一种多电极低温等离子体发生器制造技术

本实用新型专利技术涉及等离子发生器技术领域，尤其是一种多电极低温等离子体发生器，包括电极连接片、第一壳体及第二壳体，电极连接片固定在第一壳体的顶部，第一壳体内设有若干气道，第二壳体固定在第一壳体的底部，且与第一壳体之间夹装有第二电极，第二电极上与气道连通设有通孔，且第二电极的通孔内设有第二绝缘层，第二壳体的中空结构形成等离子体混合腔，第一壳体内固定有若干第一电极，第一电极的一端与电极连接片连接，第一电极的自由端套装有第一绝缘层，第一壳体上与至少一个气道连通设有进气孔，该结构生产、装配方便，多电极可密集布置，且互不影响，可以产生数倍的等离子体，适用于大面积等离子表面处理场合。于大面积等离子表面处理场合。于大面积等离子表面处理场合。

【技术实现步骤摘要】
一种多电极低温等离子体发生器


[0001]本技术涉及等离子发生器
，尤其是一种多电极低温等离子体发生器。

技术介绍

[0002]现有等离子体发生器，大多由单个电极、接地片、绝缘层和通气道等组成。单电极等离子体发生器能够产生少量等离子体，主要应用在微小区域处理场合。同时独立的单电极等离子体发生器不方便组合成大面积的等离子体处理设备，不能满足大面积等离子体表面处理的应用需求。

技术实现思路

[0003]为了克服上述现有问题的不足，本技术提供了一种多电极低温等离子体发生器。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多电极低温等离子体发生器，包括电极连接片、第一壳体及第二壳体，所述电极连接片固定在第一壳体的顶部，所述第一壳体内设有若干气道，所述第二壳体固定在第一壳体的底部，且与第一壳体之间夹装有第二电极，所述第二电极上与气道连通设有通孔，且所述第二电极的通孔内设有第二绝缘层，所述第二壳体的中空结构形成等离子体混合腔，所述第二电极的通孔均与等离子体混合腔连通，所述第一壳体内固定有若干第一电极，所述第一电极的一端与电极连接片连接，其另一端为自由端，且穿过气道伸入等离子体混合腔内，所述第一电极的自由端套装有第一绝缘层，所述第一壳体上设有至少一个进气孔，各所述气道与进气孔连通。
[0005]根据本技术的另一个实施例，进一步包括，所述第一电极为螺纹电极，所述第一电极的上端穿过电极连接片上的通孔，并通过电极固定螺母锁紧。
[0006]根据本技术的另一个实施例，进一步包括，所述第一壳体及第二壳体均为圆柱形，所述气道为轴线与第一壳体的轴线平行的圆孔，所述第二壳体的中孔形成等离子体混合腔。
[0007]根据本技术的另一个实施例，进一步包括，所述第二壳体的一端设有第二电极安装腔，所述第二电极安装在第二电极安装腔内。
[0008]根据本技术的另一个实施例，进一步包括，所述第一壳体或第二壳体上设有用于第二电极与接地线连接的接线孔。
[0009]本技术的有益效果是，该多电极集成结构生产、装配方便，多电极可密集布置，且互不影响，可以产生数倍的等离子体，适用于大面积等离子表面处理场合。
附图说明
[0010]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0011]图1是本技术的正式示意图；
[0012]图2是图1中A
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A处剖视示意图；
[0013]图3是图2中B
‑
B处剖视示意图；
[0014]图4是过第一电极轴线的剖视示意图；
[0015]图中，第一壳体1，气道11，气道连通孔12，进气孔13，中间气孔14，第二壳体2，等离子体混合腔21，第二电极安装腔22，电极连接片3，第二电极4，第二绝缘层41，第一电极5，第一绝缘层51，接线孔6，电极固定螺母7。
具体实施方式
[0016]如图1
‑
4是本技术的结构示意图，一种多电极低温等离子体发生器，包括电极连接片3、第一壳体1及第二壳体2，所述电极连接片3固定在第一壳体1的顶部，所述第一壳体1内设有若干气道11，所述第二壳体2固定在第一壳体1的底部，且与第一壳体1之间夹装有第二电极4，所述第二电极4上与气道11连通设有通孔，且所述第二电极4的通孔内设有第二绝缘层41，所述第二壳体2的中空结构形成等离子体混合腔21，所述第二电极4的通孔均与等离子体混合腔21连通，所述第一壳体1内固定有若干第一电极5，所述第一电极5的一端与电极连接片3连接，其另一端为自由端，且穿过气道11伸入等离子体混合腔21内，所述第一电极5的自由端套装有第一绝缘层51，所述第一壳体1上设有至少一个进气孔13，各所述气道11与进气孔13连通。
[0017]所述第二电极4为接地电极，与接地线连接。
[0018]所述第一绝缘层51通过热缩工艺包覆在第一电极5表面。
[0019]所述第一壳体1及第二壳体2的外形可以为方形或圆形，气道11阵列排布或沿轴线均布。
[0020]所述第一壳体1及第二壳体2均为绝缘材料制成，如PMMA。
[0021]所述气道11与进气孔13之间连通设有气道连通孔12。
[0022]所述第一壳体1中部可设置中间气孔14，所述中间气孔14与气道连通孔12连通，所述中间气孔14与进气孔13连通。保证各气道11内进入的气体流量均衡。
[0023]所述第二绝缘层41的下端最长可与第二壳体2的下端面平齐，其上端可伸入气道11内。
[0024]所述第一电极5用胶粘在第一壳体1的安装孔内。
[0025]优选的，所述第一电极5为螺纹电极，所述第一电极5的上端穿过电极连接片3上的通孔，并通过电极固定螺母7锁紧。
[0026]优选的，所述第一壳体1及第二壳体2均为圆柱形，所述气道11为轴线与第一壳体1的轴线平行的圆孔，所述第二壳体2的中孔形成等离子体混合腔21。
[0027]优选的，所述第二壳体2的一端设有第二电极安装腔22，所述第二电极4安装在第二电极安装腔22内。
[0028]优选的，所述第一壳体1或第二壳体2上设有用于第二电极4与接地线连接的接线孔6。
[0029]所述第二电极4可以为圆盘状，上面设有用于安装第二绝缘层41的圆孔。
[0030]使用时，设备上电后，先使氩气通过进气孔13进入第一壳体1的气道11内，然后给第一电极5和第二电极4间加载大约10kV的交流高压，在第一电极5和第二电极4之间的区域
便产生大量的等离子体，在氩气流动过程中，等离子体不断从气道11进入到等离子体混合腔21内，在等离子体混合腔21内经过充分混合后，对下方物品进行表面处理。
[0031]以上说明对本技术而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修改、变化或等效，但都将落入本技术的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多电极低温等离子体发生器，其特征是，包括电极连接片（3）、第一壳体（1）及第二壳体（2），所述电极连接片（3）固定在第一壳体（1）的顶部，所述第一壳体（1）内设有若干气道（11），所述第二壳体（2）固定在第一壳体（1）的底部，且与第一壳体（1）之间夹装有第二电极（4），所述第二电极（4）上与气道（11）连通设有通孔，且所述第二电极（4）的通孔内设有第二绝缘层（41），所述第二壳体（2）的中空结构形成等离子体混合腔（21），所述第二电极（4）的通孔均与等离子体混合腔（21）连通，所述第一壳体（1）内固定有若干第一电极（5），所述第一电极（5）的一端与电极连接片（3）连接，其另一端为自由端，且穿过气道（11）伸入等离子体混合腔（21）内，所述第一电极（5）的自由端套装有第一绝缘层（51），所述第一壳体（1）上设有至少一个进气孔（13），...

【专利技术属性】
技术研发人员：王辉，温燕杰，敖祥，杨光，
申请(专利权)人：常州赛锐仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：