小尺寸晶圆载具结构制造技术

本实用新型专利技术公开了小尺寸晶圆载具结构，属于晶圆加工技术领域，包括载具主体，所述载具主体的内壁两侧对称开设有供晶圆插入的边槽，所述载具主体的上表面呈L形间隔分布有三组配合框，所述载具主体的底端面对应三组配合框处固定安装有三组副接板，所述载具主体的上表面与底端面还设有彼此适配的连接杆以及连接框；所述连接杆沿连接块的上表面伸入，所述连接框的内部水平设有弹性板，所述弹性板的底端面固定连接有弹簧，所述弹性板的居中处贯穿有穿杆；所述穿杆竖直设置，且一侧外壁上竖向分布开设有第二齿槽。该小尺寸晶圆载具结构，使得晶圆在需要整体加工或者堆码放置时具有相互固定的功能，有效提升整体加工的便捷性。有效提升整体加工的便捷性。有效提升整体加工的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
小尺寸晶圆载具结构


[0001]本技术属于晶圆加工
，尤其涉及小尺寸晶圆载具结构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在生产过程中会使用到载具，而载具根据加工需求分为大尺寸、小尺寸，大尺寸的容量更大，对晶圆的加工整体性好，而小尺寸的载具结构装载晶圆数量有限，所以对晶圆的加工整体性较差，尤其是在晶圆冲洗时，需要逐个拿取小尺寸载具，操作步骤繁琐，不能满足加工需求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中，尺寸的载具结构装载晶圆数量有限，所以对晶圆的加工整体性较差，尤其是在晶圆冲洗时，需要逐个拿取小尺寸载具，操作步骤繁琐，不能满足加工需求的问题，而提出的小尺寸晶圆载具结构。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0005]小尺寸晶圆载具结构，包括载具主体，所述载具主体的内壁两侧对称开设有供晶圆插入的边槽，所述载具主体的上表面呈L形间隔分布有三组配合框，所述载具主体的底端面对应三组配合框处固定安装有三组副接板，所述载具主体的上表面与底端面还设有彼此适配的连接杆以及连接框；
[0006]所述连接杆沿连接块的上表面伸入，所述连接框的内部水平设有弹性板，所述弹性板的底端面固定连接有弹簧，所述弹性板的居中处贯穿有穿杆；
[0007]所述穿杆竖直设置，且一侧外壁上竖向分布开设有第二齿槽，所述连接框的内部转动安装有与第二齿槽啮合的齿盘，所述连接杆伸入连接框内部的一端侧壁上竖向分布开设有多组第一齿槽，所述连接杆位于齿盘相对穿杆的一面，且第一齿槽也与齿盘啮合。
[0008]得益于连接杆与连接框的设置，可将多组装载有晶圆的小尺寸载具主体串联固定在一起，使得晶圆在需要整体加工或者堆码放置时具有相互固定的功能。
[0009]优选的，所述弹性板的居中部开设有限位穿孔，所述穿杆与限位穿孔适配滑动连接。
[0010]得益于限位穿孔的设置使得穿杆在运动的过程中始终保持竖直状态，不会发生偏移。
[0011]优选的，所述弹簧共对称分布有两组，且均竖直设置，远离所述弹性板的一端固定连接框的底端内壁。
[0012]得益于弹簧的设置使得弹性板具有弹性复位的效果，从而对连接杆进行弹出，方便载具主体的取出。
[0013]优选的，所述穿杆设有第二齿槽一面的侧壁下端设有限位块，所述限位块与弹性
板的上表面贴合。
[0014]得益于限位块的设置将穿杆保持限位，避免穿杆掉落。
[0015]优选的，所述穿杆上与第二齿槽相连的面上还安装有弹性块，所述弹性块朝向穿杆的内部弹性嵌入。所述连接框的外壁上开设有插口，所述弹性块与插口适配插接。
[0016]得益于弹性块的设置使得穿杆在上升后可以弹性固定连接框，从而将载具主体限位规定。
[0017]优选的，所述连接杆与副接板的顶端面均固定连接有固定块，所述固定块与载具主体的外壁固定连接。
[0018]综上所述，本技术的技术效果和优点：该小尺寸晶圆载具结构，通过连接杆与连接框的设置，可将多组装载有晶圆的小尺寸载具主体串联固定在一起，使得晶圆在需要整体加工或者堆码放置时具有相互固定的功能，有效提升整体加工的便捷性，方便对晶圆进行冲洗，从而避免载具主体逐个拿取加工，实用性强，通过连接杆与穿杆、齿盘的配合使得载具主体在取下时，还具有弹出的效果，优化载具主体的拿取方式，操作舒适度更高。
附图说明
[0019]图1为本技术结构示意图；
[0020]图2为连接框与连接杆分离状态结构示意图；
[0021]图3为连接框与连接杆安装主视图；
[0022]图4为穿杆结构示意图。
[0023]图中：1、载具主体；2、连接杆；3、副接板；4、连接框；5、配合框；6、插口；7、固定块；8、第一齿槽；9、弹簧；10、限位穿孔；11、穿杆；12、弹性板；14、齿盘；15、弹性块；16、第二齿槽；17、限位块；18、边槽。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0025]参照图1，小尺寸晶圆载具结构，包括载具主体1，所述载具主体1的内壁两侧对称开设有供晶圆插入的边槽18，所述载具主体1的上表面呈L形间隔分布有三组配合框5，所述载具主体1的底端面对应三组配合框5处固定安装有三组副接板3，所述载具主体1的上表面与底端面还设有彼此适配的连接杆2以及连接框4。所述连接杆2与副接板3的顶端面均固定连接有固定块7，所述固定块7与载具主体1的外壁固定连接。
[0026]参照图2、图3，所述连接杆2沿连接块的上表面伸入，所述连接框4的内部水平设有弹性板12，所述弹性板12的底端面固定连接有弹簧9，所述弹性板12的居中处贯穿有穿杆11；所述穿杆11竖直设置，且一侧外壁上竖向分布开设有第二齿槽16，所述连接框4的内部转动安装有与第二齿槽16啮合的齿盘14，所述连接杆2伸入连接框4内部的一端侧壁上竖向分布开设有多组第一齿槽8，所述连接杆2位于齿盘14相对穿杆11的一面，且第一齿槽8也与齿盘14啮合。第一齿槽8与齿盘14啮合带动齿盘14转动，齿盘14转动时，与第二齿槽16啮合带动穿杆11不断上升。
[0027]参照图3，所述弹性板12的居中部开设有限位穿孔10，所述穿杆11与限位穿孔10适配滑动连接。所述弹簧9共对称分布有两组，且均竖直设置，远离所述弹性板12的一端固定连接框4的底端内壁。
[0028]参照图3、图4，所述穿杆11设有第二齿槽16一面的侧壁下端设有限位块17，所述限位块17与弹性板12的上表面贴合。所述穿杆11上与第二齿槽16相连的面上还安装有弹性块15，所述弹性块15朝向穿杆11的内部弹性嵌入。所述连接框4的外壁上开设有插口6，所述弹性块15与插口6适配插接。由限位块17的设置使得穿杆11保持悬空，不会沿着限位穿孔10掉落而离开齿盘14。
[0029]工作原理：在使用时，首先将晶圆分别对应边槽18插入载具主体1内部，当载具内部的晶圆安装完成后可继续对其它载具主体1进行晶圆装载，全部装载满晶圆的载具主体1在对晶圆进行整体加工如冲洗或者需要堆码时，将载具主体1竖向排列，最底部的载具主体1通过三组副接板3以及一组连接杆2进行支撑，位于上方的载具主体1底部的三组副板分别对应下方载具主体1的三组配合板进行插接固定，一组连接杆2对应一组连接框4插接，当连接杆2插入连接框4内部时率先与弹性板12接触，并且挤压弹性板12使其不断下降，此时弹簧9受力收缩，当连接杆2不断下降的同时，第一齿槽8与齿盘14啮合带动齿盘14转动，齿盘14转动时，与第二齿槽16啮合带动穿杆11不断上升，由于限位块17的设置，所以穿杆11不会掉落至最底部，穿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.小尺寸晶圆载具结构，包括载具主体(1)，其特征在于，所述载具主体(1)的内壁两侧对称开设有供晶圆插入的边槽(18)，所述载具主体(1)的上表面呈L形间隔分布有三组配合框(5)，所述载具主体(1)的底端面对应三组配合框(5)处固定安装有三组副接板(3)，所述载具主体(1)的上表面与底端面还设有彼此适配的连接杆(2)以及连接框(4)；所述连接杆(2)沿连接块的上表面伸入，所述连接框(4)的内部水平设有弹性板(12)，所述弹性板(12)的底端面固定连接有弹簧(9)，所述弹性板(12)的居中处贯穿有穿杆(11)；所述穿杆(11)竖直设置，且一侧外壁上竖向分布开设有第二齿槽(16)，所述连接框(4)的内部转动安装有与第二齿槽(16)啮合的齿盘(14)，所述连接杆(2)伸入连接框(4)内部的一端侧壁上竖向分布开设有多组第一齿槽(8)，所述连接杆(2)位于齿盘(14)相对穿杆(11)的一面，且第一齿槽(8)也与齿盘(14)啮合。2.根据权利要求1所述的小尺寸晶圆载具结构，其特征在于，所述弹性板(12)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：强音，李德平，
申请(专利权)人：德赢创新上海半导体设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：