一种激光增益器件及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种激光增益器件及其制备方法，该器件由底部至顶部依次包括基板、键合层、激光增益晶体和包层，所述键合层由第一键合插层和第二键合插层键合得到，所述第二键合插层位于第一键合插层上方。其制备方法主要流程包括激光增益晶体与基板的异质键合、激光增益晶体的刻蚀以及包层的制备。本发明专利技术的激光增益器件使得激光在微米量级的激光晶体波导中传播，较高的光密度降低了激光振荡的阈值，提高了激光输出的斜效率；此外，本发明专利技术具有体积小、稳定性高、易于集成等优势，为集成片上光源提供了一种新的可能性。提供了一种新的可能性。提供了一种新的可能性。

【技术实现步骤摘要】
一种激光增益器件及其制备方法


[0001]本专利技术属于激光
，特别涉及一种激光增益器件及其制备方法。

技术介绍

[0002]高功率全固态固体激光器在工业加工、国防、科研等领域有着重要的应用。随着应用的发展，高功率固体激光器不断向着更高功率、更高效率、更高光束质量、更小体积、更紧凑结构方向发展，激光增益器件的加工是其中最为重要的一环。
[0003]目前常见的增益结构包含圆棒状，板条状和片状。圆棒状激光晶体是发展最成熟、应用最广泛的固体激光结构，其特点是增益介质呈圆棒状，工作时振荡/放大激光沿介质轴向行进，随着输出功率的增高，固体激光增益介质内部热效应严重降低了转换效率并破坏了光束质量。为解决这一问题需要引入水冷等散热模块，使得整个激光系统趋于复杂。中国专利CN101242071提供了一种三明治结构增益介质板条及其制备方法。为利于光学加工，其厚度为毫米量级。然而由于增益介质材料的热导率有限，采用该种结构的板条结构增益介质的板条激光器的输出功率受到增益介质中心温度上限的影响，继续增大泵浦时，输出功率将不再提高。r/>[0004]片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光增益器件，其特征在于，由底部至顶部依次包括基板、键合层、激光增益晶体和包层，所述键合层由第一键合插层和第二键合插层键合得到，所述第二键合插层位于第一键合插层上方。2.根据权利要求1所述的一种激光增益器件，其特征在于，所述基板为半导体材料制成的正方形，边长为3
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5寸，厚度为0.1mm
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1mm。3.根据权利要求2所述的一种激光增益器件，其特征在于，所述基板的材料为硅、碳化硅、氮化硅、金刚石、铟磷、砷化镓中的一种或几种。4.根据权利要求1所述的一种激光增益器件，其特征在于，所述激光增益晶体的材料包括钇铝石榴石、钒酸钇晶体、钒酸钆晶体、钒酸镥晶体、红宝石、绿宝石、蓝宝石中的一种或几种；所述激光增益晶体中包含有掺杂元素，所述掺杂元素包括Nd、Yb、Er、Tm、Ho中的一种或者几种。5.根据权利要求1所述的一种激光增益器件，其特征在于，所述第一键合插层和第二键合插层的材料包括环氧树脂、干膜、双苯环丁烯、聚酰亚胺、UV固化物，以及Si、SiO2、Al2O3、Si3N4，所述第一键合插层和第二键合插层的厚度为10μm
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1mm。6.根据权利要求1所述的一种激...

【专利技术属性】
技术研发人员：左致远，周戬，李涛，康汝燕，王晓杉，刘泽翰，程鹏鹏，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：