【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产用打磨除尘设备
[0001]本专利技术涉及多晶硅生产
,具体为一种多晶硅生产用打磨除尘设备。
技术介绍
[0002]多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多晶硅可作拉制单晶硅的原料,多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。例如,在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面,远不如单晶硅明显;在电学性质方面,多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著,甚至于几乎没有导电性。在化学活性方面,两者的差异极小。多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别,但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。
[0003]多晶硅在生产过程中,由于加工过程中,可能产生毛边或者崩边的产生,造成废品的产生。一些多晶硅通过打磨之后仍然可以正常使用。现有的多晶硅用打磨装置不能适用于不同形状 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产用打磨除尘设备,其特征在于:包括底座、高度调节气缸、安装顶板、夹紧固定机构、打磨机构和除尘机构,所述高度调节气缸设于底座上,所述安装顶板设于高度调节气缸的自由端,所述夹紧固定机构设于底座上,所述打磨机构设于安装顶板上,所述除尘机构设于安装顶板上,所述除尘机构与打磨机构对应设置;所述除尘机构包括防护箱、除尘转动组件、除尘角度调节组件和除尘组件,所述防护箱设于安装顶板上,所述除尘转动组件设于防护箱内,所述除尘角度组件设于除尘转动组件上,所述除尘组件设于安装顶板上,所述除尘组件与除尘角度调节组件相连。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用打磨除尘设备,其特征在于:所述除尘转动组件包括转动电机、主动锥形轮、从动锥形轮和转动驱动轴,所述转动电机设于安装顶板上,所述主动锥形轮设于转动电机的输出轴上,所述转动驱动轴转动设于安装顶板上,所述从动锥形轮设于转动驱动轴上,所述从动锥形轮与主动锥形轮啮合,所述转动驱动轴为中空轴。3.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产用打磨除尘设备,其特征在于:所述转动电机为正反双转电机,所述转动电机的转动范围为0~180
°
。4.根据权利要求3所述的一种多晶硅生产用打磨除尘设备,其特征在于:所述除尘角度调节组件关于转动驱动轴对称设有两组,所述除尘角度调节组件包括固定安装板、微型伸缩气缸、角度调节板和限位板,所述固定安装板设于转动驱动轴上,所述微型伸缩气缸设于固定安装板上,所述微型伸缩气缸的自由端设有驱动柱,所述限位板设于固定安装板下方,所述角度调节板转动设于限位板上,所述角度调节板的一端设有驱动板,所述驱动板上开设有驱动槽,所述驱动柱卡合滑动设于驱动槽内。5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员:欧兆旺,
申请(专利权)人:江苏拓正茂源新能源有限公司,
类型:发明
国别省市:
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