一种新型串联电阻加热器制造技术

技术编号:36229726 阅读:34 留言:0更新日期:2023-01-04 12:29
本实用新型专利技术公开了一种新型串联电阻加热器,涉及电阻加热器技术领域。本实用新型专利技术包括多个加热器连接件,相邻的两个加热器连接件之间安装有连接块,且连接块与加热器连接件滑动连接,其中两个加热器连接件的底部均固定有支撑腿,支撑腿的底部固定有连接片,连接片的内部开设有连接电极孔,加热器连接件的中部位置处开设有一梯形槽体,梯形槽体为变电阻通槽。本实用新型专利技术通过加热器连接件形状的设置,使得加热器连接件能够根据单晶生长溶液内不同区域需求的热量不同,从而做到适应不同单晶溶液的发热量,且通过弹簧、卡接条和按动块之间的相互配合,使得该加热器能够便于安装和拆卸,进而使得该加热器维修方便和便于运输。进而使得该加热器维修方便和便于运输。进而使得该加热器维修方便和便于运输。

【技术实现步骤摘要】
一种新型串联电阻加热器


[0001]本技术属于电阻加热器
,特别是涉及一种新型串联电阻加热器。

技术介绍

[0002]硅片市场的竞争压力,使其单晶硅棒面临两高的压力,目前,单晶炉中的加热器多数为开槽式栅栏圆筒型。在结构设计方面,为了匹配电阻,通过在圆筒身上加工出依次分布的仅贯穿上端面或下端面的轴向槽,从而构成一对首尾相连的并联电阻条。在所用材质方面,多采用石墨或碳碳复合材料。然而,现有的该加热器电阻基本均匀,不能根据单晶生长溶液内不同区域需求的热量不同,而做到发热程度不一样,进而影响生产的质量,以及现有的加热器往往为一整体,使得工作人员对其进行维修时较为繁琐,且影响加热器的运输。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种新型串联电阻加热器,以解决现有的问题:现有的该加热器电阻基本均匀,不能根据单晶生长溶液内不同区域需求的热量不同,而做到发热程度不一样,进而影响生产的质量。
[0004]为解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:一种新型串联电阻加热器,包括多个加热器连接件,相邻的两个所述加热器连接件之本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型串联电阻加热器,包括多个加热器连接件(1),其特征在于:相邻的两个所述加热器连接件(1)之间安装有连接块(3),且所述连接块(3)与加热器连接件(1)滑动连接,其中两个所述加热器连接件(1)的底部均固定有支撑腿(4),所述支撑腿(4)的底部固定有连接片(5),所述连接片(5)的内部开设有连接电极孔(6);所述加热器连接件(1)的中部位置处开设有一梯形槽体。2.根据权利要求1所述的一种新型串联电阻加热器,其特征在于:所述梯形槽体为变电阻通槽(2),所述变电阻通槽(2)为倒梯形,所述变电阻通槽(2)用于改变加热器连接件(1)的形状与阻值。3.根据权利要求1所述的一种新型串联电阻加热器,其特征在于:所述连接块(3)的内部固定有固定柱(7),所述固定柱...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨昊贾爱爱马国财
申请(专利权)人:弘元新材料包头有限公司
类型:新型
国别省市:

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