【技术实现步骤摘要】
一种新型串联电阻加热器
[0001]本技术属于电阻加热器
,特别是涉及一种新型串联电阻加热器。
技术介绍
[0002]硅片市场的竞争压力,使其单晶硅棒面临两高的压力,目前,单晶炉中的加热器多数为开槽式栅栏圆筒型。在结构设计方面,为了匹配电阻,通过在圆筒身上加工出依次分布的仅贯穿上端面或下端面的轴向槽,从而构成一对首尾相连的并联电阻条。在所用材质方面,多采用石墨或碳碳复合材料。然而,现有的该加热器电阻基本均匀,不能根据单晶生长溶液内不同区域需求的热量不同,而做到发热程度不一样,进而影响生产的质量,以及现有的加热器往往为一整体,使得工作人员对其进行维修时较为繁琐,且影响加热器的运输。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种新型串联电阻加热器,以解决现有的问题:现有的该加热器电阻基本均匀,不能根据单晶生长溶液内不同区域需求的热量不同,而做到发热程度不一样,进而影响生产的质量。
[0004]为解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:一种新型串联电阻加热器,包括多个加热器连接件,相邻的两 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型串联电阻加热器,包括多个加热器连接件(1),其特征在于:相邻的两个所述加热器连接件(1)之间安装有连接块(3),且所述连接块(3)与加热器连接件(1)滑动连接,其中两个所述加热器连接件(1)的底部均固定有支撑腿(4),所述支撑腿(4)的底部固定有连接片(5),所述连接片(5)的内部开设有连接电极孔(6);所述加热器连接件(1)的中部位置处开设有一梯形槽体。2.根据权利要求1所述的一种新型串联电阻加热器,其特征在于:所述梯形槽体为变电阻通槽(2),所述变电阻通槽(2)为倒梯形,所述变电阻通槽(2)用于改变加热器连接件(1)的形状与阻值。3.根据权利要求1所述的一种新型串联电阻加热器,其特征在于:所述连接块(3)的内部固定有固定柱(7),所述固定柱...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨昊,贾爱爱,马国财,
申请(专利权)人:弘元新材料包头有限公司,
类型:新型
国别省市:
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