一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置，它包括箱体（1），其特征在于：在箱盖（1a）上安装有一组风扇（3）,在箱体（1）内设有涵道（2），涵道（2）下方设有的与清洗托盘（4）对应配合的卡接装置（5），卡接装置（5）下方的箱体（1）内设有清洗槽（6），在清洗槽（6）内设有与清洗托盘（4）对应分布升降台（7），在清洗槽（6）上还设有与清洗托盘（4）对应配合的到风道装置（8），在清洗槽（6）一侧的箱体（1）上设有抽风扇（8）。本发明专利技术整个清洗进程中，可在保证清洗效果的同时，实现溶剂与操作人员的隔离，采用风干方式取代高温烘干方式，规避了安全隐患。规避了安全隐患。规避了安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置
[0001]
：本专利技术涉及清洗设备领域，具体地说就是一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置。
[0002]
技术介绍
：随着检漏试验需求量的增大，常规人工清洗电路表面氟油的方式已表现出了清洗效率低、清洗效果差的弊端，且存在安全隐患。现对清洗方式进行改良，设计了一种半密封式单向送风的清洗装置，其清洗流程包括主要分为浸洗
→
风干。
[0003]因粗检漏试验采用的溶液为全氟溶液，不具有挥发特性，在试验结束后，其会在被检验的电路表面大量残留，为了不对其他后续检验事项造成影响，需要对粗检过的电路进行清洗。
[0004]清洗氟油最常用的溶剂为易挥发、易燃的脂溶性溶剂——无水乙醇，常规的清洗方式，第一步需将电路浸入盛放有无水乙醇的器皿中，静置片刻，待氟油充分溶解扩散至无水乙醇中，将电路取出；第二步将电路放置在鼓风装置下，鼓风装置吹出高温空气，对电路表面进行风干。
[0005]
技术实现思路
：本专利技术就是为了克服现有技术中的不足，提供一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置。
[0006]本申请提供以下技术方案：一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置，它包括箱体，其特征在于：在箱盖上安装有一组风扇,在箱体内设有涵道，涵道下方设有的与清洗托盘对应配合的卡接装置，卡接装置下方的箱体内设有清洗槽，在清洗槽内设有与清洗托盘对应分布升降台，在清洗槽上还设有与清洗托盘对应配合的到风道装置，在清洗槽一侧的箱体上设有抽风扇。
[0007]在上述技术方案的基础上，还可以有以下进一步的技术方案：在所述箱盖上设有一组与涵道连通的导风孔。
[0008]所述的风道装置包括一组导风板，在导风板上设有一组风道，在风道上设有一组依次连通的突出腔，在每个突出腔内均设有导风块，所述的一组导风板上还穿设有一组连接柱，在连接柱的两端连接与导风板对应配合的护板，在护板上穿设有导杆，导杆两端与箱壁连接，在箱壁上设有与护板连接配合的顶升装置。
[0009]所述的一组突出腔分布在风道的左右两侧为间隔分布。
[0010]所述的导风块为上圆下尖的倒置的水滴状。
[0011]在所述抽风扇一端连接有排气通道。
[0012]在所述的每块护板上连接有两个输出方向相反的顶升装置。
[0013]专利技术优点：本专利技术整个清洗进程中，可在保证清洗效果的同时，实现溶剂与操作人员的隔离，采用风干方式取代高温烘干方式，有效的规避了安全隐患。
[0014]附图说明：
图1是本专利技术的立体示意图；图2是图1去除风扇后的示意图；图3是图2去除箱盖后的示意图；图4是图3去除涵道后的示意图；图5是图4中风道装置的结构示意图；图6是组成风道装置中的导风块的结构示意图；图7是清洗槽和升降台以及清洗托盘的结构示意图；图8是升降台升、降时的示意图；图9是卡接装置安装位置示意图；图10是抽风扇安装位置示意图；图11是清洗槽和升降台和风道装置安装到底层箱体内时的示意图。
[0015]具体实施方式：如图1
‑
11所示，一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置，它包括箱体1，所述的箱体1包括底层箱体1b，在底层箱体1b上垒加有第二层箱体1c，在底层箱体1b和第二层箱体1c对应的止口上安装有密封垫（图中未显示），在第二层箱体1c上铰接有箱盖1a。
[0016]在箱盖1a上安装有一组风扇3,在风扇3下方的箱盖1a上设有一组进风孔1d，在风孔1d下方的第二层箱体1c内安装有涵道2。在涵道2下端的出风口的两侧分别安装有一个卡接装置5。所述的卡接装置5包括壳体5a，在壳体5a内安装气缸，在气缸的输出轴端部安装一端伸出壳体5a的锁舌5b。所述锁舌5b与下文提到的清洗托盘4的提柄4a对应配合。
[0017]在底层箱体1b底部安装有清洗槽6，在清洗槽6内储存有无水乙醇，在无水乙醇液面下方的清洗槽6底部安装有升降台7，在升降台7为现有技术中的多级升降油缸，其结构为现有技术所以这里不在赘叙。在每级升降台上均安装有与相邻级对应配合的防漏密封环。
[0018]在清洗槽6一侧的底层箱体1b上安装有抽风扇9，抽风扇的一端连接有图中未显示的排气通道。在清洗槽6上方的箱体内安装有可移动的风道装置8。
[0019]所述的风道装置8包括一组导风板8a，在导风板8a上设有一组内陷的风道8b，在每条风道8b上设有一组依次连通有内陷导风板8a上的突出腔8c，所述的一组突出腔8c分布在风道8b的左右两侧为间隔分布。所述突出腔8c上端部为圆弧形，下端部逐渐收窄，在每个突出腔8c均分布有一个导风块8d，导风块8d的上表面与导风板8a的表面齐平，所述导风块8d为上圆下尖的倒置的水滴状。通过导风块、突出腔的设置使得风从导风板上方的进风口进入风道后，顺利的从导风板下方的出风口流出风道。但由于突出腔的圆弧形上端部和水滴状的导风块存在，从风板下方的出风口流入的风大部分就会在这二者的引导下回转向下流动，使得只有微量的风可以从导风板上方的进风口溢出，可以忽略不计。
[0020]在所述的一组导风板8a的四角处的安装孔8t中还分别穿设有一根连接柱（图中未显示），在连接柱的两端均连接与导风板8a对应配合的护板8g。从而将一组导风板连接在一起形成一个矩形状的结构。在护板8g的厚度端面上还穿设有沿箱体1宽段方向分布的导杆8h，导杆8h两端与箱壁连接固定。
[0021]在导杆8h下方的护板8g上还设有两个与导杆8h平行分布的连接孔8k，两个连接孔8k开口端分布在护板8g的左、右两侧，在每个连接孔8k的对应的箱壁上均连接有一个顶升
装置8e（气缸或油缸），顶升装置8e的输出端通过连接板与连接孔8k的一端连接，两个顶升装置8e的输出方向是相反。
[0022]通过顶升装置8e的输出使得一组导风板形成矩形状结构可以沿导杆移动。所述连接孔8k的直径大于顶升装置8e缸体的直径，以便顶升装置8e缸体可以缩入连接孔8k内。由于连接孔8k开口端分布在护板8g的左、右两侧，所以每块护板8g上连接的两个顶升装置8e的输出方向是相反的。
[0023]工作过程：打开箱盖将承载有待清洗集成电路的清洗托盘4放置在一组导风板形成的矩形状结构的上表面上，这时该结构位于涵道出风口正下方，而后关闭箱盖。启动卡接装置5，使得锁舌伸出，插入到清洗托盘4提柄下方，而后顶升装置启动带动矩形状结构移动从而漏出清洗槽6，而后升降台7升起，直至最高级托住清洗托盘4，而后启动卡接装置5缩回锁舌5b，接着升降台7下降将清洗托盘4浸入到无水乙醇的液面之下静置15s。而升降台7再次升起至最高点，卡接装置5控制锁舌5b插入到清洗托盘4提柄下方，而后升降台缩回，同时顶升装置带动一组导风板形成矩形状结构移动到清洗托盘4下方，而后锁舌5b缩回，启动风扇3吹风15s将清洗托盘4内的集成电路风干，而后风扇3停机，最后打开箱盖1a取出集成电路即可。在整个清洗过程中抽风扇8始终都在工作。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置，它包括箱体（1），其特征在于：在箱盖（1a）上安装有一组风扇（3）,在箱体（1）内设有涵道（2），涵道（2）下方设有的与清洗托盘（4）对应配合的卡接装置（5），卡接装置（5）下方的箱体（1）内设有清洗槽（6），在清洗槽（6）内设有与清洗托盘（4）对应分布升降台（7），在清洗槽（6）上还设有与清洗托盘（4）对应配合的到风道装置（8），在清洗槽（6）一侧的箱体（1）上设有抽风扇（8）。2.根据权利要求1中一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置，其特征在于：在所述箱盖（1a）上设有一组与涵道（2）连通的导风孔（1d）。3.根据权利要求1中一种集成电路表面残留氟油的清洗干燥装置，其特征在于：所述的风道装置（8）包括一组导风板（8a），在导风板（8a）上设有一组风道（8b），在风道（8b）上设有一组依次连通的突出腔（8c），在每个突...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨凯，刘宇，潘廷龙，高思鹏，
申请(专利权)人：华东光电集成器件研究所，
类型：发明
国别省市：