本实用新型专利技术公开了一种检测高纯砷前的制样装置，包括高温炉、过滤瓶、气泡瓶、缓冲瓶和收集瓶；所述高温炉包括保温壳体，所述保温壳体的左端面设有端盖，端盖的左端面设有氧气进气管，保温壳体通过第一导流管与收集瓶相连，收集瓶通过第二导流管与缓冲瓶相连，缓冲瓶通过第三导流管与气泡瓶相连，本检测高纯砷前的制样装置，结构紧凑，操作方便，安装简单，可以快速高效的将高纯砷内砷原料排除，有效保障了样品的检测精度，同时可以对废气进行过滤，有效保障了工作人员的身体健康；通过缓冲瓶和收集瓶用于三氧化二砷的收集，气泡瓶和过滤瓶用于对高温炉排除的废气进行过滤。于对高温炉排除的废气进行过滤。于对高温炉排除的废气进行过滤。
【技术实现步骤摘要】
一种检测高纯砷前的制样装置
[0001]本技术涉及高纯砷检测
，具体为一种检测高纯砷前的制样装置。
技术介绍
[0002]高纯砷是合成砷化镓、砷化锌、砷化铟、硒化砷等化合物的主要原料。广泛应用于集成电路、芯片器件、霍尔元件、硫系玻璃、5G通讯等领域。近年来，随着高新技术产业的发展，高纯砷的应用领域日益广泛，对高纯砷的纯度要求越来越高。
[0003]高纯砷内砷的含量普遍在99.999%以上，故要想判断其纯度，通常以检测其杂质元素含量的方法来简介得出其纯度；但杂质元素含量几乎都在ppb级别，痕量检测采用原子荧光、ICP
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MS等设备时，基体砷会影响检测结果，造成干扰。
技术实现思路
[0004]本技术提供一种检测高纯砷前的制样装置，本装置在检测前环节内增设制样装置，目的在于确保基体砷大量挥发，杂质元素残留在石英坩埚容器内，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种检测高纯砷前的制样装置，包括高温炉、过滤瓶、气泡瓶、缓冲瓶和收集瓶；所述高温炉包括保温壳体，所述保温壳体的左端面设有端盖，端盖的左端面设有氧气进气管，保温壳体通过第一导流管与收集瓶相连，收集瓶通过第二导流管与缓冲瓶相连，缓冲瓶通过第三导流管与气泡瓶相连，气泡瓶通过第四导流管与过滤瓶相连，过滤瓶上连接有第五导流管，过滤瓶的瓶口处设有过滤棉，所述第四导流管插入到过滤瓶的内侧面底部，气泡瓶内设有过滤液，所述第三导流管插入到过滤液中。
[0006]进一步的，所述保温壳体的内部设有加热舱，加热舱内设有电加热丝和坩埚，保温壳体上安装有温度计。
[0007]具体的，通过设置温度计可以监控加热舱内的温度。
[0008]进一步的，所述氧气进气管上设有流量表。
[0009]具体的，流量表用于掌控纯氧的送入量。
[0010]进一步的，所述过滤液为碱性溶液。
[0011]具体的，过滤液可以进一步吸收三氧化二砷。
[0012]进一步的，所述第五导流管与外部空气过滤净化系统相连。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、本检测高纯砷前的制样装置，结构紧凑，操作方便，安装简单，可以快速高效的将高纯砷内砷原料排除，有效保障了样品的检测精度，同时可以对废气进行过滤，有效保障了工作人员的身体健康；
[0015]2、通过缓冲瓶和收集瓶用于三氧化二砷的收集，气泡瓶和过滤瓶用于对高温炉排除的废气进行过滤。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图。
[0017]图中：1氧气进气管、2流量表、3端盖、4温度计、5加热舱、6电加热丝、7保温壳体、8第一导流管、9第二导流管、10第三导流管、11第四导流管、12第五导流管、13过滤瓶、14气泡瓶、15缓冲瓶、16收集瓶、17坩埚。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]在本技术的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。当某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接在另一个特征上。
[0020]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种检测高纯砷前的制样装置，包括高温炉、过滤瓶13、气泡瓶14、缓冲瓶15和收集瓶16；高温炉包括保温壳体7，保温壳体7的内部设有加热舱5，加热舱5内设有加热原料的电加热丝6和用于盛放样品砷的坩埚17，保温壳体7上安装有温度计4，温度计4用于监控加热舱5内的温度。
[0021]保温壳体7的左端面设有端盖3，端盖3的左端面设有氧气进气管1，氧气进气管1上设有流量表2，保温壳体7通过第一导流管8与收集瓶16相连，收集瓶16用于收集固化的三氧化二砷，收集瓶16通过第二导流管9与缓冲瓶15相连，缓冲瓶15用于收集从收集瓶16中溢出的部分三氧化二砷，缓冲瓶15通过第三导流管10与气泡瓶14相连，气泡瓶14内设有过滤液，过滤液为10％的氢氧化钠，氢氧化钠用于吸收废气中的三氧化二砷，气泡瓶14通过第四导流管11与过滤瓶13相连，过滤瓶13上连接有第五导流管12，第五导流管12与外部空气过滤净化系统相连，过滤瓶13的瓶口处设有过滤棉，第四导流管11插入到过滤瓶13的内侧面底部，第三导流管10插入到过滤液中。
[0022]在使用时：将砷原料放置到坩埚17的内部，将坩埚17放置到加热舱5的内部，通过氧气进气管1往加热舱5内通入纯氧，电加热丝6工作对加热舱5进行升温，当温度升高到600℃时，氧气与砷发生剧烈反应生成三氧化二砷，三氧化二砷在高温下气化，气化的三氧化二砷经由第一导流管8进入到收集瓶16的内部，气态三氧化二砷在收集瓶16内预冷固化，固化后的三氧化二砷留在收集瓶16的内部，少量的气态三氧化二砷随着废气进入到缓冲瓶15的内部在缓冲瓶15的内部进一步预冷固化，废气则经由碱液的吸收与过滤棉的过滤后排出。
[0023]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检测高纯砷前的制样装置，其特征在于：包括高温炉、过滤瓶（13）、气泡瓶（14）、缓冲瓶（15）和收集瓶（16）；所述高温炉包括保温壳体（7），所述保温壳体（7）的左端面设有端盖（3），端盖（3）的左端面设有氧气进气管（1），保温壳体（7）通过第一导流管（8）与收集瓶（16）相连，收集瓶（16）通过第二导流管（9）与缓冲瓶（15）相连，缓冲瓶（15）通过第三导流管（10）与气泡瓶（14）相连，气泡瓶（14）通过第四导流管（11）与过滤瓶（13）相连，过滤瓶（13）上连接有第五导流管（12），过滤瓶（13）的瓶口处设有过滤棉，所述第四导流管（11）插入到过滤瓶（13）的内...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚大猛，吕雪，段江山，王志斌，尚国风，
申请(专利权)人：洛宁中天利新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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