固态成像装置及其制造方法制造方法及图纸

通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性，提高了光会聚效率，并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置，包括：光接收单元（１），用于接收光以进行光电转换；波导（２０），形成在绝缘膜５中并且由透明材料组成，其中绝缘膜５覆盖设置有光接收单元（１）的衬底，所述波导（２０）构建来将入射光从外界导向光接收单元（１）；其中，对波导（２０）设置有前向楔形部分，在在该前向楔形部分中从入射光方向看，平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固态成像装置，包括：　多个光接收部分，所述多个光接收部分设置在衬底中，并响应于入射光产生电荷；　平化层，覆盖设置在所述衬底上的预定元件以进行平化；　设置在所述平化层之上的多条信号线；和　将入射光导向每个所述光接收部分的波导，所述波导穿过所述多条信号线之间的空间；　其中，所述波导包括具有不同直径的多层，并且在所述多层中的相邻两层中，上层靠下的直径设置得小于下层靠上的直径。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：菰口徹哉，榎本容幸，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]