一种真空传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空传送装置，包括支架以及设置于所述支架上的旋转部，所述旋转部上端设有水平移动部；所述旋转部包括与支架转动连接的旋转轴，所述支架上设有用于带动所述旋转轴转动的动力组件；水平移动部包括真空气缸，所述真空气缸下端与所述旋转轴顶部固定连接，所述真空气缸连接有气源，所述真空气缸的活塞端连接有机械手臂，本实用新型专利技术通过支架组件、旋转组件、移动组件与传感器组件的组合使用，特别是在移动组件上使用了真空气缸，可以将晶圆从蒸镀工艺单元平移到下个工艺单元，并将晶圆旋转180度，达到降低成本、传动结构简单、易于维护与低发尘的目的。易于维护与低发尘的目的。易于维护与低发尘的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种真空传送装置


[0001]本技术涉及传送设备
，具体是一种真空传送装置。

技术介绍

[0002]OLED显示技术是一种利用有机电自发光二极管进行发光的显示技术，具有主动发光、响应速度快、能耗低与发光效率高等特点，是继CRT、LCD之后第三代显示技术。硅基OLED微型显示主要由IC制造技术和OLED技术组成，采用单晶硅晶圆作为有源驱动背板，利用OLED蒸镀技术在单晶硅晶圆上进行蒸镀形成功能层。现有的OLED蒸镀工艺一般从蒸镀工艺单元到下个工艺单元时需要经过装载—>预处理
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>蒸镀
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>移出腔室
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>下个工艺单元等流程，由于现有的OLED蒸镀生产线加工对象是玻璃基板，在从蒸镀工艺单元进入到下个工艺单元时，玻璃的放置没有方向性要求。而在晶圆上想要通过蒸镀工艺形成OLED器件时，由于需要确定晶圆的晶体生长方向，晶圆上开有确定方向的V形缺口进行方向定位，在各个工艺单元中统一要求晶圆的V形缺口对准各单元的中心。基于晶圆的这个特殊性，在完成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空传送装置，其特征在于，包括支架(200)以及设置于所述支架(200)上的旋转部(300)，所述旋转部(300)上端设有水平移动部(400)；所述旋转部(300)包括与支架(200)转动连接的旋转轴(330)，所述支架(200)上设有用于带动所述旋转轴(330)转动的动力组件(310)；水平移动部(400)包括真空气缸(420)，所述真空气缸(420)下端与所述旋转轴(330)顶部固定连接，所述真空气缸(420)连接有气源，所述真空气缸(420)的活塞端连接有机械手臂(430)。2.根据权利要求1所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述支架(200)包括安装板(230)，所述安装板(230)上端固定连接有安装支柱(220)，所述安装支柱(220)顶端固定连接有安装法兰(210)。3.根据权利要求2所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述动力组件(310)包括与所述旋转轴(330)同轴布置的电机(311)，所述电机(311)的输出端连接有减速器(312)，所述减速器(312)与所述安装板(230)固定连接，所述减速器(312)的输出端通过连轴器(320)与所述旋转轴(330)的底端固定连接。4.根据权利要求2所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述安装法兰(210)下端固定连接有磁流体(340)，所述磁流体(340)上端设有支撑套(350)，所述旋转轴(330)穿过所述磁流体(340)、安装法兰(210)、支撑套(350)并与所述磁流体(340)、安装法兰(210)、支撑套(350)转动连接。5.根据权利要求1所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述旋转轴(330)的顶端固定连接有连接法兰(360)，所述连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文浩，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：