一种具有隔热导压功能的压力传感器及测试方法技术

本发明专利技术公开了一种具有隔热导压功能的压力传感器及测试方法，属于压力传感器领域。本发明专利技术用低热导率的玻璃隔离金属直接连接，立柱两端均以玻璃连接，实现两级隔离，使降温梯度显著；三个立柱中，两个为实心结构，另一个立柱为毛细管，内部有中空管道结构，充灌硅油来传导压力，该毛细管与环境完全接触，为向环境进行散热的主体。而热源介质端焊有一个上盖，与波纹膜片，毛细管、下盖、传感器共同构成一个封闭的空腔，灌充硅油传递压力，该设计保证了本发明专利技术导压隔热部件的内部，自有纯净的导压硅油不受污染。波纹膜片前置后，拒绝了被测介质进入散热部件，消除了堵塞风险，提升了传感器的可靠性。可靠性。可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有隔热导压功能的压力传感器及测试方法


[0001]本专利技术属于压力传感器领域，尤其是一种具有隔热导压功能的压力传感器及测试方法。

技术介绍

[0002]扩散硅压力传感器基于其MEMS压敏芯片固有特性限制，一般适用的介质温度范围在
‑
40℃～125℃，对于高温(小于300℃的)流体介质的压力测量，最为常用方法是在压力接口前端增加散热装置。如图1所示，圆形的不锈钢散热片层叠，中轴内有细长孔，导入压力介质(热水或热油等)，在热源的远端焊接常规压力传感器，由于盲管内的介质不流动，不会通过对流方式导热，散热片可以将测量介质的高温向周围环境辐射，通过导流散热部件对远端压力传感器实现降温保护。
[0003]而该散热部件存在以下缺陷：散热效能低，单位长度降温能力差；散热片式结构，散热效果取决于散热片数量和环境温度，介质高于150℃时散热片数量需要增加，使得散热器长度变得更长以至于可安装性降低。对于200℃以上的应用，这种结构在实践上基本不可行。另一方面，结构上没有做到与热源的隔离，该散热片与前端的压力接口为同样的不锈钢材质，经本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有隔热导压功能的压力传感器，其特征在于，包括传感器基座(15)和波纹膜片(7)；传感器基座(15)的一端设有下盖(10)，下盖(10)的另一侧设有下板(4)，传感器基座(15)与下盖(10)之间及下盖(10)与下板(4)之间均留有空腔；波纹膜片(7)通过矩形压圈(6)压在上盖(9)内，上盖(9)的另一侧设有上板(3)，波纹膜片(7)与上盖(9)之间及上盖(9)与上板(3)之间均留有空腔；上盖(9)与下盖(10)上均开设有导压孔(17)；上板(3)与下板(4)之间设有三个立柱(1)，其中一个立柱内为中空的毛细管(2)，三个立柱(1)的两端均通过绝缘子(5)固定在上板(3)和下板(4)上；所述空腔及毛细管(2)内均充满硅油。2.根据权利要求1所述的具有隔热导压功能的压力传感器，其特征在于，传感器基座(15)内中心粘贴有感压芯片(11)；传感器基座(15)上还设有细针引线(12)，细针引线(12)与传感器基座(15)接触处烧结有玻璃绝缘子进行固定和绝缘，位于传感器基座(15)内的细针引线(12)与感压芯片(11)表面的焊盘连接导通；传感器基座(15)上开设有注油孔(13)，注油孔(13)开口处设有钢珠(14)。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，赵富荣，
申请(专利权)人：麦克传感器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：