一种光学相控阵天线制造技术

本发明专利技术公开了一种光学相控阵天线，包括：耦合分束模块，耦合分束模块包括平板波导或阵列波导，耦合分束模块用于将输入激光耦合分束后输出；相位调制模块，用于对耦合分束模块输出的每一束光分别进行相位调制；输出耦合模块，用于将相位调制后的每束光进行相干耦合输出。通过实施本发明专利技术，经过三个模块对输入激光的联合调整，能够输出波面功率分布可调的光束，从而提高了该光学相控阵天线的输出光束的旁瓣抑制比。同时，该光学相控阵天线通过在耦合分束模块中设置平板波导或阵列波导，宽的波导结构或阵列波导排布可以高效的与输入激光的慢轴耦合，从而提高输出功率以及输入激光的利用率，并由此提高了该光学相控阵天线的耦合效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光学相控阵天线


[0001]本专利技术涉及光通信
，具体涉及一种光学相控阵天线。

技术介绍

[0002]激光雷达LiDAR(Laser detection and ranging,LiDAR)通过发射扫描激光束，接收反射回波实现距离或形貌的探测，在无人机，自动驾驶，环境监测等领域有着广泛的应用。激光雷达实现光束扫描的常见方案包括机械旋转，微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)及光学相控阵(Optical Phased Array,OPA)。
[0003]光学相控阵技术是指通过调制方式使阵列波导之间产生特定位相差，实现光束角度的旋转，与机械旋转和MEMS光束扫描方案相比，光学相控阵雷达不含转动元件，具有扫描速度快，扫描范围大，集成度高，可靠性高，成本低等优点。
[0004]光学相控阵中相位调制原理包括电光效应和热光效应等。其中，电光效应的实现可以采用液晶、酷钛酸铅镧陶瓷、铌酸锂等材料；热光效应可以采用硅基集成光学芯片等实现。由于硅基集成光学芯片与半导体CMOS工艺兼容，可实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学相控阵天线，其特征在于，包括：耦合分束模块，所述耦合分束模块包括平板波导或阵列波导，所述耦合分束模块用于将输入激光耦合分束后输出；相位调制模块，用于对耦合分束模块输出的每一束光分别进行相位调制；输出耦合模块，用于将相位调制后的每束光进行相干耦合输出。2.根据权利要求1所述的光学相控阵天线，其特征在于，所述平板波导为单输入多输出结构，所述平板波导的输出分束比以任意函数分布。3.根据权利要求1所述的光学相控阵天线，其特征在于所述阵列波导包括多个等间距或非等间距排列的波导，多个波导的宽度相同或不同。4.根据权利要求2或3所述的光学相控阵天线，其特征在于，所述耦合分束模块还包括：分束单元，所述分束单元连接所述平板波导或阵列波导，所述分束单元的分束比可调。5.根据权利要求4所述的光学相控阵天线，其特征在于，所述分束单元包括：级联的多个动态可调分束单元，所述动态可调分束单元包括MZI干涉仪或环...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘敬伟，翟珊，李文玲，
申请(专利权)人：国科光芯海宁科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：