一种中红外探测结构及多波段可调的吸波结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种中红外探测结构，包括由下往上依次层叠的硅层、金层、氧化铝层和金阵列层，所述金阵列层上开设有周期性分布的狭缝，所述狭缝将金阵列层分割成多个周期阵列的长方形金阵元，所述金阵列层沿阵列方向的两端设有半个狭缝，所述狭缝用于泄露金阵列层和氧化铝层激发的表面等离激元共振产生的局部能量，以平衡整个探测结构的吸收率/辐射率，所述氧化铝层作为一个电容器，通过调整氧化铝层的厚度和长方形金阵元的阵列周期的来红移吸收峰；本实用新型专利技术提供的中红外探测结构的尺寸小，厚度薄，结构简单，能实现更微小化的加工，更利于实际工业生产中的集成化组装。更利于实际工业生产中的集成化组装。更利于实际工业生产中的集成化组装。

【技术实现步骤摘要】
一种中红外探测结构及多波段可调的吸波结构


[0001]本技术属于电磁波吸收与辐射
，具体是涉及到一种中红外探测结构及多波段可调的吸波结构。

技术介绍

[0002]由于微纳光子学器件产生的等离激元共振以及FP腔谐振等物理效应的作用，通过改变微纳结构的材料、结构和尺寸，可以改变物体的本征辐射率。进而实现可调控的红外吸收与热辐射，甚至可以在同一个器件中集成两种不同波段的兼容伪装。比如，杜凯凯等人(Kaikai Du et al.)提出了一种基于超材料吸收器的可选择性的微测辐射热计，超材料吸收器为微测辐射计的热分布调整和监测提供了一种新的方法，在光热成像系统中显示出了前景，因此微纳结构在中
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远红外特定的波长区域对红外探测方面有巨大的贡献。朱桓正等人(Zhu H et al.)利用多层膜(包括ZnS/Ge)和超表面(包括Cu
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ITO
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Cu)等微纳结构实现了多光谱伪装、波长选择性发射和微波吸收，为多功能兼容隐身提供了思路。
[0003]但是，这些研究的选择性特定波长都依赖于相对应的微本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中红外探测结构，其特征在于：包括由下往上依次层叠的硅层、金层、氧化铝层和金阵列层，所述金阵列层上开设有周期性分布的狭缝，所述狭缝将金阵列层分割成多个周期阵列的长方形金阵元，所述金阵列层沿阵列方向的两端设有半个狭缝，所述狭缝用于泄露金阵列层和氧化铝层激发的表面等离激元共振产生的局部能量，以平衡整个探测结构的吸收率/辐射率，所述氧化铝层作为一个电容器，通过调整氧化铝层的厚度和长方形金阵元的阵列周期的来红移吸收峰。2.如权利要求1所述的中红外探测结构，其特征在于：在3
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5μm和8
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12μm分别有一个吸收峰。3.如权利要求2所述的中红外探测结构，其特征在于：所述硅层和氧化铝层通过射频溅射获得，金层通过直流溅射获得。4.如权利要求1
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3中任意一项所述的中红外探测结构，其特征在于：所述中红外探测结...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗鸣宇，杨俊波，张振荣，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：新型
国别省市：