【技术实现步骤摘要】
一种高导热氮化铝陶瓷的制备方法
[0001]本专利技术涉及陶瓷材料
,尤其涉及一种高导热氮化铝陶瓷的制备方法。
技术介绍
[0002]氮化铝是一种综合性能优良的新型陶瓷材料,具有优良的导热性和电绝缘性、低的介电常数和介电损耗、无毒以及与硅相匹配的热膨胀系数等一系列优良特性,被认为是新一代高集成度半导体基片和电子器件封装的理想材料,受到了国内外研究者的高度重视。理论上,氮化铝的热导率为320W/(m
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K),但是实际生产出的氮化铝陶瓷热导率与理论值相差甚远,一般在180W/(m
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K)以下。例如专利申请号:CN200910190563.0公开了一种氮化铝陶瓷的制备方法及采用该方法制备的氮化铝陶瓷,制备方法包括以下步骤:(1)称取氮化铝粉、烧结助剂、增塑剂、粘结剂、润滑剂混合配制成混合物;(2)对步骤(1)获得的混合物依次进行过筛、加压造粒、过筛,获得氮化铝陶瓷原料;(3)将步骤(2)获得的氮化铝陶瓷原料,放入模具中进行热压,获得氮化铝坯;(4)将步骤(3)获得的氮化铝坯在450~600 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高导热氮化铝陶瓷的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)复合粉体的制备:将氟化铵、氯化钙溶于质量分数为8~15%的醋酸水溶液中,升温至40~60℃搅拌反应2~4h,接着加入醋酸钇、氯化钕、醋酸锆以及柠檬酸,继续搅拌1~3h,再加入淀粉磷酸钠并调节溶液体系的pH值至5.5~6.5,然后加入氮化铝粉体继续搅拌1~3h,旋转蒸发得到粘稠物,将粘稠物经过烘干、充分研磨后进行煅烧,得到复合粉体;(2)陶瓷浆料的制备:将复合粉体、溶剂、分散剂、脱泡剂加入球磨机中进行初次球磨,然后加入粘合剂和增塑剂进行二次球磨,再采用真空脱泡机对球磨后的物料进行真空脱泡,得到陶瓷浆料;(3)流延成型:将步骤(2)得到的陶瓷浆料通过流延机流延成型,得到生坯带,再根据成品的尺寸和形状将生坯带进行冲压,得到生坯片;所述流延机包括工作台,所述工作台的两侧分别设有放卷辊和收卷辊,所述放卷辊和收卷辊之间依次设有流延单元和烘干单元,所述流延单元包括浆料箱和刮刀,所述浆料箱的顶部设有进料口,所述浆料箱的侧壁下端设有出料口,所述浆料箱内设有搅拌轴,所述搅拌轴上安装有螺旋叶片,所述浆料箱的侧壁外部设有驱动电机,所述搅拌轴的端部贯穿浆料箱的侧壁与驱动电机的输出端传动连接,所述搅拌轴的下方设有若干个挡板,所述挡板将浆料箱内部分割并形成S形通道,所述刮刀包括第一刮刀和第二刮刀,所述第一刮刀和第二刮刀的顶部设有刮刀安装座,所述刮刀安装座的顶部两侧设有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆通过机架与工作台固定连接,所述烘干单元包括烘干箱,所述烘干箱通过隔板分隔成第一烘干室、第二烘干室和第三烘干室,所述第一烘干室前后侧内壁上设有若干个第一加热板,所述第二烘干室前后侧内壁上设有若干个第二加热板,所述第三烘干室前后侧内壁上设有若干个第三加热板,所述第一烘干室、第二烘干室和第三烘干室的温度逐渐升高;(4)等静压成型:将步骤(3)所得的生坯片放入冷等静压机中进行压制,压力为210~250MPa,保压时间为8~16min;(5)排...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨大胜,施纯锡,
申请(专利权)人:福建华清电子材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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