一种光刻机用高精度水冷冷水机组制造技术

本实用新型专利技术提供了一种光刻机用高精度水冷冷水机组，机组设有水循环管路和制冷剂循环管路，制冷剂循环管路包含有依次连接的蒸发器、气液分离器、压缩机、加液阀、冷凝器、过滤器、储液器、膨胀阀；水循环管路与蒸发器相连；制冷剂循环管路还包含有PID调节旁通装置，PID调节旁通装置包含有旁通管路、电磁阀、温度传感器和PID控制器，电磁阀、温度传感器均与PID控制器相连，旁通管路的一端连接在加液阀和冷凝器之间，另一端连接在膨胀阀和蒸发器之间，电磁阀设置在旁通管路上，温度传感器设置在蒸发器内，PID控制器根据温度传感器检测的温度来打开电磁阀。采用PID调节旁通装置进行调节，使水循环管路的输出水温可以达到恒定设定温度，同时减少了功耗。同时减少了功耗。同时减少了功耗。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机用高精度水冷冷水机组


[0001]本技术涉及光刻机设备冷却领域，尤其涉及一种光刻机用高精度水冷冷水机组。

技术介绍

[0002]随着芯片行业对加工进度的需求提升，光刻机设备功能越来越先进，加工精度也逐步提高，为保证设备持续、安全、稳定的运行，需要保证设备内部温度在规定的范围内。光刻机用高精度水冷冷水机组则是专门为此类设备开发。由于在设备使用过程中，加工机械的使用情况复杂，可能随时伴随着仪器的开停，从而使负载不断地变化，传统的定频空调无法适应相应的温度变化而出现短暂停机状态，从而会导致温度波动变化较大的情况，对设备的运行造成影响。变频空调虽然可以适应相应的负载变化，但是机组的投入与维护成本较为高昂。

技术实现思路

[0003]针对上述现有技术中的不足，本技术提供一种高精度水冷冷水机组，集成能量调节系统，大幅增加了客户的使用便利性，降低设备投入成本，提高运行的可靠性，使机组既可以安全稳定的运行，还可以节省投入成本。具体方案如下：
[0004]一种光刻机用高精度水冷冷水机组，所述水冷冷水机组设有一套水循环管路和制冷剂循环管路，所述制冷剂循环管路包含有依次连接构成回路的蒸发器、气液分离器、压缩机、加液阀、冷凝器、过滤器、储液器、膨胀阀，压缩机为定频压缩机；
[0005]所述水循环管路与蒸发器相连，由所述蒸发器为所述水循环管路内部液体进行降温；
[0006]所述制冷剂循环管路还包含有PID调节旁通装置，所述PID调节旁通装置包含有旁通管路、电磁阀、温度传感器和PID控制器，电磁阀、温度传感器均与PID控制器相连，旁通管路的一端连接在加液阀和冷凝器之间，另一端连接在膨胀阀和蒸发器之间，电磁阀设置在旁通管路上，温度传感器设置在蒸发器内，PID控制器根据温度传感器检测的温度来打开电磁阀，将压缩机排气管的部分制冷剂旁通至蒸发器入口处，电磁阀开启预设时间后由PID控制器关闭电磁阀，电磁阀一个开关周期的开启时间和关闭时间的总和为15秒，且温度传感器超过预设温度越高，电磁阀开启的时间越长。
[0007]进一步的，压缩机配置有高低压控制器。
[0008]进一步的，储液器和膨胀阀之间的管路上设有视液镜。
[0009]进一步的，所述水冷冷水机组安装在底板上，底板配置有壳体将所述水冷冷水机组罩设在内。
[0010]本技术由于采用了以上技术方案，使其具有以下有益效果：
[0011]1、可以在客户带有水泵的系统中使用；
[0012]2、运行中制冷系统采用PID调节旁通装置进行能量调节，可以达到0
‑
10kW的能量
调节，使水循环管路的输出水温可以达到恒定的设定温度，同时减少了功耗。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本技术提供的一种光刻机用高精度水冷冷水机组的装配完成图；
[0015]图2为图1在另一视角下的示意图；
[0016]图3为本技术的工作原理图。
具体实施方式
[0017]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0018]为了彻底理解本技术，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本技术的技术方案。本技术的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本技术还可以具有其他实施方式。
[0019]参照图1所示，本技术提供了一种光刻机用高精度水冷冷水机组，所述水冷冷水机组设有一套水循环管路30和制冷剂循环管路，所述水制冷循环系统包含有依次连接构成回路的蒸发器9、气液分离器8、定频的压缩机13、加液阀1、冷凝器5、过滤器2、储液器7、膨胀阀14。
[0020]所述制冷剂循环管路还包含有PID调节旁通装置，所述PID调节旁通装置包含有旁通管路15、电磁阀11、温度传感器和PID控制器，电磁阀11、温度传感器均与PID控制器相连，旁通管路15的一端连接在加液阀1和冷凝器5之间，另一端连接在膨胀阀14和蒸发器9之间，电磁阀11设置在旁通管路15上，温度传感器设置在蒸发器9内，PID控制器根据温度传感器检测的温度来打开电磁阀11，将压缩机13排气管的部分制冷剂旁通至蒸发器9入口处，PID控制器进行PID控制的逻辑为：根据出水温度与设定温度进行比对，控制电磁阀11的开启频率：当出水温度>设定温度时，直接关闭电磁阀11；当出水温度≤设定温度时，开启电磁阀11，开启时间随着温差变大越来越频繁。电磁阀11一个开关周期的开启时间和关闭时间的总和为15秒，且温度传感器超过预设温度越高电磁阀11开启的时间越长，例如：电磁阀11开启5秒，则关闭15秒；电磁阀11开启10秒，则关闭10秒。
[0021]在一可选的实施例中，压缩机13配置有高低压控制器12。
[0022]在一可选的实施例中，储液器7和膨胀阀14之间的管路上设有视液镜4，方便我们查看管路内部制冷液的液面高度。
[0023]在一可选的实施例中，所述水冷冷水机组安装在底板10上，底板10配置有壳体将所述水冷冷水机组罩设在内。在底板10上设有机柜6，在机柜内安装有制冷剂循环管路的控制系统3以及PID控制器。
[0024]以上对本技术的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本技术并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本技术的实质内容。因此，凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本技术技术方案保护的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机用高精度水冷冷水机组，所述水冷冷水机组设有一套水循环管路(30)和制冷剂循环管路，其特征在于，所述制冷剂循环管路包含有依次连接构成回路的蒸发器(9)、气液分离器(8)、压缩机(13)、加液阀(1)、冷凝器(5)、过滤器(2)、储液器(7)、膨胀阀(14)，压缩机(13)为定频压缩机；所述水循环管路(30)与蒸发器(9)相连，由所述蒸发器(9)为所述水循环管路(30)内部液体进行降温；所述制冷剂循环管路还包含有PID调节旁通装置，所述PID调节旁通装置包含有旁通管路(15)、电磁阀(11)、温度传感器和PID控制器，电磁阀(11)、温度传感器均与PID控制器相连，旁通管路(15)的一端连接在加液阀(1)和冷凝器(5)之间，另一端连接在膨胀阀(14)和蒸发器(9)之间，电磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛帅，钱路遥，董琳，宋杨，陈永良，
申请(专利权)人：上海海立特种制冷设备有限公司，
类型：新型
国别省市：