感光性组合物制造技术

本发明专利技术涉及感光性组合物。本发明专利技术的课题是提供用于在透镜的周缘形成遮光层的感光性组合物、使用该感光性组合物的光学元件的制造方法、和光学元件，所述感光性组合物能够通过涂布于透镜并将所形成的涂布膜以位置选择性方式进行曝光及显影从而形成具有优异的遮光性的遮光层，并且能够抑制未曝光部的透镜的透过率的降低。本发明专利技术的解决手段为使用下述感光性组合物，其为用于在透镜的周缘形成遮光层的感光性组合物，所述感光性组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D)，遮光剂(D)包含实施了导入酸性基团的处理的炭黑(D1)。处理的炭黑(D1)。

【技术实现步骤摘要】
感光性组合物


[0001]本专利技术涉及用于在透镜的周缘形成遮光层的感光性组合物、光学元件的制造方法、及光学元件。

技术介绍

[0002]在照相机、显微镜、半导体曝光装置、双筒望远镜等光学设备中，使用了透镜作为光学元件。
[0003]在这样的透镜中，为了抑制因入射光的反射而产生的耀斑(flare)、重影(ghost)等，公开了下述技术：通过镀覆、涂布工艺而在透镜的周缘部设置消光膜的技术(参见专利文献1)；将在透镜上涂布黑色着色感光性树脂组合物而形成的涂布膜以位置选择性方式进行曝光及显影，从而在透镜的周缘部设置遮光层的技术(参见专利文献2)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2020
‑
109510号公报
[0007]专利文献2：日本特开2011
‑
107588号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的课题
[0009]伴随着光学设备的小型化，透镜也正在小型化，因此，期望更微细的遮光层等。如专利文献2那样，通过将在透镜上涂布负型黑色着色感光性树脂组合物而形成的涂布膜以位置选择性方式进行曝光及显影，能够设置具有微细的图案形状的遮光层。
[0010]但是，如专利文献2那样通过对在透镜上涂布负型黑色着色感光性树脂组合物而形成的涂布膜进行位置选择性的曝光及显影来设置遮光层时，在透镜中产生下述问题：在并非设置遮光层的周缘部的未曝光部(即，入射光透过的区域)的透过率变低。因此，期望抑制未曝光部的透镜的透过率的降低。
[0011]另外，为了抑制因入射光的反射而产生的耀斑、重影等，期望遮光层的遮光性优异、能够充分吸收光。
[0012]然而，在现有技术中，难以同时实现具有优异的遮光性的遮光层的形成、和对前述未曝光部的透镜的透过率降低的抑制。
[0013]本专利技术是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供用于在透镜的周缘形成遮光层的感光性组合物、使用该感光性组合物的光学元件的制造方法、和光学元件，所述感光性组合物能够通过涂布于透镜并将所形成的涂布膜以位置选择性方式进行曝光及显影从而形成具有优异的遮光性的遮光层，并且能够抑制未曝光部的透镜的透过率的降低。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]本申请的专利技术人发现，通过制成用于在透镜的周缘形成遮光层的、包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)和遮光剂(D)、并且遮光剂(D)包含实施了导入
酸性基团的处理的炭黑(D1)的感光性组合物，能够解决上述课题，从而完成了本专利技术。具体而言，本专利技术提供以下方式。
[0016]本专利技术的第1方式为感光性组合物，其为用于在透镜的周缘形成遮光层的感光性组合物，
[0017]所述感光性组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D)，
[0018]前述遮光剂(D)包含实施了导入酸性基团的处理的炭黑(D1)。
[0019]本专利技术的第2方式为光学元件的制造方法，所述光学元件具备透镜、和位于前述透镜的周缘的遮光层，所述制造方法包括下述工序：
[0020]涂布膜形成工序，将第1方式涉及的感光性组合物涂布于前述透镜从而形成涂布膜；
[0021]曝光工序，以位置选择性方式对前述涂布膜中的待形成前述遮光层的位置进行曝光；
[0022]显影工序，对曝光后的前述涂布膜进行显影；和
[0023]热固化工序，对显影后的前述涂布膜进行加热从而进行固化。
[0024]本专利技术的第3方式为光学元件，其具备透镜、和位于前述透镜的周缘的遮光层，
[0025]前述遮光层是由第1方式涉及的感光性组合物的固化物形成的。
[0026]专利技术效果
[0027]根据本专利技术，可以提供下述感光性组合物、使用该感光性组合物的光学元件的制造方法、和光学元件，所述感光性组合物能够通过涂布于透镜并将所形成的涂布膜以位置选择性方式进行曝光及显影从而在透镜的周缘形成具有优异的遮光性的遮光层，并且能够抑制未曝光部的透镜的透过率的降低。
附图说明
[0028][图1]为使用感光性组合物形成的光学元件的示意图。
[0029][图2]为对光学元件的制造方法进行说明的截面示意图。
[0030]附图标记说明
[0031]1 透镜
[0032]2 遮光层
[0033]3 形成遮光层的位置
[0034]4 负型掩模
[0035]5 未曝光部
[0036]10 光学元件
具体实施方式
[0037]以下，基于优选的实施方式对本专利技术进行说明。需要说明的是，本说明书中，关于使用“～”表示的范围，定义为包括两端的数值或比在内的范围。
[0038]《感光性组合物》
[0039]本专利技术的感光性组合物(黑色感光性组合物)用于在透镜的周缘形成遮光层。形成
遮光层的透镜的周缘是以透镜的厚度方向(使光入射的方向)为轴时的周缘。
[0040]作为透镜，可举出树脂制的透镜。作为构成透镜的树脂，例如，可举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、环氧树脂、丙烯酸树脂。
[0041]透镜的厚度没有特别限定，例如为1cm以下，优选为100μm以上2000μm以下。需要说明的是，透镜的厚度是最厚部分的厚度。透镜的直径没有特别限定，例如为40mm以下，优选为1mm以上10mm以下，更优选为1mm以上5mm以下。
[0042]感光性组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D)。而且，遮光剂(D)包含实施了导入酸性基团的处理的炭黑(D1)。
[0043]通过使用这样的感光性组合物，能够制造如图1所示的那样具备透镜1、和位于透镜1的周缘的遮光层2的光学元件10。图1为使用感光性组合物形成的光学元件的示意图，图1(a)为截面图，图1(b)为俯视图。需要说明的是，图1的透镜1、遮光层2的形状为一个例子，制成与所期望的光学元件10相应的形状即可。
[0044]例如，在包括下述工序的方法中，通过使用这样的感光性组合物作为涂布膜形成用材料，从而如后述的实施例所示，能够形成具有优异的遮光性的遮光层2，并且能够抑制未曝光部的透镜1的透过率的降低，所述工序为：
[0045]涂布于透镜从而形成涂布膜的工序；
[0046]以位置选择性方式对涂布膜中的待形成遮光层的位置进行曝光的工序；
[0047]对曝光后的涂布膜进行显影的工序；和
[0048]对显影后的涂布膜进行加热从而进行固化的热固化工序。
[0049]例如，可以使利用这样的感光性组合物在透镜1的周缘形成的遮光层2(经图案化的固化物)的每1μm厚度的OD值(光密度)为1.0以上，也可以为1.5以上、1.8以上、2.0以上。
[0050]另外，关于未曝光部的透镜1的厚度方向的透过率，可以使由下式求出的透过率变化低本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.感光性组合物，其为用于在透镜的周缘形成遮光层的感光性组合物，所述感光性组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D)，所述遮光剂(D)包含实施了导入酸性基团的处理的炭黑(D1)。2.如权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述碱溶性树脂(A)包含质均分子量为2500以下的具有Cardo结构的树脂。3.如权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述光聚合性单体(B)包含具有羟基的多官能(甲基)丙烯酸酯。4.如权利要求1所述的感光性组合物，其包含多官能环氧化合物(F)。5.如权利要求1所述的感光性组合物，其中，所述遮光剂(D)包含有机黑色颜料(D2)。6.如权利要求1～5中任一项所述的感光性组合物，其中，所述透镜是由树脂形成的。7.如权利要求6所述的感光性组合物，其中，所述树脂为聚碳酸酯、环烯烃聚合物、环氧树脂或丙烯酸树脂。8.光...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤梓实，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：