一种超高纯铜合金铸锭的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种超高纯铜合金铸锭的制备方法，所述制备方法包括：首先，将超高纯铜合金料头依次进行切割处理和清洁处理，得到预处理料头；然后，将预处理料头进行真空熔炼处理，得到合金液并制备分析铸锭，计算合金元素在分析铸锭中的损耗率；最后，将预处理料头再次进行真空熔炼处理，根据损耗率在真空熔炼处理中补加合金元素补充料，得到超高纯铜合金铸锭。本发明专利技术提供的制备方法能够控制铜合金铸锭中合金元素的含量，避免杂质元素超标，降低合金元素的损耗率。素的损耗率。

【技术实现步骤摘要】
一种超高纯铜合金铸锭的制备方法


[0001]本专利技术涉及铜合金铸造
，具体涉及一种超高纯铜合金铸锭的制备方法。

技术介绍

[0002]超高纯铜合金靶材是先进集成电路制造工艺中重要的互连线材料，也是高品质芯片生产中不可或缺的原材料。其中，超高纯铜合金靶材包括铜锰合金或铜铝合金，铜锰合金中锰的重量百分比一般为0.1
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1.0％，铜铝合金中铝的重量百分比一般为0.1
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1.0％，超高纯铜合金的纯度一般为99.9999％以上。超高纯铜合金靶材通常采用真空熔炼和铸造的方法生产，在铸锭生产的过程中，铸锭的头部和尾部会切掉，切掉的头部和尾部称为料头。由于超高纯铜合金原料价格昂贵，废弃的料头若不加以利用，不仅造成了资源浪费，还会增加生产成本。
[0003]CN113737011A公开了一种超高纯铜锰合金的制备方法，采用电子束熔炼制备超高纯铜锰合金，包括如下步骤：超高纯铜原料和锰原料经酸洗并混合后进行热等静压得到超高纯铜锰合金坯料，坯料经电子束熔炼并引锭得到超高纯铜锰合金。
[0004]CN105296本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超高纯铜合金铸锭的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：(1)将超高纯铜合金料头依次进行切割处理和清洁处理，得到预处理料头；(2)将步骤(1)得到的所述预处理料头进行真空熔炼处理，得到合金液；(3)将步骤(2)得到的所述合金液冷却，得到分析铸锭，对分析铸锭中合金元素的含量进行分析，计算得到合金元素在分析铸锭中的损耗率；(4)将步骤(1)得到的所述预处理料头重复步骤(2)的操作，然后根据步骤(3)得到的损耗率计算合金元素补充料的添加量，并将合金元素补充料加入到合金液中，依次进行静置和浇注，得到所述超高纯铜合金铸锭。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述超高纯铜合金料头包括铜锰合金和/或铜铝合金；优选地，所述超高纯铜合金料头的纯度≥99.9999％。3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述切割处理后，超高纯铜合金料头的长度≤300mm；优选地，所述切割处理后，超高纯铜合金料头的宽度≤300mm。4.根据权利要求1
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3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述清洁处理包括依次进行的酸洗、水洗和乙醇洗；优选地，所述酸洗包括：将超高纯铜合金料头浸入酸液中，浸泡；优选地，所述酸洗的酸液包括稀硝酸溶液；优选地，所述酸液的质量浓度为8
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12％；优选地，所述酸洗中浸泡的时间为30
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60min；优选地，所述水洗包括：将超高纯铜合金料头浸入水中，浸泡；优选地，所述水洗中浸泡的时间为5
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15min；优选地，所述乙醇洗包括：将超高纯铜合金料头浸入乙醇中，浸泡；优选地，所述乙醇洗中浸泡的时间为5
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15min。5.根据权利要求1
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4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述真空熔炼处理包括依次进行的第一抽真空、第一升温、第二抽真空、第二升温、第三抽真空和保温。6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述第一抽真空的终点真空度为0.04Pa至0.06Pa；优选地，所述第一升温的终点温度为900
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1000℃；优选地，所述第二抽真空的终点真空度为0.01Pa至0.03Pa；优选地，所述第二升温的终点温度为1300
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1400℃；优选地，所述第三抽真空的终点真空度为0...

【专利技术属性】
技术研发人员：易骛文，姚力军，潘杰，
申请(专利权)人：宁波微泰真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：