冷媒泄漏检测系统及芯片测试分选机技术方案

本申请涉及一种冷媒泄漏检测系统及芯片测试分选机，冷媒泄漏系统用于对冷媒回路进行检测，包括冷媒检测装置，用于检测冷媒回路外的空气中冷媒的浓度，以生成浓度检测值；压力检测装置，用于检测冷媒回路中的压力，以生成压力检测值；控制装置，与冷媒检测装置及压力检测装置通讯相连，并基于浓度检测值和压力检测值生成冷媒泄漏结果。可通过压力检测装置检测冷媒回路中的压力检测值，并通过冷媒检测装置检测冷媒回路外的空气中冷媒的浓度检测值，进而综合分析浓度检测值、压力检测值以确定冷媒是否从冷媒回路中泄漏，故有效提高了判断冷媒是否泄漏的准确度，并且由于可对空气中的冷媒的浓度值的检测，实现了冷媒泄漏的提前预警，避免判断滞后。避免判断滞后。避免判断滞后。

【技术实现步骤摘要】
冷媒泄漏检测系统及芯片测试分选机


[0001]本申请涉及检测
，特别是涉及一种冷媒泄漏检测系统及芯片测试分选机。

技术介绍

[0002]在半导体制造和封装测试行业中，芯片测试分选机是一种对半导体器件进行测试、并基于测试结果对半导体器件进行分选的装置，芯片测试分选机能够在高温、低温以及常温等规定温度环境下测试半导体器件的性能，适用于工业、汽车、军工等要求较高的半导体器件测试。
[0003]芯片测试分选机一般包括测试模块、能够制冷的制冷模块和能够制热的制热模块，测试模块设有测试室用以测试半导体器件，且制冷模块和制热模块均作用于半导体器件，共同使半导体器件达到预期的温度。
[0004]现有技术中芯片测试分选机的制冷模块通常使用制冷压缩机提供低温冷媒，工作时需要实时检测冷媒有无泄漏，但现有检测方式存在判断准确度低的问题。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对传统的冷媒泄漏检测方式，存在判断准确度低的问题，提供一种能够提高冷媒泄漏判断准确度的冷媒泄漏检测系统及芯片测试分选机。
[0006]本申请的一方面，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷媒泄漏检测系统，用于对冷媒回路进行检测，其特征在于，所述冷媒泄漏检测系统包括：冷媒检测装置，用于检测所述冷媒回路外的空气中冷媒的浓度，并生成浓度检测值；压力检测装置，用于检测所述冷媒回路中的压力，并生成压力检测值；以及控制装置，与所述冷媒检测装置及所述压力检测装置通讯相连，并能够基于所述浓度检测值和所述压力检测值生成冷媒泄漏结果。2.根据权利要求1所述的冷媒泄漏检测系统，其特征在于，所述冷媒回路包括制冷压缩机，所述压力检测装置包括第一压力检测器和第二压力检测器，所述压力检测值包括第一压力检测值和第二压力检测值；所述第一压力检测器用于检测所述制冷压缩机的回气口的所述第一压力检测值，所述第二压力检测器用于检测所述制冷压缩机的排气口的所述第二压力检测值；所述控制装置与所述第一压力检测器和所述第二压力检测器均通讯相连，所述控制装置能够基于所述浓度检测值、所述第一压力检测值及所述第二压力检测值生成所述冷媒泄漏结果。3.根据权利要求2所述的冷媒泄漏检测系统，其特征在于，所述控制装置包括：与所述冷媒检测装置、所述第一压力检测器及所述第二压力检测器均通讯连接的控制器；与所述控制器通讯相连的第一比较模块，所述第一比较模块用于比较所述浓度检测值与浓度参考值，以输出第一比较结果，所述控制器能够基于所述第一比较结果、所述第一压力检测值及所述第二压力检测值生成所述冷媒泄漏结果。4.根据权利要求3所述的冷媒泄漏检测系统，其特征在于，所述控制装置还包括均与所述控制器通讯相连的第二比较模块和第三比较模块；所述第二比较模块用于比较所述第一压力检测值与第一初始压力值，以输出第二比较结果，所述第三比较模块用于比较所述第二压力检测值与第二初始压力值，以输出...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱维，梁欣，邱国志，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：