一种热切刀制造技术

本实用新型专利技术公开的热切刀，包括固定在可旋转旋转臂一端的环切刀组件，环切刀组件包括固定在旋转臂上的切割刀座、切割刀座上转动设置刀座，刀座上固定加热装置，加热装置对刀座上的环切刀进行加热。通过采用加热装置能够对环切刀进行加热，对BG膜进行切割，能够避免由于刀具的旋转，BG膜出现褶皱。加热后的环切刀对BG膜的效果更好。BG膜的效果更好。BG膜的效果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种热切刀


[0001]本技术涉及晶圆贴膜
，尤其涉及一种热切刀。

技术介绍

[0002]随着科技的进步智能穿戴、智能手机以及平板电脑在存储方面朝向高速化大容量化发展；体积方面朝向薄型化发展，科技发展方向要求闪存及内存控制器薄型化也不断提升，晶圆面积趋向越来越大，厚度趋向越来越薄使得在常规工艺在处理及切割极薄晶片时的崩裂问题更加面临挑战。
[0003]适配芯片轻量化要求，加工工艺中采用先切割再减薄的加工方法；具体操作如下先将晶圆正向隐切适合深度，再将晶圆正面贴附BG膜，BG膜可以有效的保护晶圆表面的芯片不受损伤同时在减薄过程中免受杂质的影响。
[0004]碳化硅晶圆硬度较高无法通过扩膜方式使晶圆裂开，需要适合设备沿晶圆切割道一条一条破开，芯片表面对碎屑敏感，裂片过程中在晶圆表面贴一层BG膜，防止裂片机构的劈刀和晶圆表面直接接触，也防止劈裂过程中产生的碎屑污染芯片。BG膜贴在晶圆上后，需要对BG膜进行切割，切割成与晶圆大小相配的的BG膜，在进行环切时，刀具的转动会使BG膜的表面出现褶皱。

技术实现思路

[0005]为解决在晶圆保护膜在进行切割时，由于刀具的旋转，BG膜出现褶皱的问题，本技术提供一种热切刀。
[0006]具体方案如下：
[0007]一种热切刀，包括固定在可旋转旋转臂一端的环切刀组件，环切刀组件包括固定在旋转臂上的切割刀座、切割刀座上转动设置刀座，刀座上固定加热装置，加热装置对刀座上的环切刀进行加热。
[0008]所述沿旋转臂的长度方向，加热装置依次包括，固定在刀座上的隔热板、电加热板和PTC加热器，导热板和PTC加热器之间固定环切刀；电加热板通过电线进行加热。
[0009]电线串联设置电阻。
[0010]所述电阻的型号为Pt100。
[0011]所述PTC加热器通过固定螺栓固定在导热板上，并将环切刀进行夹紧。
[0012]本技术公开的热切刀，通过采用加热装置能够对环切刀进行加热，对BG膜进行切割，能够避免由于刀具的旋转，BG膜出现褶皱。加热后的环切刀对BG膜的效果更好。
附图说明
[0013]图1为全自动晶圆覆膜机的结构示意图；
[0014]图2为压模组件的结构示意图；
[0015]图3为角度固定组件的结构示意图一；
[0016]图4为角度固定组件的结构示意图一；
[0017]图5为晶圆转运装置的结构示意图；
[0018]图6为晶圆承接机构的结构示意图；
[0019]图7为旋转切割部件的工作状态示意图；
[0020]图8为旋转切割部件的结构示意图一；
[0021]图9为旋转切割部件的结构示意图二；
[0022]图10为环切刀组件的结构示意图一；
[0023]图11为环切刀组件的结构示意图二；
[0024]图12为平衡组件的结构示意图；
[0025]图13为环切刀切割BG膜的过程图。
[0026]图中：机台架1，纵板11，贴膜平台2，环切槽21，压模组件3，压模伺服移动模组31，压模支架32，压模辊33，压模气缸34，压模托架35，固定角度组件4，固定角度线性电机41，固定角度辊42，旋转切割部件5，环切刀组件51，切割刀座511，加热装置512，刀座5121，隔热板5122，电加热板5123，PTC加热器5124，拉簧513，角度调节螺栓514，环切刀515，平衡组件52，平衡支座521，平衡弹簧522，滚轮支座523，滚轮524，长螺栓525，旋转切割座53，旋转驱动电机54，旋转臂55，晶圆承接机构6，升降支柱61，升降板62，升降气缸63，多功能机械手7，转运机械手71，吸取部711，料仓8，晶圆9，BG膜10。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施，而不是全部的实施，基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]如图1
‑
图13所示，公开一种全自动晶圆覆膜机，包括上表面设置纵板11的机台架1、晶圆贴膜系统、带有多功能机械7的多功能机器人系统和料仓8，晶圆贴膜系统包括设置在机台架1上的贴膜平台2，位于贴膜平台2上方的压模组件3和设置在纵板11上的固定角度组件4，固定角度组件4保证压模组件3在进行贴膜时，压膜辊33与固定角度辊42之间的BG膜10与贴膜平台2所在水平面之间角度不变；多功能机械手7上设置有对BG膜10进行热切的环切刀组件51。通过压模组件3和固定角度组件4之间的配合，控制BG膜10在贴膜之前，整个处于平整的状态，且保持压模辊33与固定角度辊42之间的BG膜10与贴膜平台2之间的角度不变，压模辊33能够将BG膜10下方的空气排净，避免出现褶皱；在对BG膜10进行切割时采用热切的环切刀组件51，能够利用加热的环切刀515对BG膜10进行切割，避免在切割过程中的刀片使BG膜10出现褶皱。
[0029]压模组件3包括压模伺服移动模组31，压模伺服移动模组41上滑动连接有压模支架32，压模支架32上转动设置有高度可调的压膜辊33，当压膜辊33向下移动，并与BG膜10进行接触时，通过模伺服移动模组31控制压模支架32在BG膜10运行的方向进行移动贴膜，压膜辊33在贴膜时，可以通过保证固定角度辊42和压膜辊33之间保持同步运动，达到保持压模辊33与固定角度辊42之间的BG膜10与贴膜平台2之间的角度不变的目的，压膜辊33可以通过固定角度线性电机控制往复移动，也通过设置在压模支架32上的外伸出板，外伸板的
长度方向与膜带的运行方向一致，外伸板上转动设置压膜辊33。
[0030]为了保证压模辊33与固定角度辊42之间的BG膜10与贴膜平台2之间的角度不变，固定角度辊42的运行方向可以为垂直与贴膜平台2的方向，固定角度辊42转动设置在固定角度线性电机41上。
[0031]为了保证压模辊33对BG膜10进行压模时的BG膜10受力均匀，设置的压模支架32为门型框架，贴膜平台2位于门框架内部；门型框架顶部两侧均设置有压模气缸34，压模气缸34的伸缩杆穿过门型框架顶部，并且在压模气缸34的伸缩杆末端连接压模托架35，压膜辊33转动连接在压模托架35上。
[0032]多功能机械手7上设置旋转切割部件5，旋转切割部件5包括固定在多功能机械手7上的旋转切割座53，旋转切割座53上固定旋转驱动电机54，旋转驱动电机54的输出轴处连接旋转臂55，旋转臂55一端设置环切刀组件51，旋转臂另一端设置平衡组件52；环切刀组件51在进行切割时，需在对应的工作面上设置环切槽21。这里的工作面指的是贴膜平台2。贴膜平台2上设置吸附区，吸附区内设置负压腔，负压腔内设置负压源，负压源产生负压通过吸附区设置负压孔对晶圆9进行吸附，待贴膜的晶圆9放置在环切槽21内部，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热切刀，其特征在于，包括固定在可旋转旋转臂一端的环切刀组件，环切刀组件包括固定在旋转臂上的切割刀座、切割刀座上转动设置刀座，刀座上固定加热装置，加热装置对刀座上的环切刀进行加热。2.根据权利要求1所述的一种热切刀，其特征在于，沿旋转臂的长度方向，加热装置依次包括，固定在刀座上的隔热板、电加热板和PTC加热器，导热板...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶为银，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：