一种摇盘序列机制造技术

本申请提出了一种摇盘序列机，涉及半导体加工设备领域，包括机架，所述机架上设置有摇盘安装架，所述摇盘安装架用于固定安装工作摇盘，所述机架上设置有第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置用于带动摇盘安装架在水平面上运动，所述第二驱动装置用于调整摇盘安装架的偏转角度，本申请具有节约人力，减少耗时的效果。耗时的效果。耗时的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种摇盘序列机


[0001]本申请涉及半导体加工设备领域，具体而言，涉及一种摇盘序列机。

技术介绍

[0002]半导体产业中，关于晶圆加工完成后切割成的晶粒，该些晶粒为微小的板体结构，并板体结构的相对两侧面分别为一P面及一N面，由于该两侧面的特性不同，故在将晶粒进行后续加工至如电路基板等其他元件上时，需以一正确的面向放置才能产生正确的效能。
[0003]相关技术中，关于此种辨识晶粒两侧面并将其翻至正确面的加工流程如下，通过一摇盘，该摇盘上具有多个晶粒孔，使用者通过手持摇盘并将晶粒洒在摇盘上后开始轻微晃动，由于该些晶粒孔内具有特殊的凹槽形状，因此当晶粒在晃动的过程中落入晶粒孔中，如果以正确的面向(N面朝下) 进入晶粒孔中，则便能够与该凹槽形状相配合，并稳固地设置于晶粒孔内，但如果以不正确的面向(P面朝下)进入晶粒孔，则会因为其形状与晶粒孔内的形状不合，因此无法稳固地设置于晶粒孔内，进而会在持续晃动的过程中再度被摇晃出晶粒孔，即通过此手动摇晃晶粒的过程，使其摇晃完成后能够使晶粒皆以正确的方向设置于晶粒孔内，达到将晶粒翻转至正确面向的功能。
[0004]但是，专利技术人认为，上述相关技术中存在以下缺陷，由于采用人力来摇晃摇盘，达到晶粒安装的目的，在此过程中，耗时较长，且给工作人员带来了较大的劳动负担，非常的不方便。

技术实现思路

[0005]为了节约人力，减少耗时，本申请提供一种摇盘序列机。
[0006]本申请提供的一种摇盘序列机，采用如下技术方案：
[0007]一种摇盘序列机，包括机架，所述机架上设置有摇盘安装架，所述摇盘安装架用于固定安装工作摇盘，所述机架上设置有第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置用于带动摇盘安装架在水平面上运动，所述第二驱动装置用于调整摇盘安装架的偏转角度。
[0008]通过采用上述技术方案，当需要对晶粒进行安装的时候，首先将摇盘安装至摇盘安装架上，随后将晶粒倾倒在摇盘上，首先启动第二驱动装置打动安装架偏转一定的角度，如40
°
，随后通过第一驱动装置带动摇盘在水平面上运动，随着摇盘的晃动，即可带动晶粒运动，进而实现晶粒的安装，随后再通过第二驱动装置带动摇盘朝向另一个方向偏转，此时再通过第一驱动装置带动摇盘晃动，重复以上步骤多次，即可将晶粒完全安装至摇盘上，在此过程中，无需工作人员手动晃动摇盘，操作简单便捷，大大节约了工作人员的人力，降低了耗时，提高了装置整体的实用性。
[0009]可选的，所述第一驱动装置包括相互平行的第一驱动板和第二驱动板，所述机架上设置有第一导轨，所述第一驱动板上设置有与第一导轨相适配的第一滑块，所述第一驱动板上设置有第二导轨，所述第二驱动板上设置有与第二导轨相适配的第二滑块，所述第
一导轨和第二导轨的导向方向相互垂直，所述机架上设置有驱动源，所述驱动源用于带动第二驱动板在水平面上滑动，所述摇盘安装架设置于第二驱动板上。
[0010]通过采用上述技术方案，启动驱动源，驱动源带动第二驱动板在水平面上滑动，在此过程中，通过第二导轨和第二滑块对第二驱动板的运动起到导向作用，通过第一导轨和第一滑块对第一驱动板的运动起到导向作用，此时第一导轨和第二导轨相交叉形成一个平面坐标系，进而能够使摇盘在水平面内做圆周运动，提高了晶粒的安装效率，进一步降低了安装晶粒的耗时。
[0011]可选的，所述驱动源设置为第一驱动电机，所述第一驱动电机固定设置在机架上，所述第一驱动板上开设有贯穿的通孔，所述第一驱动电机的输出轴穿过通孔与第二驱动板传动连接。
[0012]通过采用上述技术方案，启动第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴与第二驱动板传动连接，此时通过第一驱动电机即可带动第二驱动板在水平面上运动，结构简单可靠，具有较好的实用性。
[0013]可选的，所述第一驱动电机的输出轴与第二驱动板之间连接有偏心轮。
[0014]通过采用上述技术方案，启动第一驱动电机，第一驱动电机的输出轴打动偏心轮转动，随着偏心轮的转动即可带动第二驱动板在水平面内转动，由于第二驱动板的运动通过第二导轨进行导向，第一驱动板的运动通过第一导轨进行导向，进而能够实现摇盘在水平面上的转动，结构简单可靠，具有较好的实用性。
[0015]可选的，所述第二驱动板的顶部固定设置有支架，所述摇盘安装架与支架之间转动连接，所述第二驱动装置包括第二驱动电机和驱动块，所述驱动块固定设置在摇盘安装架的底部，所述第二驱动电机固定设置在机架上，所述第二驱动电机的输出轴与滑动块滑移连接，所述第二驱动电机设置为升降电机。
[0016]通过采用上述技术方案，当需要调整摇盘的偏转角度的时候，启动第二驱动电机，由于第二驱动电机为升降电机，第二驱动电机的输出轴即可在竖直方向上运动，进而带动滑动块偏转，随着滑动块的运动，进而达到带动摇盘安装架偏转的目的，结构简单可靠，成本较为低廉，使装置整体具有较好的实用性。
[0017]可选的，所述驱动块上开设有导向槽，所述导向槽内滑动设置有导向块，所述导向块与第二驱动电机的输出轴连接。
[0018]通过采用上述技术方案，启动第二驱动电机，第二驱动电机的输出轴在竖直方向上运动，进而带动导向块在导向槽内运动，在此过程中，导向块的侧壁始终与导向槽的内壁抵接，进而能够对第二驱动电机的输出轴的运动起到了良好的导向作用，提高了装置在使用过程中的可靠性。
[0019]可选的，所述导向块上同轴转动设置有辊筒，所述辊筒与导向槽的内壁滚动接触。
[0020]通过采用上述技术方案，当导向块在导向槽内运动的时候，通过辊筒将导向块与导向槽之间的滑动摩擦变为滚动摩擦，降低了导向块与导向槽至今的摩擦力，方便了导向块在导向槽内运动的同时，也降低了导向块与导向槽内壁之间的磨损。
[0021]可选的，所述机架上设置有摇盘固定块，所述摇盘固定块的侧壁用于与摇盘安装架抵接。
[0022]通过采用上述技术方案，在实际的使用过程中，通过摇盘固定块即可对摇盘进行
位置的加固，在一定程度上避免了摇盘在实际的使用过程中，出现位置的偏移和滑动，提高了装置在实际使用过程中的可靠性。
[0023]可选的，所述机架上设置有第一料仓和第二料仓，所述第一料仓与第二料仓分设在摇盘安装架两侧，所述第一料仓与机架之间可拆卸设置，所述机架上设置有第三驱动装置，所述第三驱动装置用于驱使第二料仓朝向靠近或远离摇盘安装架的方向运动。
[0024]通过采用上述技术方案，在工作过程中，首先将需要安装的晶粒倾倒在第一料仓或第二料仓内，随着摇盘安装架的偏转，摇盘也出现角度的偏转，随后，位于第一料仓或第二料仓内的晶粒即在重力的作用下发生运动，对摇盘上的凹槽进行填充，进而额按成晶粒的安装，在此过程中，根据不同的晶粒更换不同的第一料仓，提高了装置对于晶粒的适用范围，且在实际的工作过程中，第二料仓始终在第三驱动装置的作用下抵接在摇盘安装架上，即可在一定程度上对摇盘进行位置的限定，进一步提高了摇盘在工作过程中的稳定性。
[0025]可选的，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种摇盘序列机，包括机架，其特征在于：所述机架上设置有摇盘安装架，所述摇盘安装架用于固定安装工作摇盘，所述机架上设置有第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置用于带动摇盘安装架在水平面上运动，所述第二驱动装置用于调整摇盘安装架的偏转角度。2.根据权利要求1所述的一种摇盘序列机，其特征在于：所述第一驱动装置包括相互平行的第一驱动板和第二驱动板，所述机架上设置有第一导轨，所述第一驱动板上设置有与第一导轨相适配的第一滑块，所述第一驱动板上设置有第二导轨，所述第二驱动板上设置有与第二导轨相适配的第二滑块，所述第一导轨和第二导轨的导向方向相互垂直，所述机架上设置有驱动源，所述驱动源用于带动第二驱动板在水平面上滑动，所述摇盘安装架设置于第二驱动板上。3.根据权利要求2所述的一种摇盘序列机，其特征在于：所述驱动源设置为第一驱动电机，所述第一驱动电机固定设置在机架上，所述第一驱动板上开设有贯穿的通孔，所述第一驱动电机的输出轴穿过通孔与第二驱动板传动连接。4.根据权利要求3所述的一种摇盘序列机，其特征在于：所述第一驱动电机的输出轴与第二驱动板之间连接有偏心轮。5.根据权利要求3所述的一种摇盘序列机，其特征在于：所述第二驱动板的顶部固定设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿海强，
申请(专利权)人：滨州益特电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：