一种PSS刻蚀上盖制造技术

本实用新型专利技术提供一种PSS刻蚀上盖，包括上盖本体、设于所述上盖本体中心位置的第一固定孔以及多个环绕所述第一固定孔的第二固定孔，所述第一固定孔的周侧环形阵列有多个可拆卸连接的第一压爪，所述第二固定孔的周侧环形阵列有多个可拆卸连接的第二压爪和第三压爪，所述第三压爪位于相邻的两个所述第二固定孔之间。通过将压爪改为可拆卸式连接，使得压爪在损坏后，可直接替换损坏的压爪，使得上盖可以反复循环利用，降低了耗材成本，解决了现有技术中PSS刻蚀上盖的压爪部分在刻蚀过程中易损耗，导致上盖整体报废，无法循环利用，增加了耗材成本的技术问题。材成本的技术问题。材成本的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种PSS刻蚀上盖


[0001]本技术涉及刻蚀载具
，特别涉及一种PSS刻蚀上盖。

技术介绍

[0002]PSS刻蚀的对象是蓝宝石衬底，属于微米级加工工艺，工艺要求之一是片内均匀性高(<3%)，特别是要求边缘区域的图形要对称且不能有粘连。随着行业标准的不断提升,边缘区域的质量越来越受重视，随之而来的是对边缘问题的处理能力构成了各PSS厂家，乃至于ICP设备厂商的核心竞争力，而在该工艺中托盘治具是影响边缘问题的关键因素。
[0003]现有技术中的PSS刻蚀载体托盘，包括金属托盘和金属上盖，这种治具的优点是制造工艺简单，制造成本较低廉，边缘效应不明显，但缺点是金属盖板在刻蚀过程中直接接触高能等离子体而易发生化学反应，尤其涉及上盖的压爪部分，随着使用时间的推移，压爪会因化学反应而逐渐变小，进而导致上盖整体报废，无法循环利用，增加了耗材成本。

技术实现思路

[0004]基于此，本技术的目的是提供一种PSS刻蚀上盖，用于解决现有技术中PSS刻蚀上盖的压爪部分在刻蚀过程中易损耗，导致上盖整体报废，无法循环利用，增加了耗材成本的技术问题。
[0005]本技术提出一种PSS刻蚀上盖，包括上盖本体、设于所述上盖本体中心位置的第一固定孔以及多个环绕所述第一固定孔的第二固定孔，所述第一固定孔的周侧环形阵列有多个可拆卸连接的第一压爪，所述第二固定孔的周侧环形阵列有多个可拆卸连接的第二压爪和第三压爪，所述第三压爪位于相邻的两个所述第二固定孔之间。
[0006]上述PSS刻蚀上盖，通过将压爪改为可拆卸式连接，使得压爪在损坏后，可直接替换损坏的压爪，使得上盖可以反复循环利用，降低了耗材成本，解决了现有技术中PSS刻蚀上盖的压爪部分在刻蚀过程中易损耗，导致上盖整体报废，无法循环利用，增加了耗材成本的技术问题。
[0007]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述第一压爪包括第一平板部以及自所述第一平板部一侧凸出形成的第一压爪部，所述第一平板部上设有安装孔，所述第一固定孔的周侧环形阵列有多个螺纹孔。
[0008]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述第一平板部的底面设有一与所述第一固定孔边缘轮廓贴合的第一弧形挡板。
[0009]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述第二压爪包括第二平板部以及自所述第二平板部一侧凸出形成的第二压爪部，所述第二平板部上设有安装孔，所述第二固定孔的周侧环形阵列有多个螺纹孔。
[0010]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述第二平板部的底面设有一与所述第二固定孔边缘轮廓贴合的第二弧形挡板。
[0011]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述第三压爪包括第三平板部以及自所述第
三平板部相对两侧凸出形成的第三压爪部，所述第三平板部上设有安装孔，所述第二固定孔的周侧环形阵列有多个螺纹孔。
[0012]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述第三平板部的底面设有两个相互对称的第三弧形挡板，两个所述第三弧形挡板可分别贴合相邻两个所述第二固定孔的边缘轮廓。
[0013]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述第三平板部的横截面呈三角形。
[0014]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述第一固定孔和所述第二固定孔的边缘均为倾斜的倒角结构。
[0015]进一步地，所述PSS刻蚀上盖，其中，所述倒角结构的弧度为30~45度。
附图说明
[0016]本技术的上述与/或附加的方面与优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显与容易理解，其中：
[0017]图1为本技术中PSS刻蚀上盖的立体图；
[0018]图2为本技术中第一压爪的具体结构示意图；
[0019]图3为本技术第三压爪处于第一视角的立体图；
[0020]图4为本技术第三压爪处于第二视角的立体图；
[0021]图中主要元器件符号说明：
[0022]10
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上盖本体、21
‑
第一固定孔、22
‑
第二固定孔、31
‑
第一压爪、311
‑
第一平板部、312
‑
第一压爪部、313
‑
第一弧形挡板、32
‑
第二压爪、33
‑
第三压爪、331
‑
第三平板部、332
‑
第三压爪部、333
‑
第三弧形挡板。
具体实施方式
[0023]为使本技术的目的、特征与优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0024]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造与操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0025]在本技术中，除非另有明确的规定与限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的与所有的组合。
[0026]请结合图1至图4，本技术中的PSS刻蚀上盖，包括上盖本体10，设于所述上盖本体10圆心位置的第一固定孔21以及环绕在所述第一固定孔21周围的多个第二固定孔22，
所述第一固定孔21的周侧环形阵列有多个可拆卸连接的第一压爪31，所述第二固定孔22的周侧环形阵列有多个可拆卸连接的第二压爪32和第三压爪33，所述第三压爪33位于相邻的两个所述第二固定孔22之间。
[0027]在本实施例中，第二固定孔22的数量具体为8个，且分别环绕在第一固定孔21的周围，其数量可根据上盖本体10的大小适应性调节，并不局限于此，另外，需要说明的是，第二压爪32的结构与第一压爪31的结构相同，具体地，第二压爪32包括第二平板部以及自所述第二平板部一侧凸出形成的第二压爪部，所述第二平板部上设有安装孔，所述第二固定孔22的周侧环形阵列有多个螺纹孔，所述第二平板部的底面设有一与所述第二固定孔22边缘轮廓贴合的第二弧形挡板。由此可见，第二压爪32与第一压爪31相比不同的是，第二压爪32在上盖本体1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PSS刻蚀上盖，包括上盖本体、设于所述上盖本体中心位置的第一固定孔以及多个环绕所述第一固定孔的第二固定孔，其特征在于，所述第一固定孔的周侧环形阵列有多个可拆卸连接的第一压爪，所述第二固定孔的周侧环形阵列有多个可拆卸连接的第二压爪和第三压爪，所述第三压爪位于相邻的两个所述第二固定孔之间；所述第三压爪包括第三平板部以及自所述第三平板部相对两侧凸出形成的第三压爪部，所述第三平板部上设有安装孔，所述第二固定孔的周侧环形阵列有多个螺纹孔；所述第三平板部的底面设有两个相互对称的第三弧形挡板，两个所述第三弧形挡板可分别贴合相邻两个所述第二固定孔的边缘轮廓；所述第三平板部的横截面呈三角形。2.根据权利要求1所述的PSS刻蚀上盖，其特征在于，所述第一压爪包括第一平板部以及自所述第一平板部一侧凸出形成的第一压爪部，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛俊涵，梁毅，林冠宏，崔思远，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：