本实用新型专利技术实施例公开了双目窄带多波段共焦成像系统，涉及共焦成像技术领域。照明单元产生复色光；准直透镜将复色光准直为复色光束；数字微镜器件将复色光束形成点光阵列；色散管镜将第一反射点光阵列进行色散得到单色点光阵列；第一分光透镜对点光阵列进行透射和反射；第一分光透镜还对入射的成像光进行透射和反射；第二分光透镜对第二透射点光阵列进行透射和反射；第一滤光转盘和第二滤光转盘分别承载多个滤光片，并能够切换任一滤光片至第三透射点光阵列的光路上；第一聚焦透镜和第二聚焦透镜进行聚焦；第一成像单元和第二成像单元形成成像结果。本实用新型专利技术实现了在成像过程中更换滤光片，提高成像效率。提高成像效率。提高成像效率。
【技术实现步骤摘要】
一种双目窄带多波段共焦成像系统
[0001]本技术涉及共焦成像
，特别是涉及一种双目窄带多波段共焦成像系统。
技术介绍
[0002]随着科技的飞速发展，共焦成像成为当下国内外学者研究的热点。共焦成像基于多段彩色窄带波段的方法对高精密加工件进行成像。
[0003]请参见图1，现有的双目窄带多波段共焦成像系统包括照明单元1，准直透镜2，数字微镜器件3，第一分光透镜4，色散管镜5，物镜6，载物模块7，第二分光透镜8，第一聚焦透镜11，第一成像单元12，第二聚焦透镜15，第二成像单元16和显示模块17。现有的双目窄带多波段共焦成像系统需要提前安装滤光片，无法在成像过程中更换滤光片，一定程度限制了成像效率。
技术实现思路
[0004]本技术实施例的目的是提供一种双目窄带多波段共焦成像系统，以实现在成像过程中更换滤光片，提高成像效率。
[0005]为实现上述目的，本技术实施例提供了如下方案：
[0006]一种双目窄带多波段共焦成像系统，包括：
[0007]第一光学子系统，包括：照明单元(1)、准直透镜(2)和数字微镜器件(3)；第一光学子系统中的各组成器件的中心在同一直线上；
[0008]载物模块(7)，用于承载待测量物体；
[0009]第二光学子系统，包括：在远离所述载物模块(7)的方向上，依次设置的物镜(6)、色散管镜(5)、第一分光透镜(4)和第二分光透镜(8)；第二光学子系统中的各组成器件的中心在同一直线上；
[0010]第一成像子系统，包括：第一滤光转盘(9)、第一聚焦透镜(11)和第一成像单元(12)；所述第一聚焦透镜(11)和所述第一成像单元(12)的中心在同一直线上；
[0011]第二成像子系统，包括：第二滤光转盘(13)、第二聚焦透镜(15)和第二成像单元(16)；所述第二聚焦透镜(15)和所述第二成像单元(16)的中心在同一直线上；
[0012]其中：
[0013]照明单元(1)，用于产生复色光；
[0014]准直透镜(2)，用于将所述复色光准直为复色光束；
[0015]数字微镜器件(3)，用于将所述复色光束形成点光阵列；
[0016]所述第一分光透镜(4)与数字微镜器件(3)的中心连线与目标中心连线不重合，所述目标中心连线为所述第一光学子系统中各组成器件的中心连线；
[0017]所述色散管镜(5)，用于将第一反射点光阵列进行色散，得到单色点光阵列；所述单色点光阵列经物镜(6)到达所述载物模块(7)，被反射后，作为成像光经物镜(6)和色散管
镜(5)到达所述第一分光透镜(4)；
[0018]所述第一分光透镜(4)用于：对所述点光阵列进行透射和反射，得到第一透射点光阵列和第一反射点光阵列；
[0019]所述第一分光透镜(4)还用于：对入射的成像光进行透射和反射，得到第二透射点光阵列和第二反射点光阵列；
[0020]所述第二分光透镜(8)用于：对所述第二透射点光阵列进行透射和反射，得到第三透射点光阵列和第三反射点光阵列；
[0021]所述第一滤光转盘(9)用于承载多个滤光片，并能够切换任一滤光片至所述第三透射点光阵列的光路上；位于所述光路上的滤光片能够过滤所述第三透射点光阵列形成第一窄带光束；
[0022]所述第二滤光转盘(13)用于承载多个滤光片，并能够切换任一滤光片至所述第三反射点光阵列的光路上；位于所述光路上的滤光片能够过滤所述第三反射点光阵列形成第二窄带光束；
[0023]所述第一聚焦透镜(11)用于对所述第一窄带光束进行聚焦；
[0024]所述第一成像单元(12)用于收集聚焦后的第一窄带光束，并形成第一成像结果；
[0025]所述第二聚焦透镜(15)用于对所述第二窄带光束进行聚焦；
[0026]所述第二成像单元(16)用于收集聚焦后的第二窄带光束，并形成第二成像结果。
[0027]可选地，所述第一滤光转盘(9)包括：
[0028]第一滤光盘(901)，用于承载多个滤光片；
[0029]第一步进电机(903)，与所述第一滤光盘(901)连接，用于根据控制信号带动所述第一滤光盘(901)转动；
[0030]所述第二滤光转盘(13)包括：
[0031]第二滤光盘(1301)，用于承载多个滤光片；
[0032]第二步进电机(1303)，与所述第二滤光盘(1301)连接，用于根据控制信号带动所述第二滤光盘(1301)转动。
[0033]可选地，所述第一滤光转盘(9)所承载的多个滤光片所过滤的波段不同；
[0034]所述第二滤光转盘(13)所承载的多个滤光片所过滤的波段不同。
[0035]可选地，所述物镜(6)针对所述单色点光阵列的焦点与其光心的距离为Z；其中，所述Z与所述点光阵列的波长相对应。
[0036]可选地，所述第一分光透镜(4)包括：半透半反透镜；所述第二分光透镜(8)包括：半透半反透镜。
[0037]可选地，所述第一分光透镜(4)还包括：起偏器，偏振分光镜和波片；所述第二分光透镜(8)还包括：起偏器，偏振分光镜和波片。
[0038]可选地，所述第二成像子系统的中心所在直线与所述第二光学子系统的中心所在直线垂直。
[0039]可选地，所述载物模块(7)具体为三维运动载物台。
[0040]可选地，所述第一成像单元(12)包括一个摄像头；所述第二成像单元(16)包括一个摄像头。
[0041]可选地，包括：
[0042]系统控制单元(17)，分别与所述第一步进电机(903)和第二步进电机(1303)连接，用于发出所述控制信号。
[0043]根据本技术提供的具体实施例，公开了以下技术效果：
[0044]本技术实施例提供了一种双目窄带多波段共焦成像系统，包括第一光学子系统，载物模块，第二光学子系统，第一成像子系统和第二成像子系统。各部分协同如下：照明单元产生复色光；准直透镜将复色光准直为复色光束；数字微镜器件将复色光束形成点光阵列；第一分光透镜与数字微镜器件的中心连线与目标中心连线不重合，目标中心连线为第一光学子系统中各组成器件的中心连线；色散管镜将第一反射点光阵列进行色散得到单色点光阵列；单色点光阵列经物镜到达载物模块被反射后，作为成像光经物镜和色散管镜到达第一分光透镜；第一分光透镜对点光阵列进行透射和反射，得到第一透射点光阵列和第一反射点光阵列；第一分光透镜还对入射的成像光进行透射和反射，得到第二透射点光阵列和第二反射点光阵列；第二分光透镜对第二透射点光阵列进行透射和反射，得到第三透射点光阵列和第三反射点光阵列；第一滤光转盘承载多个滤光片，并能够切换任一滤光片至第三透射点光阵列的光路上；位于光路上的滤光片能够过滤第三透射点光阵列形成第一窄带光束；第二滤光转盘承载多个滤光片，并能够切换任一滤光片至第三反射点光阵列的光路上；位于光路上的滤光片能够过滤第三反射点光阵列形成第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双目窄带多波段共焦成像系统，其特征在于，包括：第一光学子系统，包括：照明单元(1)、准直透镜(2)和数字微镜器件(3)；第一光学子系统中的各组成器件的中心在同一直线上；载物模块(7)，用于承载待测量物体；第二光学子系统，包括：在远离所述载物模块(7)的方向上，依次设置的物镜(6)、色散管镜(5)、第一分光透镜(4)和第二分光透镜(8)；第二光学子系统中的各组成器件的中心在同一直线上；第一成像子系统，包括：第一滤光转盘(9)、第一聚焦透镜(11)和第一成像单元(12)；所述第一聚焦透镜(11)和所述第一成像单元(12)的中心在同一直线上；第二成像子系统，包括：第二滤光转盘(13)、第二聚焦透镜(15)和第二成像单元(16)；所述第二聚焦透镜(15)和所述第二成像单元(16)的中心在同一直线上；其中：照明单元(1)，用于产生复色光；准直透镜(2)，用于将所述复色光准直为复色光束；数字微镜器件(3)，用于将所述复色光束形成点光阵列；所述第一分光透镜(4)与数字微镜器件(3)的中心连线与目标中心连线不重合，所述目标中心连线为所述第一光学子系统中各组成器件的中心连线；所述色散管镜(5)，用于将第一反射点光阵列进行色散，得到单色点光阵列；所述单色点光阵列经物镜(6)到达所述载物模块(7)，被反射后，作为成像光经物镜(6)和色散管镜(5)到达所述第一分光透镜(4)；所述第一分光透镜(4)用于：对所述点光阵列进行透射和反射，得到第一透射点光阵列和第一反射点光阵列；所述第一分光透镜(4)还用于：对入射的成像光进行透射和反射，得到第二透射点光阵列和第二反射点光阵列；所述第二分光透镜(8)用于：对所述第二透射点光阵列进行透射和反射，得到第三透射点光阵列和第三反射点光阵列；所述第一滤光转盘(9)用于承载多个滤光片，并能够切换任一滤光片至所述第三透射点光阵列的光路上；位于所述光路上的滤光片能够过滤所述第三透射点光阵列形成第一窄带光束；所述第二滤光转盘(13)用于承载多个滤光片，并能够切换任一滤光片至所述第三反射点光阵列的光路上；位于所述光路上的滤光片能够过滤所述第三反射点光阵列形成第二窄带光束；所述第一聚焦透镜(11)用于对所述第一窄带光束进行聚焦；所述第一成像单...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁涛，易定容，吴栋梁，叶一青，蒋威，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：新型
国别省市：
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