本实用新型专利技术给出了一种平面靶材更换装置；包括底座、升降台、升降机构、负压组件和若干支撑架；升降台设置在底座上侧，升降机构控制升降台相对底座上下移动，所述支撑架下端固定连接在升降台的一侧边缘，所述支撑架向升降台外侧延伸有两个上、下分布的托板，同一个支撑架的上下分布的两个托板之间具有容纳靶材背板的间隔；负压组件至少包括若干组真空吸盘，若干组真空吸盘与若干支撑架一一对应，每组真空吸盘设置在对应支撑架上，一组真空吸盘包括多个真空吸盘，并且同一组真空吸盘处于对应支撑架的间隔区域内，所述真空吸盘可以吸附靶材背板。此装置可以节省人力，并且在拆卸过程更加省力。移动方便，不再额外占用空间，在车上即可完成换靶操作。完成换靶操作。完成换靶操作。
【技术实现步骤摘要】
平面靶材更换装置
[0001]本技术属于靶材更换领域，特别涉及一种平面靶材更换装置。
技术介绍
[0002]目前磁控溅射领域中常选用平面靶材，靶材更换基本都是行车更换或人工移动更换，但行车造价太高对于中小型平面靶材部件来说太浪费。这种小型试验设备我们更多使用人工抬起来进行拆卸及安装，这种安装方式需要三个人左右才可以完成，不仅浪费人力，且在安装过程中不易操作。
[0003]虽然现有专利中也有涉及平面靶材更换装置的技术，如：专利号为CN202122910626.4的中国技术《一种便于更换靶材的磁控溅射装置》、专利号为CN202121054651.0的中国技术《辅助更换靶材工具及辅助更换靶材装置》都存在使用流程繁琐，移动不便等问题，不能解决实际更换靶材中所存在问题。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种结构合理、节约人工的平面靶材更换装置。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种平面靶材更换装置；
[0006]包括底座、升降台、升降机构、负压组件和若干支撑架；
[0007]升降台设置在底座上侧，升降机构控制升降台相对底座上下移动，所述支撑架下端固定连接在升降台的一侧边缘，所述支撑架向升降台外侧延伸有两个上、下分布的托板，同一个支撑架的上下分布的两个托板之间具有容纳靶材背板的间隔；
[0008]所述负压组件至少包括若干组真空吸盘，若干组真空吸盘与若干支撑架一一对应，每组真空吸盘设置在对应支撑架上，一组真空吸盘包括多个真空吸盘，并且同一组真空吸盘处于对应支撑架的间隔区域内，所述真空吸盘可以吸附靶材背板。
[0009]作为本平面靶材更换装置的优选，所述升降机构为升降油缸，升降油缸的缸体与升降台固定连接，升降油缸的活塞杆贯穿升降台且与底座上端面固定连接，升降油缸的活塞杆的伸缩方向与竖直方向一致。
[0010]作为本平面靶材更换装置的优选，本平面靶材更换装置还包括若干导向组件，所述导向组件包括导向套和导向杆，导向套固定连接在升降台上，导向套的内孔轴向为竖直方向，导向杆下端固定连接在底座上端面，导向杆上端贯穿升降台且与导向套配合。
[0011]作为本平面靶材更换装置的优选，同一组的多个真空吸盘沿竖直方向依次分布。
[0012]作为本平面靶材更换装置的优选，所述底座底部设有若干滚轮。
[0013]作为本平面靶材更换装置的优选，所述滚轮为万向轮。
[0014]作为本平面靶材更换装置的优选，所述负压组件还包括气泵，气泵通过软管分别与若干组真空吸盘相通。
[0015]作为本平面靶材更换装置的优选，本平面靶材更换装置还包括配重组件，所述配
重组件包括配重架和多块配重块，所述配重架固定连接在升降台上侧，所述配重架处于远离支撑架一侧的升降台一侧，多块配重块可以分布与配重架配合。
[0016]作为本平面靶材更换装置的优选，所述支撑架包括上架、下架和定位柱，下架底部固定连接在升降台上，上架与下架之间通过铰链铰接，铰链安装在靠近升降台中心位置一侧的上架与下架侧壁上，所述支撑架开有定位孔，定位孔上部贯穿上架的两侧端面且定位孔下端延伸至下架内，定位柱与定位孔配合，定位柱下端可贯穿上架伸入处于下架内部的定位孔底端。
[0017]作为本平面靶材更换装置的优选，靠近升降台中心位置一侧的下架侧壁上固定连接有限位块，翻转后的上架侧壁可以抵靠在限位块上端面上。
[0018]采用这样的结构后，本平面靶材更换装置可直接利用支撑架的托板在靶材背板底部支撑靶材，免去了拆卸时人工抬起，拆卸后直接原高度吸附在本平面靶材更换装置上，可在更换靶材后直接精准定位安装，避免了安装时再次人工抬起定位。操作简单，省力，一人即可完成换靶作业。连同背板固定在本平面靶材更换装置上，在本平面靶材更换装置上即可完成换靶过程。
[0019]相比之前人工抬出更换靶材，此装置可以节省两个人力，并且在拆卸过程更加省力。移动方便，不再额外占用空间，在车上即可完成换靶操作。安装过程定位精准，可直接快速的完成安装。不仅省力而且省时。实现一人即可快速完成换靶的操作。
附图说明
[0020]图1是本平面靶材更换装置实施例一的左视图。
[0021]图2是本平面靶材更换装置实施例一的主视图。
[0022]图3是本平面靶材更换装置实施例二中支撑架处于初始状态时的左视图。
[0023]图4是本平面靶材更换装置实施例二中上架翻转后的左视图。
具体实施方式
[0024]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施的限制。
[0025]本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0026]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0027]实施例一
[0028]请参阅图1至图2。
[0029]本平面靶材更换装置包括底座1、升降台2、升降机构、负压组件、两个支撑架3、配
重组件和四组导向组件。
[0030]底座1大体为长方体状，底座1底部设有四个滚轮11，四个滚轮11分布在底座1的四角位置。
[0031]升降台2设置在底座1上侧，升降机构控制升降台2相对底座1上下移动，支撑架3下端焊接固定在升降台2的前侧边缘，支撑架3上端向上伸出，支撑架3向升降台2前侧延伸有两个上、下分布的托板31，同一个支撑架3的上下分布的两个托板31之间具有容纳靶材背板的间隔。
[0032]导向组件包括导向套41和导向杆42，导向套41通过螺栓安装在升降台2上，导向套41的内孔轴向为竖直方向，导向杆42下端焊接在底座1上端面，导向杆42上端贯穿升降台2且与对应的导向套41配合。
[0033]负压组件包括气泵51和两组真空吸盘53，两组真空吸盘53与两组支撑架3一一对应，每组真空吸盘53设置在对应支撑架3上，一组真空吸盘53包括四个真空吸盘53，并且同一组真空吸盘53处于对应支撑架3的间隔区域内，真空吸盘53可以吸附靶材背板，气泵51通过软管52分别与两组真空吸盘53相通，同一组的四个真空吸盘53沿竖直方向依次分布。
[0034]升降机构为升降油缸6，升降油缸6的缸体与升降台2通过螺栓固定，升降油缸6的活塞杆贯穿升降台2且与底座1上端面通过螺栓固定，升降油缸6的活塞杆的伸缩方向本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平面靶材更换装置，其特征为：包括底座、升降台、升降机构、负压组件和若干支撑架；升降台设置在底座上侧，升降机构控制升降台相对底座上下移动，所述支撑架下端固定连接在升降台的一侧边缘，所述支撑架向升降台外侧延伸有两个上、下分布的托板，同一个支撑架的上下分布的两个托板之间具有容纳靶材背板的间隔；所述负压组件至少包括若干组真空吸盘，若干组真空吸盘与若干支撑架一一对应，每组真空吸盘设置在对应支撑架上，一组真空吸盘包括多个真空吸盘，并且同一组真空吸盘处于对应支撑架的间隔区域内，所述真空吸盘可以吸附靶材背板。2.根据权利要求1所述的平面靶材更换装置，其特征是：所述升降机构为升降油缸，升降油缸的缸体与升降台固定连接，升降油缸的活塞杆贯穿升降台且与底座上端面固定连接，升降油缸的活塞杆的伸缩方向与竖直方向一致。3.根据权利要求2所述的平面靶材更换装置，其特征是：还包括若干导向组件，所述导向组件包括导向套和导向杆，导向套固定连接在升降台上，导向套的内孔轴向为竖直方向，导向杆下端固定连接在底座上端面，导向杆上端贯穿升降台且与导向套配合。4.根据权利要求1所述的平面靶材更换装置，其特征是：同一组的多个真...
【专利技术属性】
技术研发人员：巩燕龙，郑琦林，许波，高峰，王齐齐，
申请(专利权)人：安徽方兴光电新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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