通孔单元的确定方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本申请涉及集成电路技术领域，尤其涉及一种通孔单元的确定方法、装置、电子设备及存储介质，用于提高通孔单元的确定效率。主要方案为：从当前版图设计信息中识别出布线金属层的金属线宽度；计算所述布线金属层的金属线宽度与通孔单元库中各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差，所述通孔单元库中包含不同通孔单元信息分别对应不同的通孔单元金属层的金属宽度；根据宽度差最小的通孔单元金属层对应的通孔单元信息，确定所述布线金属层的通孔单元。孔单元。孔单元。

【技术实现步骤摘要】
通孔单元的确定方法、装置、电子设备及存储介质


[0001]本申请涉及集成电路
，尤其涉及一种通孔单元的确定方法、装置、电子设备及存储介质。

技术介绍

[0002]数字后端布局布线工具需要的技术文件包含各层工艺信息、金属线和通孔的布局布线规则等。现有技术中，通常在技术文件中定义通孔单元，通孔单元包括通孔尺寸，上下层金属线名称及其对通孔的包裹距离。在布线时，通过选择已定义的通孔单元来完成布线。随着工艺尺寸越来越小，集成度越来越高，设计规则也越来越复杂，定义的通孔单元类型越来越多，技术文件中需要定义大量的通孔单元以供布线时使用，定义通孔单元为人工定义，而且不同线宽需要定义不同包裹距离的通孔单元，随着线宽的增加，需要的通孔单元类型也大幅增加，数据量大，内容繁琐，容易出现定义出错、定义不全等问题，导致布线时选不到合适的通孔单元，最终影响工艺/芯片开发效率。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供一种通孔单元的确定方法、装置、电子设备及存储介质，用于提高通孔单元的确定效率。
[0004]第一方面，本申请实施例提供一种通孔单元的确定方法，该方法包括：从当前版图设计信息中识别出布线金属层的金属线宽度；计算所述布线金属层的金属线宽度与通孔单元库中各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差，所述通孔单元库中包含不同通孔单元信息分别对应不同的通孔单元金属层的金属宽度；根据宽度差最小的通孔单元金属层对应的通孔单元信息，确定所述布线金属层的通孔单元。
[0005]第二方面，本申请实施例还提供一种通孔单元的确定装置，该装置包括：识别模块，用于从当前版图设计信息中识别出布线金属层的金属线宽度；计算模块，用于计算所述布线金属层的金属线宽度与通孔单元库中各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差，所述通孔单元库中包含不同通孔单元信息分别对应不同的通孔单元金属层的金属宽度；确定模块，用于根据宽度差最小的通孔单元金属层对应的通孔单元信息，确定所述布线金属层的通孔单元。
[0006]第三方面，本申请实施例还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，存储器存储有处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，处理器与存储器之间通过总线进行通信，机器可读指令被所述处理器运行时执行第一方面的通孔单元的确定方法的步骤。
[0007]第四方面，本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介
质上存储有计算机程序，计算机程序被处理器运行时执行上述第一方面中的通孔单元的确定方法的步骤。
[0008]本申请实施例提供的一种通孔单元的确定方法、装置、电子设备及存储介质，首先从当前版图设计信息中识别出布线金属层的金属线宽度；然后计算布线金属层的金属线宽度与通孔单元库中各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差，最后根据宽度差最小的通孔单元金属层对应的通孔单元信息，确定布线金属层的通孔单元。由于本申请中的通孔单元库中包含不同通孔单元信息分别对应不同的通孔单元金属层的金属宽度，因此可通过计算布线金属层的金属线宽度与通孔单元库中各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差，可确定对应的通孔单元。相对于现有技术中人工定义通孔单元，本申请可基于布线金属层的金属线宽度自动确认对应的通孔单元，从而通过本专利技术可以提高通孔单元的确定效率。
[0009]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0011]图1示出了本申请实施例所提供的一种通孔单元的确定方法的流程图；图2示出了本申请实施例所提供的一种布线金属层的结构图；图3示出了本申请实施例所提供的一种通孔单元金属层的结构图；图4示出了本申请实施例所提供的一种通孔单元金属层内方孔的结构图；图5示出了本申请实施例所提供的一种通孔单元金属层内长孔的结构图；图6示出了本申请实施例所提供的通孔单元阵列示意图；图7示出了本申请实施例所提供的有切割层的通孔单元示意图；图8示出了本申请实施例所提供的一种通孔单元的确定装置的结构框图。
具体实施方式
[0012]本申请说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”和“第三”等是用于区别不同对象，而不是用于限定特定顺序。
[0013]在本申请实施例中，“示例性的”或者“例如”等词用于表示作例子、例证或说明。本申请实施例中被描述为“示例性的”或者“例如”的任何实施例或设计方案不应被解释为比其它实施例或设计方案更优选或更具优势。确切而言，使用“示例性的”或者“例如”等词旨在以具体方式呈现相关概念，便于理解。
[0014]在本申请的描述中，除非另有说明，“/”表示前后关联的对象是一种“或”的关系，例如，A/B可以表示A或B；本申请中的“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况，其中A，B可以是单数或者复数。并且，在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”是指两
个或多于两个。“以下至少一项(个)”或其类似表达，是指的这些项中的任意组合，包括单项（个）或复数项（个）的任意组合。例如，a，b，或c中的至少一项（个），可以表示：a，b，c，a
‑
b，a
‑
c，b
‑
c，或a
‑
b
‑
c，其中a，b，c可以是单个，也可以是多个。
[0015]在本申请实施例中，至少一个还可以描述为一个或多个，多个可以是两个、三个、四个或者更多个，本申请不做限制。
[0016]如图1所示，本申请实施例提供一种通孔单元的确定方法，本申请提供的通孔单元的确定方法可以包括：S10、从当前版图设计信息中识别出布线金属层的金属线宽度。
[0017]其中，所述布线金属层包括布线金属层顶层和布线金属底层。如图2所示，标号1为布线金属层顶层，w1为布线金属层顶层的金属线宽度；标号2为布线金属底层，w2为布线金属层底层的金属线宽度。
[0018]S20、计算所述布线金属层的金属线宽度与通孔单元库中各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差。
[0019]其中，所述通孔单元金属层包括：通孔单元金属顶层的金属宽度和通孔单元金属底层。如图3所示，标号11为通孔单元金属顶层，w11为通孔单元金属顶层的金属宽度；标号22为通孔单元金属底层，w22为通孔单元金属底层的金属宽度。
[0020]本实施例中的通孔单元库中包含不同通孔单元信息分别对应不同的通孔单元金属层的金属宽度，所述通孔单元信息包括通孔尺寸、通孔的包裹距离，以及通孔个数和通孔间距。其中，通孔的包裹距离包括对通孔四个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种通孔单元的确定方法，其特征在于，所述方法包括：从当前版图设计信息中识别出布线金属层的金属线宽度；计算所述布线金属层的金属线宽度与通孔单元库中各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差，所述通孔单元库中包含不同通孔单元信息分别对应不同的通孔单元金属层的金属宽度；根据宽度差最小的通孔单元金属层对应的通孔单元信息，确定所述布线金属层的通孔单元。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述布线金属层包括布线金属层顶层和布线金属底层，所述通孔单元金属层包括通孔单元金属顶层的金属宽度和通孔单元金属底层；所述计算所述布线金属层的金属线宽度与通孔单元库中各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差，包括：从所述通孔单元库中获取所述通孔单元金属顶层的金属宽度在所述布线金属层顶层的金属线宽度预置范围内的通孔单元金属层的金属宽度；和/或获取所述通孔单元金属底层的金属宽度在所述布线金属层底层的金属线宽度预置范围内的通孔单元金属层的金属宽度；计算所述布线金属层的金属线宽度与从所述通孔单元库中获取的各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述计算所述布线金属层的金属线宽度与从所述通孔单元库中获取的各通孔单元金属层的金属宽度分别对应的宽度差，包括：计算所述布线金属层顶层的金属线宽度与所述通孔单元金属顶层的金属宽度的第一差值绝对值；计算所述布线金属层底层的金属线宽度与所述通孔单元金属底层的金属宽度的第二差值绝对值；将所述第一差值绝对值和所述第二差值绝对值的和值确定为所述宽度差。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的方法，其特征在于，所述通孔单元信息包括通孔尺寸、通孔的包裹距离，以及通孔个数和通孔间距。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据宽度差最小的通孔单元金属层对应的通孔单元信息，确定所述布线金属层的通孔单元之前，所述方法还包括：确定所述布线金属层是否包含切割层；若所述布线金属层包含切割层，则获取通孔单元信息中通孔的包裹距离满足设计规则的通孔单元金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘泽，尹舒，翟翠红，
申请(专利权)人：深圳鸿芯微纳技术有限公司，
类型：发明
国别省市：