【技术实现步骤摘要】
一种样品内部缺陷的检测方法、装置、设备和存储介质
[0001]本申请涉及X衍射测试
,具体涉及一种样品内部缺陷的检测方法、装置、设备和存储介质。
技术介绍
[0002]碲锌镉作为化学晶体,是一种极具工程意义和战略意义的功能材料。随着碲锌镉工艺的快速发展及完善,碲锌镉后道外延生长工艺对碲锌镉的成品质量的要求逐渐提高。
[0003]而碲锌镉是人工用碲、锌及镉三种单质(包含其他微量添加物质)进行化合生长而成的单晶体,因此其内部会存在一些结构上的缺陷,若直接将碲锌镉进行成品加工,得到的碲锌镉成品质量较低,不利于碲锌镉成品的后期应用,因此需要对碲锌镉进行内部缺陷的检测,从而可以根据具体的内部缺陷对碲锌镉进行成品加工。
技术实现思路
[0004]有鉴于此,本申请提供了一种样品内部缺陷的检测方法、装置、设备和存储介质,用于解决若直接将碲锌镉进行成品加工,得到的碲锌镉成品质量较低,不利于碲锌镉成品的后期应用,因此需要对碲锌镉进行内部缺陷的检测,从而可以根据具体的内部缺陷对碲锌镉进行成品加工的问题。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种样品内部缺陷的检测方法,其特征在于,包括:对预先获取的X射线衍射仪进行光路调整,得到调整后的X射线衍射仪;利用调整后的X射线衍射仪对预先获取的碲锌镉样品进行测量,得到所述碲锌镉样品的目标欧米伽值;其中,所述碲锌镉样品放置在所述X射线衍射仪的样品台上;利用所述目标欧米伽值确定预先获取的相机的目标位置,并将所述相机固定在所述目标位置;分别将所述碲锌镉样品移动至预设的各个拍照位置,并利用所述相机对所述碲锌镉样品进行拍照,得到所述碲锌镉样品的各个目标图片;分别对每个所述目标图片进行图像处理,得到各个第一图像;将各个所述第一图像进行拼接,得到所述碲锌镉样品的内部缺陷结构图。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述利用调整后的X射线衍射仪对预先获取的碲锌镉样品进行测量,得到所述碲锌镉样品的目标欧米伽值,包括:获取所述碲锌镉样品的标准欧米伽值和标准2θ值;基于所述标准欧米伽值和标准2θ值,设置所述X射线衍射仪的Rocking curve扫描范围和步进;利用所述调整后的X射线衍射仪,按照所述Rocking curve扫描范围和步进对所述碲锌镉样品进行测量,得到所述碲锌镉样品的第一欧米伽值;基于所述第一欧米伽值,对所述碲锌镉样品进行角度矫正;利用所述调整后的X射线衍射仪,按照所述Rocking curve扫描范围和步进对角度矫正后的碲锌镉样品进行测量,得到所述碲锌镉样品的目标欧米伽值。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述分别对每个所述目标图片进行图像处理,得到各个第一图像,包括:针对每一个目标图片,对该目标图片进行灰度转化,得到与该目标图片对应的灰度图;将该目标图片对应的灰度图进行数字化处理,得到该目标图片的每一个像素的灰度值;将该目标图片每一个像素的灰度值进行规整组合,得到与该目标图片对应的第一图像。4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述将该目标图片对应的灰度图进行数字化处理,得到该目标图片的每一个像素的灰度值,包括:对该目标图片对应的灰度图进行采样,得到采样图片;将所述采样图片在正交基下展开,并进行傅里叶变换,得到各个目标系数;将每一个所述目标系数作为该目标图片的每一个像素的灰度值。5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述将该目标图片每一个像素的灰度值进行规整组合,得到与该目标图片对应的第一图像,包括:将该目标图片每一个像素的灰度值进行数字等价转换,得到每一个像素的量化值;将该目标图像各个像素的量化值进行组合,得到与该目标图像对应的数字图像;将所述数字图像进行二值化,得到与该目标图片对应的第一图像。6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述将所述数字图像进行二值化,得到与该目标图片对应的第一图像,包括:
技术研发人员:许军,游阿峰,赵倩,王鑫,李想,
申请(专利权)人:安徽光智科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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