一种镀膜银钯结构制造技术

本实用新型专利技术涉及玻璃镀膜设备领域，具体来说是一种镀膜银钯结构，包括银钯本体；所述银钯本体包括端部银钯块、中部银钯块以及桥接银钯块；所述端部银钯块通过桥接银钯块与中部银钯块对接；所述银钯结构由端部银钯块、中部银钯块以及桥接银钯块拼接而成；本实用新型专利技术公开了一种镀膜银钯结构，本实用新型专利技术公开的银钯本体由多个银钯块拼接而成，方便后续使用时根据需要改变银钯本体的尺寸，方便在实际中使用。方便在实际中使用。方便在实际中使用。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜银钯结构


[0001]本技术涉及玻璃镀膜设备领域，具体来说是一种镀膜银钯结构。

技术介绍

[0002]磁控溅射靶材是通过磁控溅射镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。
[0003]镀膜玻璃是一种在玻璃表面涂制一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足特定要求。
[0004]根据功能划分为两大类：阳光控制镀膜玻璃和低辐射镀膜玻璃.
[0005]随着镀膜技术的发展，强磁场平面阴极的应用越来越广泛，在追求磁场强度的同时，又要求更长的银靶使用周期和更好的溅射均匀性。
[0006]所以一种能够改善现有强磁场平面阴极的技术缺陷，提供一种高利用率的镀膜银靶结构。

技术实现思路

[0007]本技术的目的是提供一种组合式的镀膜银钯结构。
[0008]为了实现上述目的，本技术采用的技术方案为：
[0009]一种镀膜银钯结构，包括银钯本体；
[0010]所述银钯本体包括端部银钯块、中部银钯块以及桥接银钯块；
[0011]所述端部银钯块通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜银钯结构，其特征在于，包括银钯本体；所述银钯本体包括端部银钯块、中部银钯块以及桥接银钯块；所述端部银钯块通过桥接银钯块与中部银钯块对接；所述银钯结构由端部银钯块、中部银钯块以及桥接银钯块拼接而成。2.根据权利要求1所述的一种镀膜银钯结构，其特征在于，所述端部银钯块的厚度不小于中部银钯块的厚度。3.根据权利要求1所述的一种镀膜银钯结构，其特征在于，所述端部银钯块包括第一银钯块和第二银钯块；所述桥接银钯块包括第一桥接块和第二桥接块；所述第一银钯块与第二银钯块分布在镀膜银钯结构的两端；所述第一银钯块通过第一桥接块与中部银钯块相连接，所述第二银钯块通过第二桥接块与中部银钯块相连接；所述中部银钯块包括多个单体银钯块，相邻单体银钯块依次对接。4.根据权利要求3所述的一种镀膜银钯结构，其特征在于，所述单体银钯块、第一银钯块、第二银钯块、第一桥接块以及第二桥接块上设有用于安装的安装孔。5.根据权利要求3所述的一种镀膜银钯结构，其特征在于，所述第一桥接块包括第一桥接块体，...

【专利技术属性】
技术研发人员：董清世，姜兴胜，范文辉，
申请(专利权)人：信义玻璃江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：