本实用新型专利技术公开了一种紫外激光投影镜头,包括第一壳体和辅助支撑装置。本实用新型专利技术通过设置了辅助支撑装置,在第一支架与第二支架配合下,可对紫外激光投影镜头进行预先支撑安装活动,而在连接板右侧内部所设置锁定组件配合下,可带动第二支架对紫外激光投影镜头进行夹持紧固,保证紫外激光投影镜头整体安装稳定性的加强,从而达到了紫外激光投影镜头快速安装,加强安装稳定性的优点,且在第二支架上端设置了防护组件,在驱动盘、连接片与齿轮间歇传动下,齿轮可带动防护盖间歇180
【技术实现步骤摘要】
一种紫外激光投影镜头
[0001]本技术涉及光学镜头相关领域,尤其涉及一种紫外激光投影镜头。
技术介绍
[0002]准分子激光退火制造多晶硅薄膜技术是适合工业化生产的先进技术,准分子激光的典型波长处于紫外波段,热效应不明显,且其脉宽窄,非晶硅熔化再结晶的过程非常短,对基板造成的热损伤小,从而降低了结晶过程对基板的要求,极大程度上降低了工业化生产的成本,为了提高生产质量和生产效率,采用光束整形系统对准分子激光原始光束进行处理,使非晶硅样品表面的光斑呈高横纵比,能量密度满足退火要求且分布均匀,需使用紫外激光投影镜头,实现高横纵比、能量密度符合要求且分布均匀的光斑的投影。
[0003]目前在进行紫外激光投影镜头的安装使用时,安装稳定性较低,且使用过程中,无法很好的保证投影镜头的稳定安装连接,导致无法很好的进行后续设备的快速对焦,来保证光斑投影的分布均匀,影响了后续紫外激光投影镜头的使用效率。
技术实现思路
[0004]因此,为了解决上述不足,本技术提供一种紫外激光投影镜头。
[0005]为了实现上述目的,本技术采取以下技术方案:一种紫外激光投影镜头,包括第一壳体,所述第一壳体上端相接有第二壳体,并且第二壳体上端左侧设有接线端,所述第二壳体上端与第三壳体相连接,并且第三壳体下端外侧通过加固环与第二壳体紧固连接,所述第三壳体上端中部安装有紫外激光投影镜头主体,还包括设于第二壳体外侧的辅助支撑装置,所述辅助支撑装置包括连接板、开设于连接板中部的中空槽、设于连接板上端左右两侧进行支撑配合的第一支架与第二支架、安装于连接板右侧内部进行锁定配合的锁定组件以及设于第二支架上端进行镜头覆盖防护的防护组件,所述第一支架与第二支架中部内侧与第二壳体相连接。
[0006]优选的,所述锁定组件包括相接于连接板右侧内部的锁定块、贴合于锁定块上端的弹簧片、相连于锁定块左侧下端的棘轮、设于棘轮后侧的凸轮、相接于凸轮左侧的移动架以及设于移动架上下两端左侧的压簧,所述棘轮中部与连接板转动连接,所述移动架左侧中部前端与第二支架相连接。
[0007]优选的,所述防护组件包括相连于第二支架上端的立柱、安装于立柱上端右侧的微型电机、相接于微型电机左侧的驱动盘、安装于驱动盘左侧下端内部的连接片、相对设于驱动盘上端左侧的齿轮、插接于齿轮下端前后两侧的凸轴以及与齿轮中部相连接的防护盖,所述防护盖左侧下端与立柱转动插接。
[0008]优选的,所述第一支架与第二支架沿连接板上端左右相对称设置,并且连接板四角均开设有通孔。
[0009]优选的,所述锁定块左侧倾斜处与棘轮外侧齿角相插接,并且棘轮中部后侧与凸轮相连接。
[0010]优选的,所述移动架上下两侧均与连接板右侧内部相滑动插接,并且移动架左侧中部前端延伸至连接板外侧。
[0011]优选的,所述驱动盘下端外侧开设有部分齿角,并且驱动盘所设置齿角可与齿轮前后两侧相对设置齿角相啮合连接。
[0012]优选的,所述凸轴沿齿轮下端前后对角线安装,并且两侧所述凸轴整体结构相一致。
[0013]本技术的有益效果:
[0014]优点1:本技术通过设置了辅助支撑装置,在第一支架与第二支架配合下,可对紫外激光投影镜头进行预先支撑安装活动,而在连接板右侧内部所设置锁定组件配合下,可带动第二支架对紫外激光投影镜头进行夹持紧固,保证紫外激光投影镜头整体安装稳定性的加强,从而达到了紫外激光投影镜头快速安装,加强安装稳定性的优点。
[0015]优点2:本技术通过在第二支架上端设置了防护组件,在驱动盘、连接片与齿轮间歇传动下,齿轮可带动防护盖间歇180
°
转动,来对紫外激光投影镜头主体未使用时,镜头的稳定覆盖防护,从而达到了紫外激光投影镜头主体镜头处自动覆盖防护的优点。
附图说明
[0016]图1是本技术结构示意图;
[0017]图2是本技术辅助支撑装置立体结构示意图;
[0018]图3是本技术锁定组件俯视结构示意图;
[0019]图4是本技术锁定组件立体部分结构示意图;
[0020]图5是本技术防护组件正视剖面结构示意图;
[0021]图6是本技术防护组件立体部分结构示意图。
[0022]其中:第一壳体
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1、第二壳体
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2、接线端
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3、第三壳体
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4、加固环
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5、紫外激光投影镜头主体
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6、辅助支撑装置
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7、连接板
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71、中空槽
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72、第一支架
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73、第二支架
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74、锁定组件
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75、防护组件
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76、锁定块
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751、弹簧片
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752、棘轮
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753、凸轮
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754、移动架
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755、压簧
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756、立柱
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761、微型电机
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762、驱动盘
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763、连接片
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764、齿轮
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765、凸轴
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766、防护盖
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767。
具体实施方式
[0023]为了进一步解释本技术的技术方案,下面通过具体实施例进行详细阐述。
[0024]请参阅图1,本技术提供一种紫外激光投影镜头,包括第一壳体1,第一壳体1上端相接有第二壳体2,并且第二壳体2上端左侧设有接线端3,第二壳体2上端与第三壳体4相连接,并且第三壳体4下端外侧通过加固环5与第二壳体2紧固连接,第三壳体4上端中部安装有紫外激光投影镜头主体6,还包括设于第二壳体2外侧的辅助支撑装置7。
[0025]请参阅图2,辅助支撑装置7包括连接板71、开设于连接板71中部的中空槽72、设于连接板71上端左右两侧进行支撑配合的第一支架73与第二支架74、安装于连接板71右侧内部进行锁定配合的锁定组件75以及设于第二支架74上端进行镜头覆盖防护的防护组件76,第一支架73与第二支架74中部内侧与第二壳体2相连接,第一支架73与第二支架74沿连接板71上端左右相对称设置,并且连接板71四角均开设有通孔,保证连接板71与外侧设备的快速连接。
[0026]请参阅图3
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4,锁定组件75包括转动连接于连接板71右侧内部的锁定块751、贴合于锁定块751上端进行弹力挤压的弹簧片752、相连于锁定块751左侧下端进行间歇锁定配合的棘轮753、相对连接于棘轮753后侧实现移动架755间歇推动对中的凸轮754、相接于凸轮754左侧进行往复移动带动配合的移动架755以及设于移动架755上下两端左侧用于移动架755快速复位的压簧756,棘轮753中部与连接板71转动连接,移动架755左侧中部前本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种紫外激光投影镜头,包括第一壳体(1),所述第一壳体(1)上端相接有第二壳体(2),并且第二壳体(2)上端左侧设有接线端(3),所述第二壳体(2)上端与第三壳体(4)相连接,并且第三壳体(4)下端外侧通过加固环(5)与第二壳体(2)紧固连接,所述第三壳体(4)上端中部安装有紫外激光投影镜头主体(6);其特征在于:还包括设于第二壳体(2)外侧的辅助支撑装置(7),所述辅助支撑装置(7)包括连接板(71)、开设于连接板(71)中部的中空槽(72)、设于连接板(71)上端左右两侧进行支撑配合的第一支架(73)与第二支架(74)、安装于连接板(71)右侧内部进行锁定配合的锁定组件(75)以及设于第二支架(74)上端进行镜头覆盖防护的防护组件(76),所述第一支架(73)与第二支架(74)中部内侧与第二壳体(2)相连接。2.根据权利要求1所述一种紫外激光投影镜头,其特征在于:所述锁定组件(75)包括相接于连接板(71)右侧内部的锁定块(751)、贴合于锁定块(751)上端的弹簧片(752)、相连于锁定块(751)左侧下端的棘轮(753)、设于棘轮(753)后侧的凸轮(754)、相接于凸轮(754)左侧的移动架(755)以及设于移动架(755)上下两端左侧的压簧(756),所述棘轮(753)中部与连接板(71)转动连接,所述移动架(755)左侧中部前端与第二支架(74)相连接。3.根据权利要求1所述一种紫外激光投影镜头,其特征在于:所述防护组件(76...
【专利技术属性】
技术研发人员:来明金,
申请(专利权)人:中山同宇精密光电有限公司,
类型:新型
国别省市:
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