【技术实现步骤摘要】
功率器件量产老化测试用老化测试设备
[0001]本技术涉及一种测试设备，尤其是一种功率器件量产老化测试用老化测试设备。
技术介绍
[0002]近些年，业内对功率器件的可靠性测试提出了新的需求，其中，功率器件的可靠性测试一般为对功率器件的老化测试，功率器件的老化测试一般包括对功率器件的HTRB测试。下面以老化测试时的HTRB测试为例，对功率器件测试的具体情况进行说明。
[0003]HTRB(High Temperature Reverse Bias)为高温反偏试验，是一种加速寿命试验。试验，时给待测功率器件施加特定的电学条件，然后将待测功率器件在特定温度的高温环境中(如125℃)放置特定时间。通过给待测器件施加这类恶劣的环境以及电学应力，以考察待测功率器件的特性是否会出现退化，从而来判定或评估待测功率器件的品质。
[0004]以单管IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)器件IGBT1为例，其HTRB 测试原理如图1所示，待测功率器件放置于环境试验箱内，由环境试验箱提供温度...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种功率器件量产老化测试用老化测试设备，包括用于提供老化测试环境的老化测试箱以及用于支撑并配置功率器件老化测试的测试支撑夹具，所述测试支撑夹具能置于老化测试箱内；其特征是：所述测试支撑夹具包括若干依次堆叠分布的器件测试支撑连接单元，其中，所述器件测试支撑连接单元包括支撑底板(6)、设置于支撑底板(6)上的PCB板(7)、若干设置于PCB板(7)上的器件测试工位(11)以及用于向PCB板(7)上所有器件测试工位(11)加载器件测试电学信息的测试连接接头；一待测功率器件装配于PCB板(7)上相应的器件测试工位(11)，装配于器件测试工位(11)上的待测功率器件所在PCB板(7)上的测试连接接头电连接；多个测试支撑连接单元堆叠形成测试支撑夹具且置于老化测试箱内后，老化测试箱内的箱内测试连接头(5)与器件测试支撑连接单元的测试连接接头适配电连接，以驱动装配于器件测试工位(11)上待测功率器件在老化测试箱所提供的老化测试环境下进行所需的老化测试。2.根据权利要求1所述功率器件量产老化测试用老化测试设备，其特征是：对测试连接支撑夹具内依次堆叠的器件测试支撑连接单元，相邻的器件测试支撑连接单元的测试连接接头适配电连接；测试支撑夹具置于老化测试箱内后，通过任一测试支撑连接单元的测试连接接头与老化测试箱内的箱内测试连接头(5)适配电连接。3.根据权利要求2所述功率器件量产老化测试用老化测试设备，其特征是：所述测试连接接头包括板体排线接头(9)以及转接排线接头(10)，板体排线接头(9)与转接排线接头(10)并联连接；对测试支撑夹具内两相邻的器件测试支撑连接单元，一测试连接接头的板体排线接头(9)与另一测试连接接头的转接排线接头(10)电连接。4.根据权利要求2所述功率器件量产老化测试用老化测试设备，其特征是：所述测试连接接头包括板体排线接头(9)以及单元间连接探针组(16)，板体排线接头(9)与单元间连接探针组(16)电连接；对测试支撑夹具内两相邻的器件测试支撑连接单元，上方器件测试支撑连接单元的单元间连接探针组(16)与下方器件测试支撑连接单元的单元间连接探针组(16)正对准并电连接。5.根据权利要求1至4任一项所述功率器件量产老化测试用老化测试设备，其特征是：对PCB板(7)上的任一器件测试工位(11)，所述器件测试工位(11)包括用于对待测功率器件支撑定位的器件支撑定位块以及用于与所述待测功率器件适配电连接的测试工位器件探针(12)，其中，待测功率器件通过器件支撑定位块装配于所述器件测试工位(11)，并通过测试工位器件探针(12)与测试连接接头电连接。6.根据权利要求1至4任一项所述功率器件量产老化测试用老化测试设备，其特征是：在所述支撑底板(6)上设置若干均匀对称分布的堆叠导向柱(8)，所述堆叠导向柱(8)垂直分布于支撑底板(6)上，堆叠导向柱(8)的导向柱第一端位于支撑底板(6)的下方，堆叠导向柱(8)的导向柱第二端位于支撑底板(6)的上方；...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙浩强，孙元鹏，吕岩，张文亮，佘超群，
申请(专利权)人：山东阅芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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