一种新型吸气剂测试系统技术方案

本实用新型专利技术涉及吸气剂测试技术领域，提供一种新型吸气剂测试系统，包括吸气剂样品室以及用于测试的抽真空模块、烘烤模块、加热激活模块、氢气控制模块和真空度测量模块；采用毛细管一端与吸气剂样品室直连的方式，在吸气剂样品加热激活后，控制氢气直接、匀速通过毛细管进入吸气剂样品室，跳过了现有技术中需要先往另一腔室通气再通过稳压的方式使氢气经过毛细管进入样品室的环节，不仅实现了对吸气速率和吸气量的测定，还解决了当前设备较为复杂导致的操作故障率高的问题，为评价吸气剂的能力提供了参数，同时大大简化了系统结构，使得操作上变得非常方便，且不容易出现故障。且不容易出现故障。且不容易出现故障。

【技术实现步骤摘要】
一种新型吸气剂测试系统


[0001]本技术涉及吸气剂测试
，尤其是涉及对吸气剂的测试和评价，具体地，是涉及一种新型吸气剂测试系统。

技术介绍

[0002]吸气剂是真空和气体纯化领域常用的材料，吸气剂广泛应用于真空电子器件中，为真空电子器件创造了良好的工作环境，稳定了真空电子器件的特性参量，对真空电子器件的性能及使用寿命有重要的影响。其中，针对吸气剂的测试能够评价各种材料所做成的吸气剂的好坏优劣，它能直观的给出吸气速率和吸气量两个参数，是衡量其性能最重要的手段。通常吸气剂测试系统是通过抽真空、烘烤除气后，对吸气剂进行加热激活，随后关闭真空挡板阀对样品室通入一微弱匀速的氢气流，一段时间后样品室内的真空度会上升，通过计算这个过程中的时间，可以用时间来表征吸气速率并计算出总的吸气量。
[0003]现有技术中的吸气剂测试系统较为复杂，在样品室对称的位置上有一个体积相同的腔室，并且两个腔室之间连接有两个真空挡板阀和一个毛细管，在做吸气剂测试时，需要对另一腔室通氢气，然后通过毛细管进气到样品室。这种方法能够实现吸气剂的测试评价，但是该系统需要三本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型吸气剂测试系统，其特征在于，包括吸气剂样品室(3)以及用于测试的抽真空模块(1)、烘烤模块(2)、加热激活模块(4)、氢气控制模块(5)和真空度测量模块(6)；所述吸气剂样品室(3)用于测试样品的放置，所述吸气剂样品室(3)通过管道连接进行抽真空的抽真空模块(1)，所述烘烤模块(2)用于罩设在吸气剂样品室(3)外部进行加热除气，所述加热激活模块(4)设置于吸气剂样品室(3)内用于加热激活测试样品，所述氢气控制模块(5)用于控制进入吸气剂样品室(3)内的氢气流速，真空度测量模块(6)用于测量吸气剂样品室(3)以及抽真空模块(1)的真空度。2.根据权利要求1所述的新型吸气剂测试系统，其特征在于，所述抽真空模块(1)包括旋片机械泵(101)、真空压差阀(102)、复合分子泵(103)、真空挡板阀(104)以及抽真空管道组成，所述旋片机械泵(101)、真空压差阀(102)、复合分子泵(103)、真空挡板阀(104)通过抽真空管道依次串联并与所述吸气剂样品室(3)连通。3.根据权利要求2所述的新型吸气剂测试系统，其特征在于，所述吸气剂样品室(3)通过抽真空管道连接复合分子泵(103)，所述复合分子泵(103)通过抽真空管道连接旋片机械泵(101)；所述真空压差阀(102)安装在复合分子泵(103)与旋片机械泵(101)之间的抽真空管道上，所述真空挡板阀(104)安装在吸气剂样品室(3)与复合分子泵(103)之间的抽真空管道上。4.根据权利要求1所述的新型吸气剂测试系统，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶圣双，
申请(专利权)人：合肥独领智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：