一种晶圆覆膜切割机制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆覆膜切割机，属于晶圆覆膜技术领域，一种晶圆覆膜切割机，包括机架，所述机架的侧面上设置有用于装纳保护膜边角料的容纳箱，所述容纳箱内设置有用于将容纳箱内的保护膜边角料向容纳箱内底部按压的压板，所述压板的侧面上间隔开设有两条滑槽，所述滑槽上滑动装配有封口板，当容纳箱内的保护膜边角料与压板朝向容纳箱内底部的侧面接触时，工作人员把固定杆从固定孔内拉出，把压板向下按压，然后再将固定杆插入至靠近容纳箱底部的固定孔内，随后，将另外一个压板固定在容纳箱的箱口处，以此循环，这样就可以使容纳箱容纳更多的保护膜边角料，而且不用频繁的去倒保护膜边角料，节约了工作人员的时间，进而提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆覆膜切割机


[0001]本技术涉及晶圆覆膜
，具体涉及一种晶圆覆膜切割机。

技术介绍

[0002]晶圆是半导体生产中重要的原材料，晶圆为半导体前一般需要将没有电路结构的一面进行打磨切割，使其便薄，为避免晶圆的电路结构被刮擦损坏，需要在晶圆具有电路结构的一面覆盖一层保护膜，目前一般是通过覆膜切割机对保护膜进行切割，使其保护膜和晶圆贴合。
[0003]在通过覆膜切割机对保护膜切割后，切割下来的保护膜边角料工作人员直接扔在放置在覆膜切割机旁的纸箱内，为节省工作空间，纸箱不能太大，另外，保护膜边角料直接扔在纸箱内，较多的保护膜边角料扔在纸箱内由于保护膜边角料比较轻盈所以会蓬松，而且纸箱也不大，所以纸箱不能够装纳更多的保护膜边角料，需要频繁的去倒掉纸箱内的保护膜边角料，浪费工作人员的时间，进而降低了工作效率。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供一种晶圆覆膜切割机，不仅能容纳更多的保护膜边角料，减少了工作人员取倒保护膜边角料的时间，而且不占用太多的更多空间。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种晶圆覆膜切割机，包括机架，所述机架的侧面上设置有用于装纳保护膜边角料的容纳箱，所述容纳箱内设置有用于将容纳箱内的保护膜边角料向容纳箱内底部按压的压板，所述压板的侧面上间隔开设有两条滑槽，所述滑槽上滑动装配有封口板，所述封口板的侧面上朝向压板的侧面上间隔设置有与滑槽适配的滑块，所述滑槽与滑块实现滑动装配，两个所述滑槽之间设置有入料口，所述压板的侧面上位于压板的两端部处分别设置有用于将压板固定在容纳箱内的固定组件。
[0006]优选地，所述固定组件包括固连在压板侧面上的固定板，所述固定板的侧面上设置有弹簧，所述弹簧的一端设置有手拉板，所述手拉板的侧面中心处垂直设置有固定杆，固定杆穿过弹簧并伸出至固定板外，所述固定板的侧面上开设有供固定杆穿过的穿孔，所述容纳箱相对应的侧面上下间隔开设有用于使固定杆插入的固定孔。
[0007]优选地，所述容纳箱的底部上设置有具有空腔的底座，所述底座的侧面上开设有放入口，所述底座的侧面上位于放入口处设置有用于封闭放入口的封闭门。
[0008]优选地，所述封闭门的侧面上设置有便于打开封闭门的手扣槽。
[0009]优选地，所述底座的底部上设置有便于容纳箱移动的万向轮。
[0010]优选地，所述机架的侧面上间隔设置有两个限位板，所述容纳箱位于两个限位板之间，所述限位板的侧面上开设有限位孔，所述限位孔的数量为两个，所述限位孔内设置有具有弹性功能的限位带，所述限位带的一端与其中一个限位孔连接，另一端与另外一个限位孔连接。
[0011]优选地，所述限位带为尼龙松紧带。
[0012]本技术的上述技术方案的有益效果如下：在工作人员使用覆膜切割机对晶圆上的保护膜进行切割时，使容纳箱通过尼龙松紧带限定在机架的一侧，然后通过手扣槽打开封闭门，将压板从放置空间内取出，工作人员双手拉动手拉板拎着压板，并通过固定杆和固定孔将压板固定在容纳箱内，通过滑槽和滑块把封口板从入料口处移开，工作人员把保护膜边角料通过入料口扔入至容纳箱内，当容纳箱内的保护膜边角料与压板朝向容纳箱内底部的侧面接触时，工作人员把固定杆从固定孔内拉出，把压板向下按压，然后再将固定杆插入至靠近容纳箱底部的固定孔内，随后，将另外一个压板固定在容纳箱的箱口处，以此循环，这样就可以使容纳箱容纳更多的保护膜边角料，而且不用频繁的去倒保护膜边角料，节约了工作人员的时间，进而提高了工作效率。
附图说明
[0013]图1为本技术晶圆覆膜切割机的具体实施例的主视图；
[0014]图2为本技术晶圆覆膜切割机的具体实施例的侧视图；
[0015]图3为本技术中容纳箱和底座的剖面结构示意图；
[0016]图4为本技术中压板的俯视结构示意图；
[0017]图5为本技术图1中A处放大结构示意图。
[0018]图中：1、机架；2、容纳箱；3、压板；4、滑槽；5、封口板；6、入料口；7、固定板；8、弹簧；9、手拉板；10、固定杆；11、固定孔；12、底座；13、封闭门；14、手扣槽；15、万向轮；16、限位板；17、限位孔；18、限位带；19、放入口。
具体实施方式
[0019]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图1
‑
5，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1
‑
5所示：所述晶圆覆膜切割机，包括机架1，机架1的侧面上设置有用于装纳保护膜边角料的容纳箱2，容纳箱2具有箱口，容纳箱2的高度略低于覆膜切割机的切割平台，容纳箱2内设置有用于将容纳箱2内的保护膜边角料向容纳箱内底部按压的压板3，在容纳箱2内没有保护膜边角料时，压板位于容纳箱2的箱口处，压板3的侧面上间隔开设有两条滑槽4，滑槽4上滑动装配有封口板5，通过滑槽4和滑块可使封口板5在压板3的侧面上往复移动，在压板3向下按压保护膜边角料时，将封口板5移动至入料口6处，避免保护膜边角料从入料口6漏出，封口板5的侧面上朝向压板3的侧面上间隔设置有与滑槽4适配的滑块，滑槽4与滑块实现滑动装配，两个滑槽4之间设置有入料口6，压板3的侧面上位于压板3的两端部处分别设置有用于将压板3固定在容纳箱2内的固定组件。
[0021]本实施例中，固定组件包括固连在压板3侧面上的固定板7，固定板7的侧面上设置有弹簧8，弹簧8的一端设置有手拉板9，手拉板9的侧面中心处垂直设置有固定杆10，固定杆10穿过弹簧并伸出至固定板7外，固定板7的侧面上开设有供固定杆10穿过的穿孔，容纳箱2相对应的侧面上下间隔开设有用于使固定杆10插入的固定孔11，在将压板3放置在容纳箱2内时，工作人员双手将手拉板9向外压板3的中心处拉动，同时应避免固定杆10从固定板7上
脱离，当压板3处于合适的位置后，松开手拉板9使固定杆10穿过固定板7插入至固定孔11内，这样既可将压板3固定在容纳箱2内。
[0022]本实施例中，容纳箱2的底部上设置有具有空腔的底座12，底座12的侧面上开设有放入口19，底座12的侧面上位于放入口19处设置有用于封闭放入口19的封闭门13，在底座12的侧面开设有与底座12内部连通的放入口19，以此形成放置空间，可以将压板3放置在放置空间内，封闭门13可避免压板3从放置空间内滑出。
[0023]本实施例中，封闭门13的侧面上设置有便于打开封闭门13的手扣槽14。
[0024]本实施例中，底座12的底部上设置有便于容纳箱2移动的万向轮15。
[0025]本实施例中，机架1的侧面上间隔设置有两个限位板16，容纳箱2位于两个限位板16之间，限位板16的侧面上开设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆覆膜切割机，包括机架，其特征在于：所述机架的侧面上设置有用于装纳保护膜边角料的容纳箱，所述容纳箱内设置有用于将容纳箱内的保护膜边角料向容纳箱内底部按压的压板，所述压板的侧面上间隔开设有两条滑槽，所述滑槽上滑动装配有封口板，所述封口板的侧面上朝向压板的侧面上间隔设置有与滑槽适配的滑块，所述滑槽与滑块实现滑动装配，两个所述滑槽之间设置有入料口，所述压板的侧面上位于压板的两端部处分别设置有用于将压板固定在容纳箱内的固定组件。2.如权利要求1所述的晶圆覆膜切割机，其特征在于：所述固定组件包括固连在压板侧面上的固定板，所述固定板的侧面上设置有弹簧，所述弹簧的一端设置有手拉板，所述手拉板的侧面中心处垂直设置有固定杆，固定杆穿过弹簧并伸出至固定板外，所述固定板的侧面上开设有供固定杆穿过的穿孔，所述容纳箱相对应的侧面上下间隔开设有用于使固定杆插入的固定孔。3.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫兴，陶为银，巩铁建，蔡正道，乔赛赛，张伟，鲍占林，王鹏，杜磊，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：