时针旋转完成对物品的压紧；当所述气缸的活塞杆伸出后，所述气缸的活塞杆带动所述运动块向后运动，带动两个连杆顺时针旋转，同时所述运动块带动与其固定连接的倒“L”型滑杆在所述长槽内顺时针旋转离开物品底边。
[0013]所述旋摆压紧结构还包括固定板，所述固定板设置于固定座的外侧，所述固定板与所述连杆机构可拆卸连接。通过在连杆机构的两个外侧设置固定板，并将固定板设置于安装座的外侧，且所述固定板与所述安装做之间通过销轴连接，在限制连杆机构在侧向的极限位置的同时也能保证连杆机构的灵活性，提高结构运行的稳定性。
[0014]所述物品为晶圆盒，所述晶圆盒底部形成有压边，倒“L”型滑杆在所述连杆机构的带动下对所述压边压紧或松开。晶圆盒的下方形成有压边，通过倒“L”型滑杆对所述压边的压紧或松开，实现对晶圆盒的压紧或松开。
[0015]与现有技术相比，本技术至少具有以下有益效果：通过设置倒“L”型滑杆，并将倒“L”型滑杆与连杆机构连接，利用气缸作为动力件，气缸带动连杆机构运动带动倒“L”型滑在内嵌于承载台的中空的长槽内摆动，完成对物品的压紧或松开，简化压紧动作；且无需依赖外部控制系统进行动作防呆，减少元件使用，降低设备成本。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术具体实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术实施例的旋摆压紧结构的整体结构示意图。
[0018]图2为图1中的连杆机构的主视图。
[0019]图3为图1中的连杆机构的立体结构示意图。
[0020]图4为图1中承载台的俯视图。
[0021]附图标记：1
‑
连杆机构；10
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气缸；11
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安装座；12
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运动块；13
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连杆；14
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连接头；15
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倒“L”型滑杆；151
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外观挡板；16
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连接块；17
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固定板；20
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承载台；201
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长槽；202
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定位件；3
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晶圆盒；301
‑
压边。
具体实施方式
[0022]下面将对本技术具体实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
实施例
[0023]如图1所示，在本实施例中提供了一种旋摆压紧结构，包括承载台20和压紧件，承载台20上还设置有定位件202，定位件202用于与待放置物品连接对待放置物品进行定位。在本实施例中，待放置物品为晶圆盒3，在晶圆盒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋摆压紧结构，其特征在于，包括用于放置物品的承载台(20)和压紧件；所述承载台(20)的下方设置有连杆机构(1)，所述压紧件与所述连杆机构(1)固定连接，并在所述连杆机构(1)的带动下摆动对所述物品进行压紧或松开。2.根据权利要求1所述的旋摆压紧结构，其特征在于，所述承载台(20)内嵌有中空的长槽(201)，所述长槽(201)位于所述连杆机构(1)的上方，所述压紧件在所述连杆机构(1)的带动下在所述长槽(201)内旋摆。3.根据权利要求2所述的旋摆压紧结构，其特征在于，所述连杆机构(1)包括运动块(12)、安装座(11)和连杆(13)；所述压紧件与所述运动块(12)固定连接，所述运动块(12)通过至少两个所述连杆(13)铰接于所述安装座(11)上，所述连杆机构(1)在动力件的驱动下旋摆运动。4.根据权利要求3所述的旋摆压紧结构，其特征在于，所述压紧件为倒“L”型滑杆(15)，所述倒“L”型滑杆(15)固定连接在所述运动块(12)上。5.根据权利要求4所述的旋摆压紧结构，其特征在于，所述动力件为气缸(10)，所述气缸(10)的活塞杆与所述运动块(12)铰接，所述气缸(10)的缸体通过连接块(16)与所述安装座(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖治祥，王永乾，朱涛，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：新型
国别省市：