激光发射组件及数据采集装置制造方法及图纸

本申请提供了一种激光发射组件及数据采集装置，其中，激光发射组件包括：从下到上依次设置的衬底、N型接触层、N型掺杂层、多对量子阱层和激光发射层；激光发射层为分散式布拉格反射器；分散式布拉格反射器刻蚀指定深度，或者，在分散式布拉格反射器上设置一滤光层；通过刻蚀指定深度的散式布拉格反射器或者滤光层对激光发射组件的出光口的出射光的波长进行过滤，以实现初步数据分流。本申请可以实现在数据采集端的数据分流功能，减少后端利用封装或是软件进行信息分流，减少工艺时间，增加产能。增加产能。增加产能。

【技术实现步骤摘要】
激光发射组件及数据采集装置


[0001]本申请涉及半导体
，尤其是涉及一种激光发射组件及数据采集装置。

技术介绍

[0002]激光雷达，是一种集激光、全球定位系统和惯性导航系统三种技术于一身的系统，用于获得点云数据；现有技术中，诸如激光雷达这种数据采集设备，通常会将采集的数据直接发送到相应的处理器，以使处理器进行后续数据加密或分流等处理，而在数据采集端没有初步分流功能。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种激光发射组件及数据采集装置，可以实现在数据采集端的数据分流功能，减少后端利用封装或是软件进行信息分流，减少工艺时间，增加产能。
[0004]第一方面，本申请实施例提供一种激光发射组件，激光发射组件包括：从下到上依次设置的衬底、N型接触层、N型掺杂层、多对量子阱层和激光发射层；激光发射组件激光发射层为分散式布拉格反射器；激光发射组件分散式布拉格反射器刻蚀指定深度，或者，在分散式布拉格反射器上设置一滤光层；通过刻蚀指定深度的散式布拉格反射器或者滤光层对激光发射组件的出光口的出射光的波长进行过滤，以实现初步数据分流。
[0005]在本申请较佳的实施方式中，上述滤光层包括：指定折射率的透镜。
[0006]在本申请较佳的实施方式中，上述透镜以SU8光阻液为材料制成。
[0007]在本申请较佳的实施方式中，上述指定深度可使出光口波长变为原波长的1/4至3/4波长。
[0008]在本申请较佳的实施方式中，上述衬底为GaAs基板。
[0009]在本申请较佳的实施方式中，上述N型掺杂层为GaAs层或AlGaAs层。
[0010]在本申请较佳的实施方式中，上述激光发射层为GaAs层或AlGaAs层。
[0011]第二方面，本申请实施例还提供一种数据采集装置，数据采集装置包括：多个如第一方面所述的激光发射组件；多个激光发射组件中的散式布拉格反射器分别对应刻蚀不同深度；或者，多个激光发射组件中的滤光层采用不同折射率的透镜。
[0012]在本申请较佳的实施方式中，上述多个激光发射组件组成1X4，或2X4数据采集阵列，以进行数据分流传输。
[0013]在本申请较佳的实施方式中，上述数据采集装置的出射光对应波长在835nm
‑
865nm之間。
[0014]本申请实施例提供的激光发射组件及数据采集装置中，激光发射组件包括：从下到上依次设置的衬底、N型接触层、N型掺杂层、多对量子阱层和激光发射层；激光发射组件激光发射层为分散式布拉格反射器；激光发射组件分散式布拉格反射器刻蚀指定深度，或者，在分散式布拉格反射器上设置一滤光层；本申请实施例通过刻蚀指定深度的散式布拉格反射器或者滤光层对激光发射组件的出光口的出射光的波长进行过滤，可以实现初步数
据分流，即可以实现在数据采集端的数据分流功能，减少后端利用封装或是软件进行信息分流，减少工艺时间，增加产能。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本申请实施例提供的一种激光发射组件的结构示意图；
[0017]图2为本申请实施例提供的多种刻蚀深度示意图；
[0018]图3为本申请实施例提供的另一种激光发射组件的结构示意图；
[0019]图4为本申请实施例提供的多种透镜示意图；
[0020]图5为本申请实施例提供的一种数据采集装置的示意图。
具体实施方式
[0021]下面将结合实施例对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0022]现有技术中，诸如激光雷达这种数据采集设备，通常会将采集的数据直接发送到相应的处理器，以使处理器进行后续数据加密或分流等处理，而在数据采集端没有初步分流功能。
[0023]基于此，本申请实施例提供一种激光发射组件及数据采集装置，可以实现在数据采集端的数据分流功能，减少后端利用封装或是软件进行信息分流，减少后端工艺时间，增加产能。
[0024]为便于对本实施例进行理解，首先对本申请实施例所公开的一种激光发射组件进行详细介绍。
[0025]图1为本申请实施例提供的一种激光发射组件的结构示意图，如图所示，激光发射组件包括：从下到上依次设置的衬底11、N型接触层12、N型掺杂层13、多对量子阱层14和激光发射层15；该激光发射层15为分散式布拉格反射器；激光发射组件分散式布拉格反射器刻蚀指定深度；通常设置不同刻蚀深度的激光发射层，可以过滤不同波长的数据，以实现数据的初步分流。
[0026]图1中还示出了该激光发射组件的制备过程，如第一步制备好多个层，然后进行刻蚀、氧化、金属化、最后对分散式布拉格反射器刻蚀指定深度，得到最终的激光发射组件。
[0027]上述指定深度可以根据数据传输的实际需求进行不同的设定，可以使出光口波长变为原波长的1/4至3/4波长。参见图2所示，本申请实施例示出了8种不同的刻蚀深度对应的激光发射层。
[0028]上述衬底11(Substrate):可以为GaAs基板；
[0029]N型接触层12(N
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Contact
‑
layout):可以为N型金属适配公函数生长层。
[0030]N型掺杂层13(N
‑
DBR):可以为N型掺杂堆栈方式的GaAs层或AlGaAs层。
[0031]多对量子阱层14(MQW):用来提高复合。
[0032]激光发射层15(P
‑
DBR):即散式布拉格反射器，通过蚀刻不同深度的P
‑
DBR，使得出射光受到折射系数影响，产生波段与强度的差异，输出不同的信号，以作为初步数据分流或加密的方式。
[0033]此外，上述结构中还有金属层和氧化层，在图中未示出。
[0034]本申请实施例提供的激光发射组件中，激光发射组件包括：从下到上依次设置的衬底、N型接触层、N型掺杂层、多对量子阱层和激光发射层；激光发射组件激光发射层为分散式布拉格反射器；激光发射组件分散式布拉格反射器刻蚀指定深度，通过刻蚀指定深度的散式布拉格反射器对激光发射组件的出光口的出射光的波长进行过滤，可以实现初步数据分流，即可以实现在数据采集端的数据分流功能，减少后端利用封装或是软件进行信息分流，减少工艺时间，增加产能。
[0035]图3为本申请实施例提供的另一种激光发射组件的结构示意图，如图所示，激光发射组件包括：从下到上依次设置的衬底11、N型接触层12、N型掺杂层13、多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光发射组件，其特征在于，所述激光发射组件包括：从下到上依次设置的衬底、N型接触层、N型掺杂层、多对量子阱层和激光发射层；所述激光发射层为分散式布拉格反射器；所述分散式布拉格反射器刻蚀指定深度，或者，在所述散式布拉格反射器上设置一滤光层；通过刻蚀指定深度的散式布拉格反射器或者所述滤光层对所述激光发射组件的出光口的出射光的波长进行过滤，以实现初步数据分流。2.根据权利要求1所述的激光发射组件，其特征在于，所述滤光层包括：指定折射率的透镜。3.根据权利要求2所述的激光发射组件，其特征在于，所述透镜以SU8光阻液为材料制成。4.根据权利要求1所述的激光发射组件，其特征在于，所述指定深度可使出光口波长变为原波长的1/4至3/4波长。5.根据权利要求1所述的激光发射组件，其特征在于，所述衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：李承远，
申请(专利权)人：深圳市德明利光电有限公司，
类型：发明
国别省市：